“濕法清洗”一詞源自行業(yè)早期的預防性維護方式，即拆卸反應腔室并將石英部件浸入酸水沖洗，之后再晾干并重新組裝。如今對于需要高精度維護的設(shè)備而言，其中唯一涉及“濕”的常用物質(zhì)便是去離子水濕潤過的無絨布，不過“濕法清洗”這個傳統(tǒng)稱謂卻被沿用至今。所以，維護方式被稱為“濕法”，但實際上卻是“干法”。
全球半導體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新晶圓制造設(shè)備及服務供應商泛林集團近日宣布，任命汪挺先生為公司副總裁兼泛林集團中國區(qū)總裁，全面負責公司在中國大陸地區(qū)的運營工作。
任何診斷都離不開信息匯總與分析。相比數(shù)字和統(tǒng)計數(shù)據(jù)，人們總是更擅長通過圖形化的信息來分析問題，尤其是當數(shù)據(jù)呈現(xiàn)的是隨著時間的推移而發(fā)生變化的問題。
泛林集團首席技術(shù)官Rick Gottscho博士接受了行業(yè)媒體Semiconductor Engineering (SE)的專訪，分享他對于存儲和設(shè)備微縮，新市場需求，以及由成本、新技術(shù)和機器學習應用所推動的生產(chǎn)變革方面的看法。
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