記者從沈陽市渾南新區(qū)獲悉,由沈陽市政府與渾南新區(qū)共同組織申報的“沈陽集成電路(IC)裝備產業(yè)化基地”項目,被科技部正式批準為“沈陽國家集成電路裝備高新技術產業(yè)化基地”。這是目前科技部認定的國內唯一一個國家集成電路裝備產業(yè)化基地。
沈陽集成電路裝備產業(yè)始建于2002年,累計投入資金4億多元。經過多年的建設,集成電路裝備生產企業(yè)已從最初的兩家發(fā)展到現在的37家,其中,骨干企業(yè)達到11家,申報專利近100項。基地主導產品已在國內半導體加工、醫(yī)療器械、太陽能電池等行業(yè)得到廣泛應用。
目前,沈陽集成電路裝備產業(yè)基地建有集成電路裝備檢測、精密零部件加工和潔凈技術平臺,擁有目前國內唯一的集成電路裝備孵化器,正在孵化的企業(yè)已達30余家。