三年的時(shí)間,一支平均年齡不到三十五歲的湖南科研團(tuán)隊(duì)讓國內(nèi)主流
集成電路生產(chǎn)線上首次出現(xiàn)了
國產(chǎn)核心裝備,走完了發(fā)達(dá)國家十五年才走完的路。
中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所所長唐景庭是這支湖南科研團(tuán)隊(duì)的領(lǐng)軍人物,在他的率領(lǐng)下,二零零三年十二月,四十二名科研人員踏上了北上的征程,組建
離子注入機(jī)的研發(fā)項(xiàng)目攻關(guān)組。一百納米離子注入機(jī)是生產(chǎn)集成電路的核心技術(shù),該項(xiàng)目跨越技術(shù)水平近五代,國內(nèi)沒有任何可參考的資料和機(jī)型,設(shè)備復(fù)雜程度和技術(shù)難度前所未有,特別是國外對該技術(shù)一直實(shí)行技術(shù)封鎖。這種局面一直使國內(nèi)從事離子注入機(jī)技術(shù)的科研人員抬不起頭來,特別是國內(nèi)
集成電路制造公司只能從國外購買一些淘汰的裝備。用科研人員的話說,這是用我們的血汗錢購買別人不要的廢品。沒有技術(shù)就要被動(dòng)落后,
離子注入機(jī)項(xiàng)目被確定為八六三重大專項(xiàng),唐景庭和科研團(tuán)隊(duì)在北京開始夜以繼日的研發(fā)工作。剛到北京時(shí),他們六個(gè)人擠在一個(gè)房間,在租用的寫字樓里辦公,每天工作在十個(gè)小時(shí)以上。最后,現(xiàn)場調(diào)試紙堆起來差不多有一人高。
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