臺灣科技大學(xué)今天舉辦化學(xué)機(jī)械平坦化國際研討會，邀請臺科大特聘教授陳照彰、臺科大機(jī)械系教授木村景一、臺灣平坦化應(yīng)用技術(shù)協(xié)會秘書長康來成、日本荏原制作所精密制造公司、臺灣愛美科股份有限公司等代表與會，從技術(shù)、市場、商業(yè)合作模式等方向，探討CMP如何有效運(yùn)用既有的資源進(jìn)行研發(fā)落實(shí)。

臺灣科技大學(xué)校長廖慶榮表示，為深化國際產(chǎn)學(xué)合作，去年與日本九州工業(yè)大學(xué)和日本荏原制作所合作，設(shè)立「晶圓平坦化創(chuàng)新研究中心」，由日方提供經(jīng)費(fèi)設(shè)立研究中心，并派遣主管來臺訓(xùn)練師資，臺科大學(xué)生也可到荏原制作所實(shí)習(xí)，縮短產(chǎn)學(xué)落差，希望促進(jìn)臺日雙方學(xué)界及企業(yè)界的三方合作，提升臺灣半導(dǎo)體制程研究發(fā)展。

臺科大特聘教授陳照彰指出，「晶圓平坦化創(chuàng)新研究中心」在亞太區(qū)域具獨(dú)特地位，是亞太區(qū)驗(yàn)證CMP新技術(shù)的重要測試中心；未來也將組織亞太化學(xué)機(jī)械平坦化聯(lián)盟，也盼臺科大晶圓平坦化創(chuàng)新研究中心成為降低研發(fā)成本、縮短制程和產(chǎn)品商業(yè)化的有效平臺。