臺(tái)灣科技大學(xué)今天舉辦化學(xué)機(jī)械平坦化國(guó)際研討會(huì)，邀請(qǐng)臺(tái)科大特聘教授陳照彰、臺(tái)科大機(jī)械系教授木村景一、臺(tái)灣平坦化應(yīng)用技術(shù)協(xié)會(huì)秘書(shū)長(zhǎng)康來(lái)成、日本荏原制作所精密制造公司、臺(tái)灣愛(ài)美科股份有限公司等代表與會(huì)，從技術(shù)、市場(chǎng)、商業(yè)合作模式等方向，探討CMP如何有效運(yùn)用既有的資源進(jìn)行研發(fā)落實(shí)。

臺(tái)灣科技大學(xué)校長(zhǎng)廖慶榮表示，為深化國(guó)際產(chǎn)學(xué)合作，去年與日本九州工業(yè)大學(xué)和日本荏原制作所合作，設(shè)立「晶圓平坦化創(chuàng)新研究中心」，由日方提供經(jīng)費(fèi)設(shè)立研究中心，并派遣主管來(lái)臺(tái)訓(xùn)練師資，臺(tái)科大學(xué)生也可到荏原制作所實(shí)習(xí)，縮短產(chǎn)學(xué)落差，希望促進(jìn)臺(tái)日雙方學(xué)界及企業(yè)界的三方合作，提升臺(tái)灣半導(dǎo)體制程研究發(fā)展。

臺(tái)科大特聘教授陳照彰指出，「晶圓平坦化創(chuàng)新研究中心」在亞太區(qū)域具獨(dú)特地位，是亞太區(qū)驗(yàn)證CMP新技術(shù)的重要測(cè)試中心；未來(lái)也將組織亞太化學(xué)機(jī)械平坦化聯(lián)盟，也盼臺(tái)科大晶圓平坦化創(chuàng)新研究中心成為降低研發(fā)成本、縮短制程和產(chǎn)品商業(yè)化的有效平臺(tái)。