16日從中國(guó)科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院獲悉，該院成功研制了用于微電子光刻的“2-12英寸UVLED平行光曝光模組”及用于PCB、液晶面板和觸摸屏等光刻裝備的“5KW、8KW、10KW汞燈替代UVLED光源模組”系列產(chǎn)品。

據(jù)中國(guó)科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院相關(guān)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人介紹，光刻機(jī)是液晶面板制造裝備中投資份額最大的關(guān)鍵裝備，其關(guān)鍵技術(shù)始終受制于國(guó)外企業(yè)，限制了行業(yè)發(fā)展。為打破液晶面板行業(yè)光刻裝備國(guó)外壟斷的局勢(shì)，針對(duì)電子信息領(lǐng)域?qū)夹g(shù)先進(jìn)、節(jié)能環(huán)保的低成本曝光裝備需求，中科院重慶研究院開展了基于UVLED光源的新型曝光模組研究，突破了LED/LD光學(xué)擴(kuò)展量求解與束角變換理論、LED多自由曲面精確配光技術(shù)、紫外波段自由曲面無機(jī)光學(xué)元件批量化制造技術(shù)、光機(jī)電系統(tǒng)集成等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，成功研制了用于微電子光刻的“2-12英寸UVLED平行光曝光模組”及用于PCB、液晶面板和觸摸屏等光刻裝備的“5KW、8KW、10KW汞燈替代UVLED光源模組”系列產(chǎn)品，產(chǎn)品強(qiáng)度、均勻度等多項(xiàng)關(guān)鍵指標(biāo)均優(yōu)于國(guó)外原廠配置，并可滿足2um級(jí)線條的制作，產(chǎn)品技術(shù)達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。目前，研發(fā)團(tuán)隊(duì)已與重慶方正、深南電路等大型企業(yè)達(dá)成合作協(xié)議，配合企業(yè)完成光刻裝備的升級(jí)改造，市場(chǎng)上該類光刻裝備超過5萬臺(tái)，產(chǎn)值將達(dá)50億元以上。

據(jù)悉，我國(guó)加入了《水俁公約》，2020年之前禁止進(jìn)出口和生產(chǎn)含汞類的商品，“液晶面板低成本光刻工藝與裝備開發(fā)及應(yīng)用”項(xiàng)目研發(fā)的UVLED光源模組為大勢(shì)所趨，采用高效節(jié)能環(huán)保的UVLED陣列作為曝光光源，通過自由曲面精確配光與復(fù)眼勻光方案，實(shí)現(xiàn)大面積高強(qiáng)度均勻曝光，滿足現(xiàn)有光刻機(jī)汞燈光源的升級(jí)改造需求。單從電費(fèi)計(jì)算，每臺(tái)UVLED設(shè)備每年可為企業(yè)節(jié)省約8萬元的使用成本，若目前市場(chǎng)上5萬臺(tái)汞燈光刻裝備全部升級(jí)改造，每年可節(jié)約用電成本40億元。上述產(chǎn)品已申報(bào)專利15項(xiàng)，其中已授權(quán)發(fā)明專利2項(xiàng)。

針對(duì)目前的機(jī)遇與挑戰(zhàn)，在“重慶市液晶面板產(chǎn)業(yè)共性關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新主題專項(xiàng)”的大力支持，重慶院同重慶京東方光電科技有限公司及重慶郵電大學(xué)合作，計(jì)劃將紫外LED光源系統(tǒng)引入到液晶面板光刻裝備中，以“增強(qiáng)液晶面板相關(guān)企業(yè)的盈利能力和競(jìng)爭(zhēng)力，促進(jìn)重慶液晶面板行業(yè)的長(zhǎng)久發(fā)展”為目標(biāo)，著力開發(fā)用于液晶面板制造的低成本光刻工藝與裝備。

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