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[導讀]瑞薩電子開發(fā)出了一種新型SRAM電路技術,可克服因微細化而增加的CMOS元件特性不均現(xiàn)象,還能在維持速度的同時,以更小的面積實現(xiàn)合適的工作裕度。以上內容是在半導體電路技術相關國際會議“2010 Symposium on VLSI C

瑞薩電子開發(fā)出了一種新型SRAM電路技術,可克服因微細化而增加的CMOS元件特性不均現(xiàn)象,還能在維持速度的同時,以更小的面積實現(xiàn)合適的工作裕度。以上內容是在半導體電路技術相關國際會議“2010 Symposium on VLSI Circuits”上發(fā)布的(論文序號:10.2)。作為40nm工藝的產(chǎn)品,該公司試制出了bit密度達到業(yè)界最高水平的SRAM,并確認了其工作性能。主要用于實現(xiàn)40nm工藝以后SoC(system on a chip)的低成本化及低功耗化。

在SoC的構成要素中,SRAM最易受到工藝微細化導致的特性不均的影響。因為隨著產(chǎn)品實現(xiàn)微細化,可使SRAM穩(wěn)定工作的裕度會不斷減小。因此,原來為了維持工作裕度,該公司提出了通過附加多個電源控制電路,分別控制SRAM的電源線、字線或者數(shù)據(jù)線的方式等。不過,采用這種方式,即使SRAM的單元面積可以縮小,但包括電源控制電路在內的SRAM整體面積很難削減。

為了解決這一課題,該公司此次開發(fā)出了兩種技術。一種是降低工作裕度減小影響的多級字線控制技術。分多個時間段對字線進行電壓控制,僅在字線的控制電路上集成原方式所需的多個電源控制電路。此時,通過穩(wěn)步對字線進行電壓控制,即使CMOS元件存在特性不均,也可向SRAM穩(wěn)定寫入或讀取數(shù)據(jù)。另外,通過僅在字線上進行電源控制,還提高了bit密度。

第二種是同時兼顧高速化及小面積化的分層SRAM技術。該公司開發(fā)出了將位線多次分割、削減連接位線的微小SRAM單元數(shù)量的分層SRAM技術。在被分割的位線上附加本機靈敏放大器(信號振幅放大電路),支援原來存在的靈敏放大器工作。這樣,可防止通過穩(wěn)步控制多級字線控制所需的字線而導致的SRAM 工作速度減慢。另外,該公司通過使用與SRAM單元相同的微細化工藝制造本機靈敏放大器,將面積增加控制在了最小限度,并實現(xiàn)了高bit密度。

此次,該公司利用這些技術,試制出了采用40nm工藝CMOS技術中單元面積業(yè)界最小的0.248μm2單元、bit密度高達2.98Mbit/mm2的2Mbit SRAM,并已確認其可穩(wěn)定動作。

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