微電子所發(fā)起的首個(gè)硅通孔(TSV)技術(shù)攻關(guān)聯(lián)合體在京成立
[導(dǎo)讀]在國(guó)家02專項(xiàng)和中國(guó)封裝測(cè)試聯(lián)盟的支持下，由中國(guó)科學(xué)院微電子研究所發(fā)起的國(guó)內(nèi)首個(gè)硅通孔（TSV）技術(shù)攻關(guān)聯(lián)合體在北京宣告成立并啟動(dòng)了第1期攻關(guān)項(xiàng)目?？萍疾?2專項(xiàng)責(zé)任專家于燮康，02專項(xiàng)專家組組長(zhǎng)、中科院微電子
在國(guó)家02專項(xiàng)和中國(guó)封裝測(cè)試聯(lián)盟的支持下，由中國(guó)科學(xué)院微電子研究所發(fā)起的國(guó)內(nèi)首個(gè)硅通孔（TSV）技術(shù)攻關(guān)聯(lián)合體在北京宣告成立并啟動(dòng)了第1期攻關(guān)項(xiàng)目?？萍疾?2專項(xiàng)責(zé)任專家于燮康，02專項(xiàng)專家組組長(zhǎng)、中科院微電子所所長(zhǎng)葉甜春以及近30家企業(yè)和科研單位代表參加了啟動(dòng)會(huì)。
會(huì)上，于燮康首先致辭并對(duì)聯(lián)合體的運(yùn)作及權(quán)責(zé)分配提出了相關(guān)建議。葉甜春對(duì)TSV技術(shù)攻關(guān)聯(lián)合體的成立提出了希望，他表示這是對(duì)產(chǎn)學(xué)研結(jié)合的一種有益嘗試，希望參加的多家企業(yè)能夠相互之間實(shí)現(xiàn)部分資源的開(kāi)放，相互合作，促進(jìn)中國(guó)封測(cè)業(yè)的更好發(fā)展。中科院微電子所萬(wàn)里兮研究員和于大全研究員分別對(duì)TSV技術(shù)攻關(guān)聯(lián)合體的總體情況以及本期聯(lián)合攻關(guān)項(xiàng)目進(jìn)行了介紹。會(huì)議還特別邀請(qǐng)了中科院國(guó)家科學(xué)圖書館的代表對(duì)TSV技術(shù)的專利布局和研究現(xiàn)狀進(jìn)行了總結(jié)。
萬(wàn)里兮研究員在講話時(shí)說(shuō)指出，國(guó)內(nèi)外目前普遍認(rèn)為TSV技術(shù)是未來(lái)半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展的重要方向，但目前很多方面還不明確，尤其在產(chǎn)業(yè)化過(guò)程中還存在一些問(wèn)題。此外，還存在著技術(shù)難點(diǎn)、成本偏高、代工企業(yè)與封測(cè)企業(yè)技術(shù)劃分不確定、TSV技術(shù)產(chǎn)業(yè)鏈更長(zhǎng)、實(shí)現(xiàn)難點(diǎn)多等問(wèn)題。他明確表示，剛成立的技術(shù)攻關(guān)聯(lián)合體要進(jìn)行“競(jìng)爭(zhēng)前技術(shù)研發(fā)”，不以達(dá)到高的技術(shù)指標(biāo)為主要目的；第1期攻關(guān)項(xiàng)目主要是進(jìn)行TSV轉(zhuǎn)接板制備和封裝集成；通過(guò)走通完整的技術(shù)流程，掌握設(shè)備、材料的真實(shí)需求（參數(shù)，型號(hào)等），了解技術(shù)難點(diǎn)（設(shè)備，材料，工藝），掌握投入、產(chǎn)出、成本等準(zhǔn)確信息。通過(guò)全面的前期評(píng)估及技術(shù)實(shí)現(xiàn)，為企業(yè)是否進(jìn)入該技術(shù)領(lǐng)域提供參考。于大全研究員詳細(xì)介紹了本期研究課題及技術(shù)方案情況，根據(jù)開(kāi)發(fā)基于TSV轉(zhuǎn)接板的全套封裝技術(shù)的攻關(guān)要求，介紹了初步擬定的技術(shù)方案，列出了典型加工流程所需的設(shè)備和材料，并介紹了本期聯(lián)合體的基本管理方式。
各參會(huì)企業(yè)、高校和研究機(jī)構(gòu)代表對(duì)TSV技術(shù)攻關(guān)聯(lián)合體的成立及要開(kāi)展的研究?jī)?nèi)容等問(wèn)題進(jìn)行了發(fā)言。大多數(shù)企業(yè)代表表示將加入該聯(lián)合體，認(rèn)為TSV技術(shù)攻關(guān)聯(lián)合體的成立，提供了一個(gè)很好的平臺(tái)，可以讓企業(yè)能夠以更低的成本、更快的速度、更好地了解技術(shù)需求，并及時(shí)對(duì)自身技術(shù)進(jìn)行檢驗(yàn)和評(píng)估。一些企業(yè)代表就關(guān)心的問(wèn)題如“轉(zhuǎn)接板的結(jié)構(gòu)或工藝流程是否侵權(quán)、研究?jī)?nèi)容偏多如何完成、成本如何控制、成套資料內(nèi)容構(gòu)成”等進(jìn)行了討論。經(jīng)過(guò)深入討論，參會(huì)人員一致認(rèn)為，第1期項(xiàng)目的主要研究目的應(yīng)在于考察技術(shù)的可行性，評(píng)估技術(shù)實(shí)施的成本需求情況，最終主要成果除了封裝樣品之外，還需要提出全套的技術(shù)報(bào)告，為企業(yè)未來(lái)的技術(shù)選擇做參考。
會(huì)后，十余家企業(yè)與中科院微電子所正式簽訂了加入TSV技術(shù)攻關(guān)聯(lián)合體（第1期）的協(xié)議。
會(huì)上，于燮康首先致辭并對(duì)聯(lián)合體的運(yùn)作及權(quán)責(zé)分配提出了相關(guān)建議。葉甜春對(duì)TSV技術(shù)攻關(guān)聯(lián)合體的成立提出了希望，他表示這是對(duì)產(chǎn)學(xué)研結(jié)合的一種有益嘗試，希望參加的多家企業(yè)能夠相互之間實(shí)現(xiàn)部分資源的開(kāi)放，相互合作，促進(jìn)中國(guó)封測(cè)業(yè)的更好發(fā)展。中科院微電子所萬(wàn)里兮研究員和于大全研究員分別對(duì)TSV技術(shù)攻關(guān)聯(lián)合體的總體情況以及本期聯(lián)合攻關(guān)項(xiàng)目進(jìn)行了介紹。會(huì)議還特別邀請(qǐng)了中科院國(guó)家科學(xué)圖書館的代表對(duì)TSV技術(shù)的專利布局和研究現(xiàn)狀進(jìn)行了總結(jié)。
萬(wàn)里兮研究員在講話時(shí)說(shuō)指出，國(guó)內(nèi)外目前普遍認(rèn)為TSV技術(shù)是未來(lái)半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展的重要方向，但目前很多方面還不明確，尤其在產(chǎn)業(yè)化過(guò)程中還存在一些問(wèn)題。此外，還存在著技術(shù)難點(diǎn)、成本偏高、代工企業(yè)與封測(cè)企業(yè)技術(shù)劃分不確定、TSV技術(shù)產(chǎn)業(yè)鏈更長(zhǎng)、實(shí)現(xiàn)難點(diǎn)多等問(wèn)題。他明確表示，剛成立的技術(shù)攻關(guān)聯(lián)合體要進(jìn)行“競(jìng)爭(zhēng)前技術(shù)研發(fā)”，不以達(dá)到高的技術(shù)指標(biāo)為主要目的；第1期攻關(guān)項(xiàng)目主要是進(jìn)行TSV轉(zhuǎn)接板制備和封裝集成；通過(guò)走通完整的技術(shù)流程，掌握設(shè)備、材料的真實(shí)需求（參數(shù)，型號(hào)等），了解技術(shù)難點(diǎn)（設(shè)備，材料，工藝），掌握投入、產(chǎn)出、成本等準(zhǔn)確信息。通過(guò)全面的前期評(píng)估及技術(shù)實(shí)現(xiàn)，為企業(yè)是否進(jìn)入該技術(shù)領(lǐng)域提供參考。于大全研究員詳細(xì)介紹了本期研究課題及技術(shù)方案情況，根據(jù)開(kāi)發(fā)基于TSV轉(zhuǎn)接板的全套封裝技術(shù)的攻關(guān)要求，介紹了初步擬定的技術(shù)方案，列出了典型加工流程所需的設(shè)備和材料，并介紹了本期聯(lián)合體的基本管理方式。
各參會(huì)企業(yè)、高校和研究機(jī)構(gòu)代表對(duì)TSV技術(shù)攻關(guān)聯(lián)合體的成立及要開(kāi)展的研究?jī)?nèi)容等問(wèn)題進(jìn)行了發(fā)言。大多數(shù)企業(yè)代表表示將加入該聯(lián)合體，認(rèn)為TSV技術(shù)攻關(guān)聯(lián)合體的成立，提供了一個(gè)很好的平臺(tái)，可以讓企業(yè)能夠以更低的成本、更快的速度、更好地了解技術(shù)需求，并及時(shí)對(duì)自身技術(shù)進(jìn)行檢驗(yàn)和評(píng)估。一些企業(yè)代表就關(guān)心的問(wèn)題如“轉(zhuǎn)接板的結(jié)構(gòu)或工藝流程是否侵權(quán)、研究?jī)?nèi)容偏多如何完成、成本如何控制、成套資料內(nèi)容構(gòu)成”等進(jìn)行了討論。經(jīng)過(guò)深入討論，參會(huì)人員一致認(rèn)為，第1期項(xiàng)目的主要研究目的應(yīng)在于考察技術(shù)的可行性，評(píng)估技術(shù)實(shí)施的成本需求情況，最終主要成果除了封裝樣品之外，還需要提出全套的技術(shù)報(bào)告，為企業(yè)未來(lái)的技術(shù)選擇做參考。
會(huì)后，十余家企業(yè)與中科院微電子所正式簽訂了加入TSV技術(shù)攻關(guān)聯(lián)合體（第1期）的協(xié)議。
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