5月19日消息 上海微電子裝備（集團）股份有限公司（簡稱SMEE）主要致力于半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發(fā)、設(shè)計、制造、銷售及技術(shù)服務(wù)。今天，上海微電子裝備官方表示，其高亮度LED步進投影光刻機最終從1200多個申報項目中成功突圍，入選“上海設(shè)計100+”。

上海微電子裝備自主研發(fā)的高亮度LED步進投影光刻機，是中國首臺面向6英寸以下中小基底先進光刻應用領(lǐng)域的光刻機產(chǎn)品，可滿足HB-LED等領(lǐng)域單面或雙面的光刻工藝需求，解決了LED產(chǎn)業(yè)大翹曲藍寶石高分辨率、高拼接精度、大焦深、高產(chǎn)率的光刻需求，且支持藍寶石鍵合片特殊工藝。

獲悉，上海微電子裝備高亮度LED步進投影光刻機自產(chǎn)品問世以來，先后榮獲“第十五屆中國國際工業(yè)博覽會銅獎”、“上海市專利新產(chǎn)品”、“第十三屆（2018年度）中國半導體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎”、工信部第四批“制造業(yè)單項冠軍產(chǎn)品”等榮譽。