如前所述,旋轉頭上安裝若干個吸嘴,工作時頭的整個轉盤垂直旋轉,每個吸嘴在轉到最低點(圓形掛鐘的六點鐘位置)時吸取元件。例如,環(huán)球公司的HSC閃電頭,每個頭上有30個Spindle,反應時間55 ms,貼片速度很快,結構設計緊湊;在頭上有兩個OTHC相機,一個寬視野(WFOV),一個窄視野(NF0V),貼片范圍可從0201到30 mm長寬的元件,并可以進行吸嘴對中和吸嘴檢查,在貼片過程中不更換吸嘴,校準也很快,貼片精度高。
旋轉式貼片頭的相關圖片如圖1、圖2和圖3所示。
圖1 旋轉式貼片頭
圖2 旋轉式貼片頭的幾個工作位置圖
圖3 旋轉式貼片頭的成像過程
光束分離器的作用是引導WFOV寬視野相機的軸光照到Spindle上的元件,并引導光返回WFOV寬視野相機。
(1)旋轉式貼片頭站位和主要功能
旋轉式貼片頭站位如圖4所示。
圖4 旋轉式貼片頭站位示意圖
(2)旋轉式貼片頭運行和動作順序
如圖5所示。
圖5 旋轉式貼片頭工作示意圖
①開機和初始化。
②歸零。
·長歸零(開機后第一次歸零):Z—PHI一送板一X/Y—角度—清除頭上元件一調節(jié)Z軸Touchdown增益一獲得z補償值;
·短歸零(生產方式歸零):z—PHI—XlY一角度移動到零位置—清除頭上元件—吸嘴更換一生產前吸嘴設定。
③生產前吸嘴設定:檢查產品需要的吸嘴一空吸嘴確認一吸嘴更換器配置確認一更換吸嘴一獲得z補償值一吸嘴尖端對中定位。
④吸嘴更換:軸移動到1號吸嘴取下位置一更換器升起一打開滑片一Z軸驅動下來一關閉滑片一Z軸升起一更換器降下。
⑤取料:移動到貼片位置一檢查X/Y在范圍內一檢查PHI軸就位一相機工作一檢查送料器就緒一Z軸驅動下來一真空打開一 Touchdown接觸信號給出一Touchdown接觸或Z方向就位一觸發(fā)相機。
⑥檢查:視覺系統(tǒng)排序一準備相機一向母板發(fā)送數(shù)據一圖像發(fā)給視覺系統(tǒng)一圖像處理。
⑦貼片:計算貼片位置一檢查X/Y在范圍內一檢查PHI軸在范圍內或就位一觸發(fā)相機一Z軸驅動下來一吹氣打開,真空關閉 一Touchdown接觸信號給出一Touchdown接觸一觸發(fā)相機一Z軸升起。
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