隨著先進制程技術(shù)的不斷演進，高效的自動物料搬運系統(tǒng)已成為現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的不可或缺的一部分，而半導(dǎo)體制造對生產(chǎn)效率和精度的要求不斷提升，使智能信息化成為AMHS生產(chǎn)過程安全、高效管理的關(guān)鍵。

作為中國領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造AMHS(自動化物料搬運系統(tǒng))整體解決方案提供商，彌費科技聚焦AMHS智能制造，以符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的工業(yè)識別產(chǎn)品為信息載體，自主研發(fā)了系列傳感控制設(shè)備，為AMHS天車系統(tǒng)、存儲設(shè)備、半導(dǎo)體機臺設(shè)備等生產(chǎn)過程信息化提供一整套應(yīng)用解決方案。

此次發(fā)布的三款傳感控制設(shè)備，均以非接觸式自動識別技術(shù)實現(xiàn)對半導(dǎo)體傳輸物料的精準(zhǔn)識別與數(shù)據(jù)讀取。

RFID Reader系統(tǒng)由標(biāo)簽、讀寫器和天線組成，常用于在半導(dǎo)體制造過程中對晶圓盒上的射頻標(biāo)簽進行數(shù)據(jù)讀寫操作。機臺設(shè)備可以通過讀寫射頻標(biāo)簽上保存記錄的ID、制造批次、制造過程說明等信息，實現(xiàn)晶圓生產(chǎn)過程的追蹤和控制，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。彌費科技自研的RFID Reader 符合SEMI半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)，兼容TI公司的CID載體，讀取距離最大可達到90mm。

RFID Reader在12吋晶圓傳送設(shè)備Foup Stocker中的通信應(yīng)用

SmartTag Reader則基于紅外技術(shù)實現(xiàn)對標(biāo)簽信息的讀取，并通過紅外信號向操作員和自動化物料傳送系統(tǒng)(AMHS)提供過程和狀態(tài)信息。彌費科技自研的SmartTag Reader符合SEMI半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)，使用RS485通信接口，最大工作距離達7cm。

SmartTag Reader在8吋晶圓傳送設(shè)備Pod Stocker中的通信應(yīng)用

E84傳感器則是基于SEMI E84協(xié)議的工作原理，采用IR技術(shù)實現(xiàn)生產(chǎn)設(shè)備與AMHS之間的高效、可靠晶圓載體自動交換。E84 Sensor不僅提高了晶圓在轉(zhuǎn)移過程中的安全性和準(zhǔn)確性，還通過增強SEMI E23中定義的并行I/O接口能力，支持了更高水平的傳輸可靠性和效率。

E84在天車OHT與晶圓傳送設(shè)備Foup Stocker中的通信應(yīng)用

識別控制系統(tǒng)作為AMHS傳輸與通訊的核心零部件設(shè)備，產(chǎn)品的自主可控性對與半導(dǎo)體行業(yè)至關(guān)重要。彌費科技基于在半導(dǎo)體AMHS整體解決方案領(lǐng)域的技術(shù)和市場優(yōu)勢，專注于開發(fā)能夠提升AMHS生產(chǎn)效率與精度的產(chǎn)品。此次發(fā)布的AMHS識別控制系統(tǒng)設(shè)備不僅在關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)上達到國際先進水平，完全自主的知識產(chǎn)權(quán)對于客戶來說，意味著更加可靠和穩(wěn)定的供應(yīng)鏈保障，有助于降低運營成本和風(fēng)險，保障生產(chǎn)的連續(xù)性和穩(wěn)定性，增強市場競爭力。

對于AMHS核心零部件領(lǐng)域的深耕，彌費科技不僅能夠更好地滿足客戶需求，同時進一步優(yōu)化了供應(yīng)鏈成本和質(zhì)量，提升了AMHS整體解決方案的競爭力，加速其全球化布局。持續(xù)的創(chuàng)新和迭代能力也使彌費科技能夠緊跟行業(yè)發(fā)展趨勢，快速響應(yīng)市場變化，彌費科技致力于成為全球半導(dǎo)體AMHS領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，推動半導(dǎo)體制造行業(yè)向更加智能、高效的方向發(fā)展。