ams推出MEMS氣體傳感器IC,檢測家里的揮發(fā)性有機化合物
奧地利ams公司推出了MEMS氣體傳感器IC“AS-MLP-P2”,用于檢測普通住宅內(nèi)的揮發(fā)性有機化合物(VOC:Volatile Organic Compounds),可檢測的有機化合物包括乙醇、醛、酮、有機酸、胺、脂肪烴、芳香烴等。主要用于智能住宅的空氣監(jiān)控系統(tǒng)和IoT設(shè)備等。將這款I(lǐng)C與500萬像素的CMOS傳感器、兩個麥克風、溫度傳感器、濕度傳感器以及支持無線LAN或藍牙的無線通信功能組合,就能實現(xiàn)檢測普通住宅內(nèi)的聲音、溫度和氣味,并將檢測結(jié)果顯示在智能手機或平板電腦上的系統(tǒng)。
新產(chǎn)品融合了ams公司自主開發(fā)的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術(shù)和MOS(Metal Oxide Semiconductor)技術(shù)。在利用LPCVD法制成的約1μm厚的SiN(氮化硅)膜上,制作鉑加熱器和梳型電極,然后在梳型電極上面形成二氧化錫基薄膜。該薄膜被用作對氣體濃度有依賴性的導電膜,也就是說,其電阻值會隨著周圍環(huán)境內(nèi)的揮發(fā)性有機化合物的濃度而變化。使用時要將鉑加熱器加熱到320℃(標稱值)。電阻值的變化范圍為100kΩ~500kΩ。響應(yīng)時間以秒為單位。耗電量在加熱至320℃時僅34mW(標稱值)。
封裝采用外形尺寸為9.1mm×9.1mm×1.6mm的4端子TO-39。周圍環(huán)境的工作溫度范圍為0~+50℃,濕度范圍為5~95%。批量購買1000個時的美國參考單價為14.30美元。