在Semicon West期間的一場記者會上，兩大半導體設備廠應材(Applied Materials)與TEL (Tokyo Electron Ltd)的高層正好在貴賓桌上分坐兩端；這也許是巧合，但也可能不是──畢竟這兩家公司向來是死對頭，雙方大有理由王不見王。

不過，也許未來有這么一天，向來各自為政的晶圓廠設備業(yè)的競爭廠商們，會坐下來共進午餐，甚至連手訂定技術規(guī)格、合作推動新設備研發(fā)案，好讓產業(yè)界跟上摩爾定律(Moore’s Law)的腳步…這也是今年Semicon West上，不少業(yè)者們的期望。

在該展會上出現(xiàn)的緊急呼聲，是希望IC業(yè)者們在研發(fā)上進行更多合作，特別是設備制造商；在經費拮據的情況下，設備供貨商得團結起來，才能降低成本與風險。

這對于某些(不是全部)技術來說特別需要，例如18吋晶圓與超紫外光(EUV)微影；此外新一代微影架構、量測以及硅穿孔(through-silicon-vias，TSV)等，也都是需要龐大研發(fā)經費才能有所進展的技術案例。

簡而言之，產業(yè)觀察家認為，如果晶圓設備供貨商們繼續(xù)假裝一切如常、繼續(xù)各自為政，兩年一次的制程周期(process cycle)進展速度將會減緩。而這些總是拒絕相互合作的設備廠，也恐怕將會一步步走向滅亡之路。

應材資深副總裁暨硅晶系統(tǒng)事業(yè)部門(Silicon Systems Group)總經理Tom St. Dennis提出警告：“現(xiàn)有的晶圓制造設備產業(yè)規(guī)模，根本不足以負擔追隨摩爾定律、提供客戶尖端設備與制程技術所需的龐大研發(fā)支出。”

St. Dennis表示，為了支持客戶跟上技術藍圖并提供關鍵服務，該公司認為已有建立新業(yè)務模式、以及建立聯(lián)盟關系來最佳化產業(yè)資源利用的需要。(St. Dennis在該場記者會上，就是與TEL美國分公司的總經理Harvey Frye分坐貴賓桌兩端)

這些年來，有不少芯片供貨商與設備業(yè)者的合作案例，設備業(yè)者也會與研發(fā)機構進行合作，例如Albany Nanotech、IMEC、Selete、Sematech與SRC；可見合作是有用的。設備制造商之間也曾有過各種研發(fā)合作，但僅限于有助于業(yè)務發(fā)展且雙方無競爭關系的情況。

但晶圓廠設備產業(yè)的研發(fā)模式卻仍在黑暗時代，這些廠商(特別是競爭對手之間)互不信任也拒絕合作。例如應材與TEL，就很難想象會進行合作；看這兩家公司的自動測試設備(ATE)業(yè)務就可發(fā)現(xiàn)，他們各自支持不同的產業(yè)聯(lián)盟與通用平臺，可惜都不順利。

也許半導體設備業(yè)者該與IC業(yè)者學學，該如何與競爭者合作來降低研發(fā)成本；如IBM的聯(lián)盟就是一個模范，那里有一群對手為了共同的利益攜手開發(fā)制程技術。

設備產業(yè)有太多理由需要合作，其中一個就是微影技術的發(fā)展。目前193奈米浸潤式微影，被視為可支援32/28奈米制程節(jié)點；但到了22奈米節(jié)點，微影技術選項除了193奈米浸潤式技術，還有雙圖案(double-patterning)、無光罩(maskless)與納米壓印(nanoimprint)。

到了15奈米制程節(jié)點，EUV技術是最被看好的，不過目前該技術的研發(fā)卻因相關檢測設備的落差而出現(xiàn)瓶頸；據了解，開發(fā)EUV檢測設備還需投入2億美元的經費。而奈米壓印、無光罩技術相關設備的開發(fā)，也同樣面臨缺錢窘境。

對此KLA-Tencor營銷長Brian Trafas認為，要實現(xiàn)下一代的檢測設備與技術，建立新的募資與資源共享機制是可行的；例如KLA-Tencor就正與Sematech的成員共同合作，研發(fā)最新的光罩檢測工具。

但Trafas表示，像是EUV技術開發(fā)所需的龐大成本，傳統(tǒng)的募資與研發(fā)模式恐怕會難以支撐；這類研發(fā)案除了所費不貲，投資報酬率也不明。因此有人認為，得靠像應材、TEL這樣相互競爭的大廠連手，才能降低開發(fā)EUV檢測設備的研發(fā)成本。

不過Trafas也坦承，實在難以想象應材與TEL會愿意合作，不說兩家設備供貨商的死對頭關系，要談連手，智慧財產權就是一個顧慮。

18吋晶圓也是引發(fā)產業(yè)合作議題的另一項艱難技術；雖然英特爾(Intel)、臺積電(TSMC)與三星(Samsung)已經站出來相挺，但如果設備供貨商不買帳，這些芯片大廠難道得自己去搞設備嗎？據統(tǒng)計，催生18吋晶圓廠所需經費是200億到400億美元！

除了一再呼吁產業(yè)界合作，今年的Semicon West就在如此沉悶的氣氛下進行，據說不但參展攤位較往年減少，參觀人數也很冷清。不少大廠都沒出現(xiàn)在展場，改在場外設置針對客戶與產業(yè)分析師開放的會議室。而展會期間也很少有新產品、新技術的發(fā)表。