張國義:III族氮化物半導(dǎo)體材料的應(yīng)用及發(fā)展
2013年9月5日,首屆第三代半導(dǎo)體材料及應(yīng)用發(fā)展國際研討會在深圳成功召開。本次會議由國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)、中國國際光電博覽會共同主辦,來自中科院半導(dǎo)體研究所、南京大學(xué)、北京大學(xué)、科銳公司、西安電子科技大學(xué)等研究機構(gòu)以及企業(yè)的近百名人士參加了此次會議。
北京大學(xué)寬禁帶半導(dǎo)體聯(lián)合研究中心主任張國義在會上以《III族氮化物半導(dǎo)體材料及其應(yīng)用》為題,從半導(dǎo)體照明、激光顯示、高溫大功率高頻電子器件、紫外探測器及發(fā)光器件、稀磁半導(dǎo)體與自旋電子學(xué)、全太陽能光伏器件六個方面,介紹了氮化物半導(dǎo)體的應(yīng)用情況和發(fā)展前景。
他首先介紹了氮化物半導(dǎo)體的特點,主要有:GaN、AIN、InN及其合金體系,全部為直接帶隙,構(gòu)成高亮度發(fā)光材料;易于生成多層異質(zhì)結(jié)構(gòu),形成MQWs、SLS、2DEG等結(jié)構(gòu),有利于器件結(jié)構(gòu)設(shè)計;帶隙范圍覆蓋了整個可見光到遠(yuǎn)紫外波段,特別是在短波長方面,目前是唯一的最佳選測;還有結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、耐腐蝕、高溫、長壽命等。
他指出目前氮化物半導(dǎo)體的主要的用途有,第一個是高亮度紫外光、藍(lán)光、綠光和白光光發(fā)射二極管(LED),包括紅外和紅外光LED;第二個是紫外(UV)、藍(lán)、綠光激光器;第三是可見光盲的UV-光傳感器;第四是高溫大功率效應(yīng)晶體管;第五個是高溫稀磁半導(dǎo)體、自旋電子學(xué)器件、第六個是全太陽能光伏器件,此外還有更多的應(yīng)用領(lǐng)域在發(fā)展。
他說半導(dǎo)體照明領(lǐng)域是目前氮化物半導(dǎo)體應(yīng)用最為成熟的領(lǐng)域,在半導(dǎo)體照明的發(fā)展中,襯底材料是源頭,決定著MOCVD設(shè)備、生長技術(shù)、芯片結(jié)構(gòu)、封裝結(jié)構(gòu)等技術(shù)的發(fā)展。但同時他強調(diào)到,半導(dǎo)體照明是第三代半導(dǎo)體技術(shù)應(yīng)用的最為重要的一個方面,沒有半導(dǎo)體照明就沒有第三代半導(dǎo)體的形成條件。
在激光顯示技術(shù)的應(yīng)用發(fā)展方面,張國義指出,未來的發(fā)展趨勢是低成本、小體積、高功率的紅綠藍(lán)三基色激光器。未來激光顯示技術(shù)會在投影、3D打印擁有巨大的市場,也是目前發(fā)展速度比較快的領(lǐng)域;另外便攜式投影儀、與LED相結(jié)合的投影技術(shù)也基本成熟;而純激光的裸眼3D技術(shù)被認(rèn)為是在未來顯示技術(shù)領(lǐng)域會引起關(guān)注的重要方向。他說,隨著高密度存儲市場的飽和,激光顯示應(yīng)用將是氮化物半導(dǎo)體激光器市場的新推動力。
談到未來激光顯示的市場前景,張國義指出,顯示產(chǎn)業(yè)是年產(chǎn)值超過千億美元的新產(chǎn)業(yè),是信息時代的先導(dǎo)性支柱產(chǎn)業(yè),我國激光顯示是最有可能領(lǐng)先國際水平的新型顯示技術(shù),而3D是最有生命力且終將成為顯示技術(shù)共性平臺的下一代顯示技術(shù)。預(yù)計5年后激光顯示年產(chǎn)值將達100億,裝機量達50萬臺。
在紫外和深紫外LED的應(yīng)用方面,張國義指出主要有紫外光的發(fā)光器和紫外光的探測器件,國防建設(shè)需求較大,主要應(yīng)用于國防和導(dǎo)彈制導(dǎo)、預(yù)警、跟蹤和監(jiān)測等方面。在民用方面,在生物、消毒、殺菌,紫外固化等領(lǐng)域市場廣闊。
張國義重點介紹了稀磁半導(dǎo)體和自旋電子學(xué)的應(yīng)用,他說稀磁半導(dǎo)體和自旋電子學(xué)是未來電子學(xué)領(lǐng)域和光電子學(xué)領(lǐng)域的重要發(fā)展方向。他說每個電子態(tài)都有自旋向下和自旋向上的兩個電子,如果將這兩種狀態(tài)分開,就可利用自旋態(tài)作為信息傳輸和處理的一種手段,就是所謂的自旋電子學(xué)。這種自旋電子如果應(yīng)用到計算機的信息處理方面,可以考慮自旋電子向上有和無、自旋電子向下有和無四種狀態(tài),那么就可以將目前計算機進行信息處理的二進制進入到四進制,將可大大提高計算量和計算速度。但他指出,目前國內(nèi)在此方面的研究并不快。
他最后總結(jié)道,氮化物半導(dǎo)體材料目前主要應(yīng)用在6個方面,其中在半導(dǎo)體照明領(lǐng)域的應(yīng)用最為成熟和最為廣泛,但并不是最完善的,還有許多問題需要去開發(fā),還有許多基礎(chǔ)問題研究需要解決;GaN-基藍(lán)、綠光激光器最主要的是氮化物的襯底材料還沒有解決,電子功率器件逐步走向應(yīng)用市場。這兩個領(lǐng)域市場前景巨大。稀磁半導(dǎo)體和自旋電子領(lǐng)域是最具革命性應(yīng)用前景的領(lǐng)域,是引起未來信息半導(dǎo)體第二次革命的一個重要方向。紫外LED和探測器、太陽能電池也處于研發(fā)狀態(tài),特別是全太陽能光伏但市場前景還有待觀察。