牛尾電機正在開發(fā)的曝光用LED光源,在“Semicon Japan 2011”(2011年12月7~9日,幕張Messe會展中心)上參考展出。有望取代之前使用的汞(Hg)燈。該公司表示,準備開拓能發(fā)揮LED光源特點的應(yīng)用。
據(jù)牛尾電機介紹,展示的曝光用LED光源,其本身的開發(fā)已經(jīng)完成,目前正在探索用戶的使用方法。該LED光源可輸出相當(dāng)于汞燈g線(波長為436mm)、h線(波長為405mm)和i線(波長為365mm)波長的光。目前的光強度相當(dāng)于輸出功率750W的汞燈。該LED光源的特點是,可改變汞燈中固定的g線、h線和i線的光強度比。另外,雖然與之前使用的汞燈相比初期成本較高,但由于使用壽命長,所以可降低運行成本(Running Cost)。此外,其發(fā)熱較低,可實現(xiàn)節(jié)能省空間化。牛尾電機表示,將開拓能發(fā)揮這些特點的應(yīng)用。