近日，北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司佳音頻傳，繼高密度等離子刻蝕機中標(biāo)國家集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)項目后，ELEDE 330高密度等離子ICP刻蝕機中標(biāo)上海藍光LED項目。ELEDE 330由北方微電子自主研制生產(chǎn)，是我國首臺直接面向LED大生產(chǎn)線的ICP刻蝕系統(tǒng)，實現(xiàn)了北方微電子半導(dǎo)體刻蝕技術(shù)在LED領(lǐng)域的成功擴展。此次中標(biāo)，標(biāo)志著北方微電子LED刻蝕設(shè)備獲得市場主流生產(chǎn)線的充分肯定，使我國高端LED設(shè)備的國產(chǎn)化水平得到了新的提升。

上海藍光科技有限公司是中央企業(yè)彩虹集團控股的全國首家從事氮化鎵基LED外延片及芯片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè)，是國家“863”計劃光電子領(lǐng)域成果轉(zhuǎn)化基地，是國家發(fā)展與改革委員會確定的新材料專項產(chǎn)業(yè)化示范工程項目。