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[導讀]芯片制造行業(yè)對成本極其敏感是不爭的事實。Norcimbus作為無顆粒高純度氣體設備以及自動化的領軍企業(yè),為全球的半導體以及太陽能制造企業(yè)供應NBlend多種流量氣體攪拌設備。“NBlend攪拌設備體現(xiàn)了半導體以及相關

芯片制造行業(yè)對成本極其敏感是不爭的事實。Norcimbus作為無顆粒高純度氣體設備以及自動化的領軍企業(yè),為全球的半導體以及太陽能制造企業(yè)供應NBlend多種流量氣體攪拌設備。“NBlend攪拌設備體現(xiàn)了半導體以及相關的制造工藝實現(xiàn)材料傳輸?shù)闹饕兏铩?rdquo; Norcimbus的總裁John Wheeler說,“處理控制的進步使大規(guī)模的氣體混合成為現(xiàn)實,給現(xiàn)有的技術注入了新的生命,并且提供給生產(chǎn)者一個盈利以及持續(xù)節(jié)約開支的快速通道。”

NBlend攪拌設備可以使制造商避免使用特殊氣體鋼瓶,而是使用廠房內現(xiàn)有的大宗氣體供應基礎設施通過在室內攪拌本身的特殊氣體而實現(xiàn)大規(guī)模降低花費的目的。此設備可以在最少60天內實現(xiàn)投資回報率(ROI)。Norcimbus NBlend設備通過系統(tǒng)的閉合環(huán)路回饋以及分析功能可以體現(xiàn)技術中很多的優(yōu)勢。這些可以使設備保持攪拌氣體的極其精準的參數(shù),精確比率為正負0.3%。當MFC為基礎的設備必須按照設定的流量率進行攪拌時,結果是對排出氣體進行通風,NBlend設備可以衡量真實的攪拌并且實時運行攪拌,使氣體可以按照需要進行傳輸并減少了資源的浪費。

半導體制造行業(yè)正在積極尋求降低成本的技術領域,而我們對于氣體傳輸?shù)呐χ苯舆_成了這個目標,同時也能夠保證關鍵性制程所需要氣體的純凈度和連續(xù)性,”John Wheeler說,“最基本的是NBlend設備可以實現(xiàn)快速的投資回報率,根據(jù)生產(chǎn)需要通常是在六個月內實現(xiàn),同時可以最大程度減少浪費,以及丟棄廢棄氣體對環(huán)境造成的影響。”

Norcimbus的NBlend設備通過整合MFC攪拌設備、緩沖罐,集中分析儀以及擁有專利技術的PPV控制器拓展了現(xiàn)有的氣體攪拌工藝。設備的設計可以攪拌兩種氣體到可調整的比率,同時供應達到250slpm的可變的持續(xù)流量,集中分析儀同時監(jiān)測并且調整攪拌比率以維持集中定點。設備可以提供所要求比率正負0.3%的控制精確性,允許其通過可變的流量率以及可調整的混合比率來傳輸持續(xù)的結果。

“成本控制是制造商們關注的重點之一,Norcimbus為半導體、太陽能、TFT/LCD、MEMS、LED、納米技術等提供氣體櫥柜,各種特定流量氣體攪拌機,來滿足他們特定的需要。”John Wheeler說,“目前已有不少foundry采用了我們的產(chǎn)品。未來我們也會積極將產(chǎn)品推廣到高校和科研院所,希望在研發(fā)階段就能夠參與其中。”

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