國產(chǎn)IC(集成電路)裝備在沈取得重大突破 時間:2007-09-06 10:35:34 關(guān)鍵字: 集成電路 IC 晶圓 微米 手機(jī)看文章掃描二維碼隨時隨地手機(jī)看文章 [導(dǎo)讀]由沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司研制的國內(nèi)首臺12英寸芯片制造設(shè)備———晶圓先進(jìn)封裝設(shè)備日前通過嚴(yán)格的工藝檢測驗收,開始正式投入生產(chǎn)使用。這是國產(chǎn)IC(集成電路)裝備的一項重大突破。 在我國IC產(chǎn)業(yè)中,封裝業(yè)占 由沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司研制的國內(nèi)首臺12英寸芯片制造設(shè)備———晶圓先進(jìn)封裝設(shè)備日前通過嚴(yán)格的工藝檢測驗收,開始正式投入生產(chǎn)使用。這是國產(chǎn)IC(集成電路)裝備的一項重大突破。 在我國IC產(chǎn)業(yè)中,封裝業(yè)占有重要地位。沈陽芯源公司新推出的這臺全自動12英寸晶圓先進(jìn)封裝設(shè)備主要用于芯片封裝生產(chǎn)中多種涂覆材料的勻膠/顯影和晶圓的單片清洗。這臺擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的封裝設(shè)備成功投入使用,表明我國IC制造裝備未來在從180毫微米向130毫微米和90毫微米升級時可以使用上國產(chǎn)裝備,扭轉(zhuǎn)我國IC制造裝備受制于人的局面。 欲知詳情,請下載word文檔 下載文檔 來源:遼寧日報 作者:tee