MEMS(微機電系統(tǒng))技術(shù)在動作、加速度、傾斜角以及振動等傳感器中應(yīng)用日益廣泛。目前，MEMS傳感器屬系統(tǒng)級封裝(SiP)解決方案，具有高分辨率、低功耗以及小尺寸等優(yōu)勢。
MEMS加速度計和陀螺儀可成功實現(xiàn)更多符合成本效益、采用動作感應(yīng)功能的設(shè)備。MEMS運動傳感器為手機、MP3/MP4播放器、PDA或游戲機帶來更直觀的人機界面，把用戶手腕、手臂和手的動作與應(yīng)用程式、頁面內(nèi)部及頁面之間的瀏覽、游戲機中的人物動作等功能連接起來，實現(xiàn)真正的人機即時互動。
資料保護是MEMS傳感器在便攜設(shè)備中的另一種應(yīng)用。當出現(xiàn)自由落體或者其它異常動作時，MEMS加速度計可即刻停止系統(tǒng)上全部硬盤驅(qū)動器(HDD)的讀寫操作，并且將硬盤驅(qū)動器上的讀寫頭固定到安全位置。此外，MEMS加速度計也廣泛用于整合洗衣機或干衣機等家電中，可作為振動檢測器，用于穩(wěn)定失衡的負荷，以防止機器產(chǎn)生過多不必要的磨損故障。
MEMS陀螺儀、角運動傳感器、用于人機界面的輔助加速度傳感器，為游戲機和遙控器帶來更生動的用戶體驗。陀螺儀可以提高數(shù)字攝像機和數(shù)碼相機的影像與照片清晰度，提升汽車導(dǎo)航系統(tǒng)的航位推算和/或地圖匹配性能。由于在建筑物內(nèi)或高樓林立的市區(qū)，通常沒有GPS信號，航位推算系統(tǒng)可通過監(jiān)測動作、行駛距離和緯度，修正數(shù)字羅盤的讀數(shù)，為用戶不間斷地提供準確的導(dǎo)航資訊。
壓力傳感器可滿足應(yīng)用對全量程和高分辨率的要求：應(yīng)用實例包括手持設(shè)備的氣壓計功能和硬盤驅(qū)動器的“飛行高度”控制功能。隨著硬盤驅(qū)動器小型化的趨勢和容量不斷地提升，讀寫頭與硬盤表面之間的距離容易因為氣壓變化而受到影響。
微機電聲學(xué)器件、或MEMS麥克風(fēng)可提高現(xiàn)有和新興應(yīng)用的音質(zhì)、可靠性以及成本效益，包括手機、筆記本電腦、攝像機、數(shù)碼相機以及助聽器或電子聽診器。將多個MEMS麥克風(fēng)組合成一個陣列可實現(xiàn)更多的功能，例如噪音抑制和方向拾音等。隨著人們在噪音很大和無法控制的環(huán)境內(nèi)使用手機的頻率日漸增加，這個功能對于提高聲音清晰度有很大的幫助，同時可提高手機通話與會議的音質(zhì)。