一些關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備取得了長足的進步，從2000年落后國外先進水平5代，縮短為現(xiàn)在的1～2代。
國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備將逐步實現(xiàn)對國外產(chǎn)品的完全替代。
半導(dǎo)體仍未形成產(chǎn)業(yè)鏈
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)達程度是衡量一個國家科技生產(chǎn)力強弱的重要標(biāo)志之一。目前中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)還很薄弱，無論是工業(yè)基礎(chǔ)還是人才力量以及國家的投入都屬于初級階段，距離世界先進水平還有很大距離?？梢哉f目前我國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)仍然未形成產(chǎn)業(yè)鏈，所以不管是設(shè)備還是材料都談不上什么支撐，即使是材料和設(shè)備業(yè)本身也缺乏國內(nèi)基礎(chǔ)工業(yè)和本土人才的支撐。從長遠(yuǎn)看，要在中國形成一條完整的產(chǎn)業(yè)鏈，還需要國家大量的資金投入和行業(yè)的技術(shù)積累，并且出臺政策鼓勵設(shè)計、制造、設(shè)備、材料等產(chǎn)業(yè)鏈重大環(huán)節(jié)的自主創(chuàng)新和產(chǎn)品開發(fā)。
由于中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的上游設(shè)計和制造業(yè)相對落后，在國際市場上缺乏競爭力，國內(nèi)IC制造大廠如中芯國際等的客戶仍然以國外客戶為主，而很多制造商本身的生產(chǎn)技術(shù)也處于國際的低端水平，所以很難對下游的國產(chǎn)設(shè)備和材料業(yè)形成有效支持，這就導(dǎo)致了設(shè)備業(yè)缺乏最終用戶的指導(dǎo)和市場機會，這是設(shè)備業(yè)難以支撐的首要原因。第二個原因是制造大廠將大量的設(shè)備需求都給了國外的公司，這使得國產(chǎn)設(shè)備難以做大。當(dāng)然，中國的IC設(shè)備起步較晚，技術(shù)上落后較多，勉強達到跟蹤國外先進水平，不足以在產(chǎn)品上取得明顯領(lǐng)先的優(yōu)勢，從而在國外設(shè)備占得先機的情況下，難以取而代之，這也是國產(chǎn)設(shè)備業(yè)發(fā)展舉步維艱的第三個主要原因。
關(guān)鍵設(shè)備取得長足進步
隨著國家啟動專項的支持和推進，一些關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備也取得了長足的進步，從2000年落后國外先進水平5代，縮短為現(xiàn)在的1～2代，至少我們有幾種設(shè)備可以在大生產(chǎn)線上替代國外設(shè)備。但是僅僅有幾臺設(shè)備國產(chǎn)化是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的，國家仍然沒有整線制造的能力。要形成具有自主能力的完整設(shè)備線和提供支撐的完整零部件產(chǎn)業(yè)鏈，還需要各個設(shè)備商共同、繼續(xù)的努力。而事實上，我們目前即使可以國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備，但超過設(shè)備30%的關(guān)鍵零部件還不具備國產(chǎn)化能力，仍然需要進口，使得國產(chǎn)設(shè)備的完全自主仍然十分艱難。這制約了國產(chǎn)設(shè)備的發(fā)展，需要盡快改變這種局面。
經(jīng)歷了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展期，目前半導(dǎo)體技術(shù)節(jié)點提升進入了物理瓶頸。在此種背景下，市場的選擇是28～22納米為主，65～45納米為輔開發(fā)新產(chǎn)品，這種現(xiàn)象應(yīng)該會持續(xù)3～5年。而更先進的8～5納米技術(shù)很可能會顛覆整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)現(xiàn)有技術(shù)和設(shè)備，能否被制造業(yè)接受還很難說。立足國內(nèi)的現(xiàn)狀，設(shè)備業(yè)應(yīng)該瞄準(zhǔn)未來5年內(nèi)仍然占據(jù)國內(nèi)IC制造業(yè)主導(dǎo)地位的28～22納米技術(shù)完善產(chǎn)品，使其符合產(chǎn)業(yè)需求，力爭國內(nèi)新市場。同時自主開發(fā)16～14納米設(shè)備，為2014年16～14納米新技術(shù)導(dǎo)入捕捉機會。
產(chǎn)業(yè)鏈健全期待政策扶持
工藝技術(shù)節(jié)點的不斷進步，以及新材料如碳化硅、納米材料等的出現(xiàn)，對設(shè)備業(yè)和材料業(yè)提出了更高的要求，希望國家盡快出臺相關(guān)政策支持設(shè)備業(yè)、材料業(yè)企業(yè)加大人才引進和資金投入力度，同時以設(shè)備業(yè)、材料業(yè)企業(yè)為龍頭和樞紐，扶持培養(yǎng)零部件基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)鏈。另外，可以由政府牽頭，加強設(shè)備、材料和上游設(shè)計制造行業(yè)的企業(yè)聯(lián)系，設(shè)備業(yè)加強自身的技術(shù)實力，開發(fā)適合市場的產(chǎn)品提供給上游的制造企業(yè)，提升設(shè)備、材料企業(yè)的自我造血機能。
未來，從產(chǎn)業(yè)發(fā)展角度講，作為整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，設(shè)備和材料業(yè)應(yīng)該以建立健全各自產(chǎn)業(yè)鏈、達到完全自主制造為目標(biāo)，逐步實現(xiàn)對國外產(chǎn)品的完全替代。設(shè)備商作為系統(tǒng)集成技術(shù)的掌握者和用戶，應(yīng)該是國家資金支持的主體，然后根據(jù)設(shè)備本身完全國產(chǎn)化的需要，去有的放矢地培養(yǎng)扶持優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)零部件制造商，而不是本末倒置，把資金放給零部件制造單位。這些零部件研發(fā)單位既不知道設(shè)備商的技術(shù)需求，又不知道市場的需求節(jié)點，完全閉門造車。
目前的半導(dǎo)體設(shè)備和材料在IC制造業(yè)客戶的導(dǎo)入和銷售都需要國家具體政策和資金的長期扶持，給設(shè)備制造商和制造業(yè)客戶以信心和保障。