在2013年1月舉行的MEMS國際學(xué)會“IEEE MEMS 2013”上，有一篇關(guān)于分辨率達到1Pa以下的絕對壓力傳感器的論文（論文編號：090）。該傳感器可檢測出10cm高度差時的氣壓差，可用于汽車導(dǎo)航 儀中識別行駛中的道路是地面道路還是高架道路，此外還有望應(yīng)用于聽診器及水下麥克風(fēng)等。

       該傳感器利用比原來更小的力來驅(qū)動測壓用微小構(gòu)造部分，從而提高了靈敏度。原來的普通壓力傳感器采用以硅薄膜密閉空洞的構(gòu)造，檢測對象的空 氣壓力與密閉空間之間的氣壓差所產(chǎn)生的力會使硅薄膜彎曲，通過薄膜上附帶的壓電電阻元件檢測薄膜變形產(chǎn)生的應(yīng)力就可換算出氣壓差。硅薄膜是在周圍被固定的 狀態(tài)下彎曲的。而此次的傳感器在以壓力差驅(qū)動的部分采用單側(cè)支撐構(gòu)造（單側(cè)支撐梁），也就是不用將硅薄膜的周圍全部固定，而只固定一側(cè)。這樣一來，便形成 了比現(xiàn)有的硅薄膜更容易驅(qū)動的狀態(tài)。

       為了檢測出壓力差，必須要通過單側(cè)支撐梁來制造密閉空間，因此，該傳感器用液體覆蓋在單側(cè)支撐梁上，通過減小單側(cè)支撐梁未支撐一側(cè)的間隙， 可借助表面張力防止液體向密閉空間泄漏。憑借這一構(gòu)造，當(dāng)覆蓋有液體的單側(cè)支撐梁受到氣壓時，單側(cè)支撐梁就會利用與密閉空間之間的氣壓差所形成的力產(chǎn)生比 原來的構(gòu)造更大的彎曲。壓力電阻元件就會檢測出這一彎曲。從利用液體來覆蓋傳感器部分這一構(gòu)造上的特點來看，該傳感器還可用于在液體中檢測水壓及聲壓的用 途。（記者：三宅常之，Tech-On！）

傳感器部分的截面圖（圖片由東京大學(xué)提供