蘇州高新區(qū)將建MEMS工程技術(shù)研究中心
“MEMS”是指微小尺度機械電氣系統(tǒng),主要包括微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及相應(yīng)的專用集成電路等幾部分,通常尺度為微米級。MEMS技術(shù)是在融合多種微納米量級加工技術(shù)以及集成電路工藝技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型多學(xué)科交叉的前沿技術(shù),其重要的應(yīng)用載體是微慣性測量單元它以體積小、價格低、高可靠等優(yōu)點而廣泛應(yīng)用于汽車電子、生物醫(yī)學(xué)、常規(guī)彈藥制導(dǎo)化等軍民領(lǐng)域。
中國兵器工業(yè)集團第二一四研究所,是蘇州最早引進的大院大所之一,為建立MEMS器件與組件自主創(chuàng)新研發(fā)平臺,打破國外封鎖與壟斷,二一四所將聯(lián)合清華大學(xué)、東南大學(xué)、蘇州大學(xué)共同開展MEMS慣性器件研發(fā)。合作方向?qū)ǎ篗EMS新理論、新技術(shù)、新工藝研究;MEMS 新產(chǎn)品開發(fā)和工程化研制;MEMS產(chǎn)業(yè)化發(fā)展研究與模式探索;MEMS技術(shù)和產(chǎn)品應(yīng)用研究與市場推廣等。
通過本次簽約,合作各方將進一步優(yōu)化資源配置、提升創(chuàng)新能力,大力發(fā)展MEMS在軍民兩個領(lǐng)域的應(yīng)用,以更好地服務(wù)地方經(jīng)濟,實現(xiàn)各方的合作共贏。