[導讀]領先的MEMS設計供應商Coventor和納電子研究中心imec共同宣布戰(zhàn)略合作，以改善和拓展CMOS和MEMS集成技術的設計與制造。合作將包括雙方研發(fā)路線的統(tǒng)一，及研究內容的互補。雙方將共同為imec的SiGe MEMS-above-IC工藝開
領先的MEMS設計供應商Coventor和納電子研究中心imec共同宣布戰(zhàn)略合作，以改善和拓展CMOS和MEMS集成技術的設計與制造。合作將包括雙方研發(fā)路線的統(tǒng)一，及研究內容的互補。雙方將共同為imec的SiGe MEMS-above-IC工藝開發(fā)工藝設計包。
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