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[導(dǎo)讀]大陸本土半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)者中微半導(dǎo)體盡管在與國(guó)際大廠(chǎng)應(yīng)用材料(Applied Materials)及科林研發(fā)(Lam Research)官司纏訟之中,但開(kāi)拓市場(chǎng)腳步未停歇,目前45納米蝕刻機(jī)臺(tái)已經(jīng)打入臺(tái)積電12寸廠(chǎng),正在進(jìn)行設(shè)備驗(yàn)證,同時(shí)也與

大陸本土半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)者中微半導(dǎo)體盡管在與國(guó)際大廠(chǎng)應(yīng)用材料(Applied Materials)及科林研發(fā)(Lam Research)官司纏訟之中,但開(kāi)拓市場(chǎng)腳步未停歇,目前45納米蝕刻機(jī)臺(tái)已經(jīng)打入臺(tái)積電12寸廠(chǎng),正在進(jìn)行設(shè)備驗(yàn)證,同時(shí)也與韓國(guó)存儲(chǔ)器業(yè)者合作當(dāng)中。中微亞太區(qū)總經(jīng)理朱新武表示,中微完全是走自主研發(fā)路線(xiàn),目前不僅65/45納米機(jī)臺(tái)已打入一線(xiàn)半導(dǎo)體業(yè)者供應(yīng)商行列,也已著手下1世代32納米制程技術(shù)研發(fā)。

中微是目前大陸最具潛力的本土半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)者,其設(shè)備已獲得中芯國(guó)際12寸廠(chǎng)采用,主要投資者包括知名創(chuàng)投業(yè)者華登(Walden)、LightSpeed、Redpoint,以及投資銀行高盛(Goldman Sachs)、半導(dǎo)體業(yè)者高通(Qualcomm)及科磊(KLA-Tencor)等。

中微表示,2008年10月完成C系列(Series C)集資動(dòng)作后,所籌集資金1.69億美元可因應(yīng)到2011年?duì)I運(yùn)所需不成問(wèn)題。中微除投資者大有來(lái)頭,最近與國(guó)際大廠(chǎng)的纏訟案也成為外界矚目焦點(diǎn),包括對(duì)上應(yīng)用材料及科林研發(fā)等,據(jù)了解,與應(yīng)用材料的商業(yè)秘密官司,有可能在近日內(nèi)朝向和解方向發(fā)展,而科林在新竹提出的專(zhuān)利權(quán)訴訟,則將于近日內(nèi)開(kāi)庭,中微堅(jiān)稱(chēng)設(shè)備專(zhuān)利都是自行研發(fā)。

據(jù)了解,中微目前為就近臺(tái)灣市場(chǎng),也在新竹設(shè)立辦公室就近服務(wù)客戶(hù),目前中微已打入臺(tái)積電供應(yīng)商行列,其65/45納米邏輯蝕刻機(jī)臺(tái)正在臺(tái)積電12寸廠(chǎng)驗(yàn)證當(dāng)中,順利的話(huà),下半年便可出貨。此外,中微也與韓系存儲(chǔ)器大廠(chǎng)合作中,并已投入下1世代32納米制程技術(shù)機(jī)臺(tái)研發(fā)。

中微在2009年半導(dǎo)體年會(huì)也獲得設(shè)備類(lèi)技術(shù)獎(jiǎng),中微表示,目前超高頻去耦型等離子蝕刻機(jī)共有2個(gè)反應(yīng)腔,每個(gè)反應(yīng)腔中都有3~4個(gè)反應(yīng)室,目前采用技術(shù)即便是國(guó)際設(shè)備大廠(chǎng)的專(zhuān)利技術(shù),也難以達(dá)成目前中微機(jī)臺(tái)的蝕刻效率。

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