2015年1月，北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“七星電子”)與上海華力微電子有限公司簽訂2臺(tái)12英寸立式氧化爐供銷(xiāo)合同，用于其55納米集成電路生產(chǎn)線。這標(biāo)志著七星電子的氧化爐產(chǎn)品繼在中芯國(guó)際驗(yàn)證成功后，又一次在國(guó)內(nèi)高端集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域取得突破，開(kāi)始走向商用化。

圖 七星電子12英寸立式氧化爐

七星電子具有50余年的半導(dǎo)體裝備研制生產(chǎn)歷史，是我國(guó)集成電路工藝設(shè)備骨干研制生產(chǎn)企業(yè)。近年來(lái)，在國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)支持下，七星電子承擔(dān)了12英寸立式氧化爐的研制任務(wù)。通過(guò)企業(yè)持續(xù)創(chuàng)新與投入，以及和用戶的緊密合作，七星電子研發(fā)團(tuán)隊(duì)成功研制出完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的12英寸立式氧化爐產(chǎn)品，通過(guò)了中芯國(guó)際90納米、65納米、45納米、28納米生產(chǎn)線的工藝驗(yàn)證。設(shè)備的關(guān)鍵工藝指標(biāo)、可靠性、安全性均達(dá)到國(guó)際同等設(shè)備技術(shù)水平，并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品系列化。

未來(lái)，七星電子將瞄準(zhǔn)集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展方向，通過(guò)持續(xù)投入，不斷提高自身技術(shù)研發(fā)能力和立式爐產(chǎn)品的技術(shù)水平，增強(qiáng)國(guó)際市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。同時(shí)，通過(guò)12英寸LPCVD,單片清洗機(jī)等產(chǎn)品的研制，擴(kuò)大集成電路裝備產(chǎn)品線，努力把企業(yè)打造成國(guó)內(nèi)高端集成電路設(shè)備的龍頭企業(yè)，為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。