缺不得的光刻膠：美日占據(jù)9成

光刻膠是晶圓制造的核心材料之一，約占IC制造材料總成本的5%，是必不可少的半導(dǎo)體材料。

我國是半導(dǎo)體光刻膠全球最大的市場，根據(jù)SEMI 統(tǒng)計(jì)，半導(dǎo)體光刻膠2019年銷售額為17.7億美元。其中中國市場規(guī)模占全球比重約為32%，其次是美洲的21%、亞太20%（除中國和日本）、歐洲9%和日本9%。但受技術(shù)限制，我國在中高端光刻膠方面主要依賴進(jìn)口。

半導(dǎo)體光刻膠按曝光波長分類主要有g(shù)線、i線、KrF、ArF和EUV五大類。為適應(yīng)集成電路線寬不斷縮小的要求，光刻膠的發(fā)展由 g 線→i 線→KrF→ArF→EUV的方向轉(zhuǎn)移。

KrF和ArF光刻膠等中高端核心技術(shù)基本被海外企業(yè)所壟斷，來自日本的JSR、東京應(yīng)化、信越化學(xué)、富士電子和來自美國的羅門哈斯五家頭部公司占據(jù)全球超過90%的市場份額。國內(nèi)生產(chǎn)產(chǎn)能主要集中在g線和i線光刻膠，多應(yīng)用于成熟工藝制成，中高端光刻膠的攻克迫在眉睫。

橫遭斷料危機(jī)

今年以來，半導(dǎo)體光刻膠供應(yīng)極為短缺，以往企業(yè)每次采購的光刻膠量約在100kg，但由于原材料短缺，每期只能采購到10kg-20kg。

2月福島地震導(dǎo)致信越停產(chǎn)，至今尚未完全恢復(fù)生產(chǎn)，出現(xiàn)光刻膠供應(yīng)緊缺的局面，疊加全球芯片供應(yīng)短缺問題的影響，海內(nèi)外晶圓廠商爭先擴(kuò)廠，導(dǎo)致芯片上游原材料光刻膠的需求量大增。

供不應(yīng)求的市場導(dǎo)致價格上漲。4月光刻膠關(guān)鍵材料稀釋劑價格提高50%，進(jìn)一步傳導(dǎo)至光刻膠價格上漲，加劇市場混亂局面。

國內(nèi)光刻膠廠商容大感光在此前表示，進(jìn)入2021年，化工產(chǎn)品價格更是高歌猛進(jìn)，漲價聲一浪高于一浪，特別是PCB光刻膠的主要原材料樹脂、溶劑等產(chǎn)品漲速驚人，給企業(yè)的成本控制帶來了巨大的壓力。

本土光刻膠廠商就位

令人欣慰的是，近年來，國內(nèi)企業(yè)正從低端光刻膠向中高端光刻膠逐步攻克。

國內(nèi)在半導(dǎo)體高端光刻膠發(fā)展較好的上市企業(yè)主要有四家，分別是晶瑞股份、容大感光、上海新陽、南大光電。其各自的產(chǎn)品線和發(fā)展進(jìn)程如下：

截至發(fā)稿這四家公司的市值分別為：84.6億、60.7億、125億、122億。且四大廠商在2020年有不錯的表現(xiàn)，營收和凈利均見長：

晶瑞股份：營收約10.2億，同比增長35.3%；凈利約7695萬，同比增長145.7%；南大光電：營收約5.95億元，同比增長85.13%；凈利約8702萬元，同比增長58.18%；上海新陽：營收約6.94億元，同比增長8.25%；凈利約2.74億元，同比增長30.44%；容大感光：營收約5.44億元，同比增長19.52%；凈利約5683萬元，同比增長50.2%。

針對KrF光刻膠，晶瑞股份進(jìn)入客戶測試階段；針對ArF光刻膠，上海新陽已進(jìn)入產(chǎn)能建設(shè)階段；南大光電已通過客戶認(rèn)證；晶瑞股份尚在研發(fā)過程中。

晶瑞股份高端KrF光刻膠完成中試，未來幾年有望實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)導(dǎo)入；ArF高端光刻膠研發(fā)工作已啟動，并于2020年下半年購買ASML1900Gi型光刻機(jī)設(shè)備，能夠?qū)崿F(xiàn)90-28nm芯片制程的ArF(193nm)光刻膠可以滿足國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵材料市場需求。

上海新陽今年早些時候表示，公司購置了滿足I線365nm光刻膠到ArF 193nm浸沒式光刻膠的4臺光刻機(jī)，是研發(fā)各類半導(dǎo)體光刻膠必備的研發(fā)測試和生產(chǎn)質(zhì)控的關(guān)鍵設(shè)備，沒有光刻機(jī)就沒法實(shí)現(xiàn)研發(fā)光刻膠的產(chǎn)業(yè)化，光刻膠的研發(fā)成功會給公司整體的技術(shù)水平帶來質(zhì)的提升和銷售收入的顯著增長。

南大光電近期表示，生產(chǎn)線產(chǎn)品光刻膠發(fā)往多家下游客戶驗(yàn)證，該公司已建成25噸光刻膠生產(chǎn)線，生產(chǎn)線已具備批量生產(chǎn)的條件。

編者寄語

國內(nèi)光刻膠起步較慢，多以i線、g線光刻膠生產(chǎn)為主，相較海外廠商的技術(shù)實(shí)力仍然懸殊較大，并且缺乏攻克技術(shù)和搶占市場的動力。

當(dāng)下，海外廠商斷供光刻膠、下游需求強(qiáng)勁，晶圓廠加速驗(yàn)證和導(dǎo)入國產(chǎn)光刻膠，推動國產(chǎn)光刻膠廠商的發(fā)展動力，尤其是在KrF、ArF等中高端半導(dǎo)體光刻膠上面。

目前，就中高端的成熟光刻膠來說，無論是生產(chǎn)廠商數(shù)量還是產(chǎn)品出貨量都未成規(guī)模，短時間內(nèi)未必能實(shí)現(xiàn)替代，但是國內(nèi)晶圓生產(chǎn)材料就有了更多選擇。

此次部分?jǐn)喙┍厝粚鴥?nèi)晶圓代工廠商會產(chǎn)生一定的影響，但隨著本土光刻膠廠商實(shí)現(xiàn)KrF、ArF光刻膠研發(fā)完成、完成客戶驗(yàn)證、規(guī)?；慨a(chǎn)，國產(chǎn)替代將迎來高峰期，我國不再受“卡脖子”威脅。