MIM是由金屬、絕緣體、金屬三層薄膜組成的夾心結(jié)構(gòu)。用于液晶顯示的MIM結(jié)構(gòu)如圖1所示，主要

有兩種： (1)圖1(a)是比較常見的“T”形結(jié)構(gòu)。這種結(jié)構(gòu)的工藝過(guò)
程比較簡(jiǎn)單，早期研制的MIM基本是這種形式。但這種結(jié)構(gòu)的MIM面積比較大，具有較大的寄生

電容，對(duì)提高對(duì)比度、改善其顯示質(zhì)量等不利。如果要減小其面積，就要求有大面積、高分辯率

的光刻設(shè)備。不僅增加了制作工藝的難度，成品率下降，還提高了成本，更不適合實(shí)現(xiàn)大型

顯示。(2)圖1(b)示出研制的側(cè)向MIM結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)是在掃描線側(cè)向形成

MIM遞斷作用
M IM元件的特點(diǎn)是其伏安特性的非線性變化。液晶顯示正是利用了MIM的這個(gè)特點(diǎn)。當(dāng)外加偏壓達(dá)到

某一定值V (閉值電壓)時(shí)，MIM 的電導(dǎo)率急劇變化， 并由絕緣狀態(tài)迅速變?yōu)閷?dǎo)體狀態(tài)。通過(guò)MIM的電

流也迅速增大．MIM處于“通” 狀態(tài)。當(dāng)MIM上的外加偏壓小于V T時(shí)，MIM又恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài)，MIM

處于“蜥” 態(tài)。在整個(gè)“通 、“蜥” 過(guò)程中絕緣層的絕緣性能并不損壞。圖2示出了M rM的伏安特

性曲線。

MIMI的通訊機(jī)理

茵此，在強(qiáng)場(chǎng)的作用下，施主能級(jí)上大量的電子進(jìn)入絕緣層導(dǎo)帶。并在強(qiáng)場(chǎng)的作用下發(fā)
生雪崩擊穿。其伏一安特性的關(guān)系可甩式(1)表示。對(duì)于絕緣層是Ta zO 的MIM來(lái)說(shuō)，實(shí)
際工作中制得的MIM的13 PF值不符合PooIe—Frenkel3L~論值而符合肖特基的

理論值日s(13 P F=2 13 s)。這種異常Poole—Frenke1效應(yīng)的出現(xiàn)主要是在Ta zO 膜中

僅僅存在中性的陷阱能級(jí)， 所以不能顯示出Poole—F reakel效應(yīng)。面且這時(shí)的電導(dǎo)率

也很低 為了解決這個(gè)問(wèn)題，必須通過(guò)熱處理等工藝， 在Ta：O 膜內(nèi)形成深施主能

級(jí)，以滿足液晶顯示的要求。在處理的過(guò)程中也能清除部分非平衡缺陷，

提高M(jìn)IM的穩(wěn)定性。