在智能手機、新能源汽車、5G基站等高密度電子設(shè)備中，芯片與外部電路的電氣連接是確保設(shè)備正常運作的核心環(huán)節(jié)。作為半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域的“隱形橋梁”，引線鍵合（Wire Bonding）技術(shù)通過微米級金屬線實現(xiàn)芯片與基板間的信號傳輸，其工藝精度直接影響器件性能與可靠性。這項誕生于20世紀(jì)60年代的技術(shù)，至今仍是全球90%以上集成電路封裝的主流方案。

一、工藝原理：原子級金屬融合的“化學(xué)舞蹈”

引線鍵合的本質(zhì)是通過熱、壓力與超聲波能量的協(xié)同作用，使金屬線（金、銅、鋁）與芯片焊盤（Bond Pad）及基板引腳形成原子級結(jié)合。以最常見的熱超聲鍵合為例：當(dāng)直徑18-50μm的金線通過毛細(xì)管（Capillary）接觸芯片鋁焊盤時，系統(tǒng)同步施加100-150℃加熱、30-60mN壓力及100kHz超聲波振動。金屬表面氧化層被破壞后，純凈金屬原子通過擴散形成共價鍵，鍵合強度可達(dá)70-100MPa，遠(yuǎn)超材料本身屈服強度。

二、技術(shù)分類：三大鍵合方式的差異化應(yīng)用

根據(jù)能量輸入方式與金屬線形態(tài)，引線鍵合分為三類核心工藝：

球鍵合（Ball Bonding）

通過電火花放電使金線末端熔化成球（直徑為線徑的2-3倍），再通過毛細(xì)管將球壓焊至芯片焊盤，形成第一焊點；隨后引線彎曲至基板引腳，通過楔形工具形成第二焊點。該工藝占全球鍵合市場的85%以上，適用于QFP、BGA等封裝形式，單點鍵合周期可縮短至80ms。

楔鍵合（Wedge Bonding）

利用楔形工具在室溫下通過超聲波振動（功率0.5-2W）與壓力（50-200mN）將鋁線或金線直接壓焊至焊盤，形成楔形焊點。該工藝無需制球，適合細(xì)間距（<50μm）鍵合，常用于功率器件與高頻模塊，如特斯拉汽車逆變器中的IGBT模塊。

熱壓鍵合（Thermocompression Bonding）

在300-500℃高溫下通過高壓（>1000mN）使金線與焊盤金屬原子擴散結(jié)合，形成高可靠性連接。該工藝成本較高，但適用于宇航級器件等極端環(huán)境場景。

三、材料創(chuàng)新：從金線到銅線的“降本革命”

傳統(tǒng)金線因優(yōu)異的導(dǎo)電性（電阻率2.3μΩ·cm）、抗氧化性與成球性長期占據(jù)主導(dǎo)地位，但每克400元的價格推動行業(yè)探索替代方案。2010年后，銅線鍵合技術(shù)快速崛起：

成本優(yōu)勢：銅線價格僅為金線的1/10，單芯片封裝成本降低30-50%。

性能突破：通過在銅線表面鍍2-5μm鈀層，解決氧化問題；采用預(yù)成型球技術(shù)（Preformed Ball）改善成球一致性。

應(yīng)用拓展：臺積電CoWoS封裝中，銅線鍵合已用于HBM存儲芯片與邏輯芯片的互連，支持帶寬達(dá)1.2TB/s。

四、工藝挑戰(zhàn)：微納尺度下的精度控制

隨著芯片焊盤尺寸縮小至20μm以下，引線鍵合面臨三大核心挑戰(zhàn)：

熱應(yīng)力管理：鍵合過程中溫度梯度達(dá)100℃/s，易在硅芯片與有機基板間產(chǎn)生熱應(yīng)力，導(dǎo)致焊點裂紋。解決方案包括采用低模量底填膠（Underfill）與應(yīng)力緩沖層。

線弧控制：在0.3mm鍵合高度下，需精確控制線弧形狀（如Q-Loop、Square Loop）以避免短路。ASM Eagle AERO機臺通過AI算法實現(xiàn)線弧精度±2μm。

缺陷檢測：采用高速攝像機（2000fps）與拉力測試儀（0.1mN分辨率）實時監(jiān)測鍵合質(zhì)量，結(jié)合機器視覺技術(shù)識別虛焊、頸裂等缺陷。

五、未來趨勢：面向3D封裝的“立體鍵合”

隨著Chiplet技術(shù)與3D堆疊封裝興起，引線鍵合正從二維平面向三維空間拓展。英特爾EMIB技術(shù)通過在基板中嵌入硅橋接片，實現(xiàn)多芯片間的高速互連；臺積電SoIC技術(shù)則利用銅-銅混合鍵合（Hybrid Bonding）替代傳統(tǒng)引線，將鍵合間距縮小至1μm以下。然而，在成本敏感型市場，引線鍵合仍將憑借其工藝成熟度與成本優(yōu)勢，繼續(xù)擔(dān)任微電子封裝的“基石技術(shù)”。