吉時(shí)利發(fā)布兩款新半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備
2005年3月7日,吉時(shí)利公司在北京召開(kāi)新聞發(fā)布會(huì),推出兩款新的半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備。
第一款是2600系列數(shù)字系統(tǒng)源表(System SourceMeter®)儀器,這是一個(gè)新的平臺(tái),能為包括硅和化合物半導(dǎo)體制造商在內(nèi)的大量廣闊范圍內(nèi)的電子元器件制作制造商顯著有效地降低測(cè)試成本的新的平臺(tái)。 2600系列數(shù)字系統(tǒng)源表儀器建立在吉時(shí)利公司第三代源測(cè)量技術(shù)(已申請(qǐng)專利)基礎(chǔ)之上,綜合了具有本行業(yè)最高吞吐通過(guò)量的源測(cè)量單元設(shè)備(SMU)和可升級(jí)的儀器構(gòu)成因子,允許無(wú)縫集成1至16通道該的數(shù)字系統(tǒng)源表儀器到一個(gè)從1號(hào)至16號(hào)SMU通道無(wú)縫集成到系統(tǒng)中。 2600系列系統(tǒng)數(shù)字源表儀器目前包含由2601型單通道和2602型雙通道型組成,是構(gòu)建ATE系統(tǒng)的比較理想的選擇,模塊化結(jié)構(gòu)并可升級(jí)儀器,可用于構(gòu)建ATE系統(tǒng)用于,各種執(zhí)行精密的DC、脈沖以及低頻AC信號(hào)的源-測(cè)量測(cè)試應(yīng)用。
2600系列數(shù)字系統(tǒng)源表儀器通過(guò)吉時(shí)利公司的嵌入式測(cè)試腳本處理器(TSP™)為各制造商提供了行業(yè)界領(lǐng)先的通過(guò)測(cè)試速率。測(cè)試腳本處理器即 TSP可讓用戶編寫(xiě)測(cè)試命令序列程序,并獨(dú)立于執(zhí)行于PC執(zhí)行操作系統(tǒng)的執(zhí)行高速的自動(dòng)化測(cè)試序列。 不同于競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手同類的其它產(chǎn)品,其缺乏根本不具備這種測(cè)試排序列能力或僅能將指令排成隊(duì)序列列來(lái)并執(zhí)行這些指令,而TSP具有直觀智能化工作(intuitive intelligence)的特點(diǎn),可使2600序列系列儀器在TSP處理器的控制下而不是單獨(dú)PC控制下工作,相當(dāng)于完整測(cè)量自動(dòng)化解決方案的一個(gè)獨(dú)立子系統(tǒng)來(lái)進(jìn)行作為元器件測(cè)試的一個(gè)完整的測(cè)量自動(dòng)化解決方案,而競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的產(chǎn)品則缺乏這種測(cè)試排序能力或僅能將指令排成隊(duì)列并執(zhí)行這些指令。 2600系列系統(tǒng)源表該儀器可以控制1至16個(gè)SMU通道上的純供電源純化、測(cè)量、通過(guò)成功/失效?。╬ass/fail)判決斷、測(cè)試試驗(yàn)順序列流程控制、元器件重新分級(jí)篩選以及數(shù)據(jù)存儲(chǔ)等。通過(guò)一些實(shí)際 在應(yīng)用中,所做的測(cè)試比對(duì),發(fā)現(xiàn)顯示該2600系列儀器與同類競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的產(chǎn)品的相比,其測(cè)量速度、系統(tǒng)吞吐信息通過(guò)量都快很多是競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手產(chǎn)品(的2~4倍),這些應(yīng)用測(cè)試包括三端元器件器件測(cè)試、并行元器件測(cè)試、光電器件L-I-V掃描以及二端元器件器件測(cè)試。
靈活的觸發(fā)和測(cè)試序列流程控制能力使得TSP可通過(guò)數(shù)字I/O和RS-232端口控制其它儀器、元器件篩選、機(jī)械元件手處理器或探針臺(tái)測(cè)器。 TSP具有無(wú)與倫比的儀器自動(dòng)化控制能力,可獲得高達(dá)10倍傳統(tǒng)產(chǎn)品的測(cè)試信息通過(guò)量。
2600系列數(shù)字系統(tǒng)源表儀器配備有Test Script Builder開(kāi)發(fā)軟件,其簡(jiǎn)單的圖形用戶界面(graphical user interface,GUI)簡(jiǎn)潔易用,可使用戶能夠輕松自由地開(kāi)發(fā)、修改以及和調(diào)試高速TSP程序。 每臺(tái)裝置也都具有內(nèi)置預(yù)寫(xiě)入TSP程序套件的特征,用戶可為專門(mén)特定應(yīng)用而快速修改這些程序,可減少75%的軟件開(kāi)發(fā)時(shí)間。 此外,適用于2400/2600系列數(shù)字系統(tǒng)源表儀器的LabTracer™ 2.0軟件能使用戶在實(shí)驗(yàn)室或半導(dǎo)體器件特性測(cè)試化應(yīng)用中順利地進(jìn)行儀器控制、數(shù)據(jù)采集以及圖形顯示、曲線跟蹤等。
2600系列系統(tǒng)源表儀器的報(bào)價(jià)如下:?jiǎn)瓮ǖ?601型的起價(jià)為5495美元。 雙通道2602型的報(bào)價(jià)為7995美元。
第二款產(chǎn)品引進(jìn)了用于半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中參數(shù)生產(chǎn)過(guò)程控制測(cè)試的第三代圓片晶圓射頻 (RF) 測(cè)量功能力。 吉時(shí)利公司第三代射頻 (RF) 參數(shù)測(cè)量系統(tǒng)RF選件解決方案(是一個(gè)選配件),能提供連續(xù)、自動(dòng)、實(shí)時(shí)的測(cè)試量質(zhì)量監(jiān)控,在在提供最高優(yōu)等超等質(zhì)量結(jié)果的同時(shí),也獲得了最高測(cè)量信息吞吐產(chǎn)能通過(guò)率量、最低運(yùn)行成本。此外,吉時(shí)利公司的射頻 (RF) 參數(shù)測(cè)量系統(tǒng)選項(xiàng)RF選件測(cè)量功能力(系統(tǒng))是目前唯一一個(gè)在全球范圍內(nèi)獲得驗(yàn)證的半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng),適合于世界范圍內(nèi)200mm和300mm晶圓的制造工廠的半導(dǎo)體參數(shù)射頻 (RF)測(cè)試系統(tǒng)生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行應(yīng)用參數(shù)工藝控制的測(cè)試系統(tǒng),這些應(yīng)適用于用包括高性能邏輯電路生產(chǎn)和高性能模擬集成電路生產(chǎn)。
自動(dòng)連續(xù)的測(cè)量完整性監(jiān)控原理是:測(cè)試機(jī)臺(tái)儀自動(dòng)檢測(cè)事件,判斷該事件是否會(huì)否使導(dǎo)致射頻 (RF) RF定標(biāo)校準(zhǔn)無(wú)效,并自動(dòng)觸發(fā)校正動(dòng)作作用,如無(wú)人值守的自動(dòng)再標(biāo)定校準(zhǔn)功能。一些 系統(tǒng)配置方面的改變,如改變探針卡板,都可被設(shè)置用來(lái)觸發(fā)一個(gè)無(wú)人值守的自動(dòng)再校準(zhǔn)功能標(biāo)定。 這些事件也還包括基于時(shí)間的觸發(fā)事件,如到期的射頻 (RF) RF定標(biāo)校準(zhǔn),。 最終的觸發(fā)事件類級(jí)別是可基于測(cè)量得出的基礎(chǔ)。 例如,當(dāng)探測(cè)器正在檢索至下一個(gè)現(xiàn)場(chǎng)時(shí),在后臺(tái),測(cè)試儀將自動(dòng)核實(shí)檢驗(yàn)探針觸頭的質(zhì)量,如需要,并還可觸發(fā)自動(dòng)探針清洗,如果需要的話。
較高的測(cè)量完整性使用戶無(wú)需請(qǐng)射頻 (RF) 的RF專家人工檢查原始數(shù)據(jù)曲線的異常情況的異常情況,這些,因?yàn)楫惓G闆r將將認(rèn)為該測(cè)量為不可靠會(huì)對(duì)可疑的的射頻 (RF) RF測(cè)量結(jié)果進(jìn)行提示。 較高的測(cè)量完整性也剔除避免了再探測(cè)和再加工的高成本,使得它在操作上與符合高效務(wù)實(shí)的300mm實(shí)驗(yàn)室的要求兼容。
吉時(shí)利公司的射頻 (RF) RF選件具有和S680型SimulTest選件、以及專門(mén)設(shè)計(jì)恰當(dāng)?shù)臏y(cè)試結(jié)構(gòu)和探針板卡,是市場(chǎng)上所銷售的唯一的一個(gè)射頻 (RF) RF測(cè)試系統(tǒng),可在同一次探針touchdown中并行進(jìn)行同步直流 (DC) 和射頻 (RF) 測(cè)量。可在相同的探針觸地范圍內(nèi)并行進(jìn)行同步直流 (DC) 和射頻 (RF) RF測(cè)量。 這實(shí)質(zhì)上獲得了比類似方法(執(zhí)行順序的直流 (DC) 測(cè)量,然后再進(jìn)行RF測(cè)量)更高得多的通過(guò)測(cè)試吞吐量,這些類似方法執(zhí)行順序的DC測(cè)量,然后再進(jìn)行RF測(cè)量。 此外,可以利用行業(yè)最大的射頻 (RF) RF參數(shù)提取程序庫(kù)從已測(cè)量的s-參數(shù)中,第一次實(shí)時(shí)提取和反嵌入射頻 (RF) RF參數(shù),并且現(xiàn)在首次實(shí)現(xiàn)了反嵌入,整個(gè)過(guò)程無(wú)需后處理,節(jié)省了時(shí)間,提高了信息通過(guò)量吞吐量。
此外,綜合結(jié)合S680型參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)來(lái)看之后,只有吉時(shí)利公司具備了40GHz頻率測(cè)量過(guò)程中的DC-RF 同駐功能直接駐泊(direct-dock)能力。 競(jìng)爭(zhēng)其它對(duì)手的產(chǎn)品往往要求射頻 (RF) RF專家采用扭矩扳手手動(dòng)改變更換探針板探針卡,然后再進(jìn)行是手動(dòng)再標(biāo)定再校準(zhǔn)。 而吉時(shí)利公司的射頻 (RF) RF選件解決方案將自動(dòng)改變更換射頻 (RF) RF探針板探針卡,所用時(shí)間僅為手動(dòng)調(diào)整時(shí)的很一小部分,提高了總信息通過(guò)量吞吐量。 在射頻 (RF) RF測(cè)量結(jié)果結(jié)果中,自動(dòng)化換卡功能同時(shí)也增加了測(cè)試的完整性,因?yàn)樗藢?dǎo)致系統(tǒng)-與-系統(tǒng)之間數(shù)據(jù)不匹配的最主要的因素,即人為因素自動(dòng)探針板的自動(dòng)改變更換也通過(guò)消除了在系統(tǒng)-至-系統(tǒng)的變化中由人為干預(yù)而導(dǎo)致的重大可變性,提供增加了測(cè)量完整性,。 同時(shí),因?yàn)椴辉傩枰漕l (RF) RF專家在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行維護(hù)和技術(shù)支持,所以降低了運(yùn)行成本。 自動(dòng)探針板探針卡改變更換功能力是吉時(shí)利公司射頻 (RF) RF選件解決方案的一大新的特性。
吉時(shí)利第三代射頻 (RF) 選件測(cè)量功能力可以直接用于工廠發(fā)貨的S680和S470兩種新型號(hào)的系統(tǒng)。也可以對(duì)過(guò)去15年內(nèi)已經(jīng)安裝的現(xiàn)有S600和S400系列型號(hào)進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)改造,將其作為吉時(shí)利承諾承諾不斷為客戶提供產(chǎn)業(yè)頂行業(yè)領(lǐng)先的重要資本設(shè)備的重新利用的的承諾的承諾的一部分,對(duì)過(guò)去15年內(nèi)已經(jīng)安裝的現(xiàn)有S600和S400系列型號(hào)進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)改造。