1 引言

實(shí)際測量時，噪聲和干擾無法回避，影響了測量的靈敏度和準(zhǔn)確性。以研究測量pA級電流為目的，開發(fā)設(shè)計(jì)出準(zhǔn)確度為0.5級的微電流測量儀，測量的最小范圍為10 pA。對于pA級電流測量，測量電路無法直接捕獲電流信號，需要進(jìn)行I/U轉(zhuǎn)換。對于轉(zhuǎn)換后的電壓信號需進(jìn)行進(jìn)一步的放大，否則會被運(yùn)算放大器的失調(diào)電壓、偏置電流這些直流信號干擾。問題在于，在放大捕獲待測信號的同時，工頻干擾、噪聲、電路失調(diào)等雜質(zhì)信號也同時被放大，所以需要設(shè)計(jì)出相關(guān)的后續(xù)電路加以過濾、去除。對于工頻干擾，通過采取屏蔽、濾波即可。而對于電路失調(diào)等這些直流雜質(zhì)信號的消除，是本文所要闡述的核心所在，即通過采用調(diào)制電路、差分電路過濾掉這些雜質(zhì)直流信號。

2 微電流測量方法概述

2.1 測量方法

微弱信號檢測就是要從信號源中過濾掉干擾信號，增強(qiáng)/最大限度地還原有用的待測信號，提高信噪比(SNR)，有效抑制噪聲是微電流測量的難點(diǎn)和重點(diǎn)。新的微電流檢測方法的提出及微電流測量儀的研制是目前該領(lǐng)域內(nèi)的一大熱點(diǎn)。就檢測方法而言，目前主要有：取樣積分法、相關(guān)檢測法、噪聲分析法、調(diào)制解調(diào)法、小波變換法、高阻抗輸入法、光電耦合法、集成運(yùn)放、計(jì)算機(jī)程序控制等，但取樣電阻法和運(yùn)放反饋電流法是微電流測量常用的方法。

噪聲干擾是一種有效的壓制性干擾信號，根據(jù)噪聲的種類和特點(diǎn)，主要有2大來源：1)來自電子系統(tǒng)內(nèi)部固有噪聲，包括運(yùn)放的偏置電流、失調(diào)電壓，電子元件發(fā)熱產(chǎn)生的熱噪聲，數(shù)字電路干擾產(chǎn)生的脈沖式噪聲，開關(guān)電路產(chǎn)生的尖峰噪聲等;2)來自電子系統(tǒng)外部，諸如工頻干擾、射頻噪聲、大氣噪聲、機(jī)械噪聲等。測量中，對噪聲的處理極其重要，該文提出，微電流測量的關(guān)鍵在于抑制電路雜質(zhì)直流信號和工頻干擾。

2.2 微電流測量技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀

美國吉時利公司利用在靈敏電流測量儀器上的技術(shù)優(yōu)勢，已經(jīng)開發(fā)出6482型雙通道皮安表/電壓源，測量分辨率高達(dá)1 fA，6位半，測量范圍2 nA～20 mA。

3 設(shè)計(jì)理論

3.1 微電流一電壓轉(zhuǎn)換原理

由戴維南定理可知，任何一個兩端網(wǎng)絡(luò)都可看成一個等效電壓源Us與等效電阻Rs串聯(lián)，即Rs=Us/Is。運(yùn)放反饋電流法測量原理如圖1所示。

圖1運(yùn)放反饋電流測量法原理

圖中：Rf為反饋電阻;R'為平衡電阻;UI0為運(yùn)放失調(diào)電壓;Ib-、Ib+為運(yùn)放偏置電流;Is為待測微電流;Uo為輸出電壓。

理想電路輸出為Uo= - IsRf。由于運(yùn)放存在失調(diào)電壓、偏置電流，所以，實(shí)際電路輸出為：

U'o= - IsRf+UI0+Ib+R'+Ib-Rf (1)

電壓輸出誤差為：

△Uo=UI0+Ib+R'+Ib-Rf (2)

3.2 差分、調(diào)制電路原理

提出運(yùn)用差分、調(diào)制電路過濾掉電路中直流雜質(zhì)信號的測量方法，徹底消除微電流測量過程中測量儀器本身電路產(chǎn)生的干擾。差分、調(diào)制是指調(diào)制開關(guān)由中央處理器控制，對微電流進(jìn)行調(diào)制，通過采用調(diào)制電路、差分電路過濾掉這些雜質(zhì)直流信號，得到與待測信號成比例關(guān)系的微壓信號。差分、調(diào)制電路原理如圖2所示。

圖2 微弱電流差分、調(diào)制前置放大器模型

當(dāng)K1斷開，K2閉合，即輸出：

U01= IsRf+UI0+Ib+R'+Ib-Rf (3)

當(dāng)K1閉合，K2斷開，即輸出：

U02= UI0+Ib+R'+Ib-Rf (4)

式(3)減式(4)，即可消除系統(tǒng)誤差，即：

Uo=U01- U02= IsRf(5)

通過式(5)得知，直流雜質(zhì)信號被消除，可見，Uo與Is成正比。但Uo信號極其弱，Uo需要經(jīng)過層層放大，再進(jìn)行差分。設(shè)總的放大倍數(shù)為K，則輸出為：Uo=KIsRf;被測微電流為：

Is=Uo/(KRf) (6)

測量結(jié)果送往儀器的中央處理器，最后通過顯示電路顯示出來。

4 系統(tǒng)設(shè)計(jì)

4.1測量電路構(gòu)成

本測量電路由3部分組成。

1)前置放大階段，對信號進(jìn)行調(diào)制放大，同時將微電流信號轉(zhuǎn)化成微壓信號;

2)信號放大階段，分別由低通濾波電路、調(diào)零電路、開關(guān)選擇電路、狀態(tài)判別電路構(gòu)成;

3)微電流輸出，由采樣保持、差分電路等構(gòu)成，由調(diào)制開關(guān)對放大后的電壓信號分別進(jìn)行采樣保持，通過差分電路去除系統(tǒng)誤差，最后輸出與被測微電流成正比的電壓信號。測量電路構(gòu)成如圖3所示。

圖3測量電路系統(tǒng)構(gòu)成

4.2 第1級放大電路原理

放大過程分為8小級(V1～V8)完成，框圖由上至下，逐漸放大如圖4所示。前置放大電路輸出的微壓信號在第l級進(jìn)行放大時，由中央處理器控制放大級數(shù)。級數(shù)的確定先由多路開關(guān)依次閉合，由狀態(tài)判別電路做出判斷，當(dāng)輸出信號首次超過運(yùn)放工作的線性范圍時，級數(shù)倒退1級，并送往中央處理器。為避免工頻干擾信號數(shù)次被放大，每級放大電路都設(shè)置低通濾波器。調(diào)零電路設(shè)置在放大電路的末級，以避免測量電路本身失調(diào)信號被數(shù)次放大后，可能超出其工作的線性范圍。

圖4第1級放大電路原理

4.3 第2級放大電路原理

共分4級放大，每級放大倍數(shù)不宜過大，以不超過運(yùn)放的飽和電壓且輸出信號最大為準(zhǔn)，如圖5所示。[!--empirenews.page--]

圖5 第2級放大電路原理

依據(jù)調(diào)制開關(guān)的不同時態(tài)，將信號放大階段輸出的結(jié)果存儲在2個寄存器中，利用差分電路，使得前置放大電路，主放大電路中伴隨著的雜質(zhì)直流信號得以消除。

4.4 狀態(tài)判別電路原理

采用供電電源為3 V的前置放大電路，J/U轉(zhuǎn)換后的信號輸出給1號狀態(tài)判別電路，由判別電路做出判斷將結(jié)果送至中央處理器;中問主放大電路均采用電源為15 V的運(yùn)算放大器，電路輸出給2號狀態(tài)判別電路，將結(jié)果送至中央處理器如圖6所示。

圖6狀態(tài)判別電路原理

5 安裝注意事項(xiàng)

除電路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)外，在元器件選擇、電路安裝及工藝上也要采取一定的措施。為達(dá)到pA級微電流測量，必須注意以下幾點(diǎn)：

1)為了盡量避免干擾，應(yīng)將輸入接線端用屏蔽環(huán)完全環(huán)繞，并將屏蔽層與外殼、襯底及信號地連接口]，將保護(hù)環(huán)設(shè)置在印刷板的正反兩面。

2)電路的各條回路都應(yīng)以地作為電流返回的通道，鑒于地線上的阻抗不是零而形成電位差，地線與信號線間的電容耦合會進(jìn)一步增加噪聲干擾，因此，要盡量設(shè)置少的接地點(diǎn)或減小接地點(diǎn)間的距離。

3)PCB布線時，要注意各種器件的擺放，每個芯片必須配置去耦電容，功率大的元器件要求靠近電源位置，盡量減小電線長度，在電源和放大器的輸出部分大面積敷銅。在進(jìn)行線路板的走線時，先走地線及電源線。

6 試驗(yàn)仿真

6.1 工頻干擾試驗(yàn)

工頻噪聲可以通過空間輻射、傳導(dǎo)進(jìn)入，通過對測量儀器加裝金屬屏蔽層，測試者手接觸儀器外殼時，測試電路輸出波形如圖7所示;撤掉金屬屏蔽層，測試者手接近儀器外殼時，測試電路輸出波形如圖8所示，從兩圖對比中可以看出50 Hz噪聲得到有效抑制。

圖7屏蔽時電路輸出波形

圖8無屏蔽時電路輸出波形

6.2 驗(yàn)證調(diào)制采樣電路、差分電路的有效性

為過濾掉電路失調(diào)等直流雜質(zhì)信號，采用調(diào)制電路、差分電路。為驗(yàn)證電路的有效性，用示波器分別測量采樣保持輸入端波形和差分電路輸出端波形，如圖9所示。很明顯，直流雜質(zhì)被有效過濾。

圖9差分電路后輸出波形

6.3 測試數(shù)據(jù)

測試數(shù)據(jù)，如表1所示不同值的5次測量結(jié)果。

對于100 pA，測量平均值：=100.156 pA，測量誤差為0.16%，測量重復(fù)性s=0.24 pA;

對于10 pA，測量平均值：=9.993 pA，測量誤差為- 0.07%，測量重復(fù)性s=0.04 pA。

測量準(zhǔn)確度、重復(fù)性達(dá)到預(yù)期目的，符合0.5級要求。

7 結(jié)論

隨著電子測量技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，pA級別的電流測量在眾多領(lǐng)域具有極其重要的地位，微電流測量極易受到環(huán)境條件和測量儀器自身噪聲的影響。依據(jù)提出的測量方法設(shè)計(jì)的測量儀器經(jīng)高、低溫、電磁干擾等試驗(yàn)，對于10 pA電流，儀器準(zhǔn)確度可達(dá)0.5級，具有較高的準(zhǔn)確度和較好的測量重復(fù)性、穩(wěn)定性。試驗(yàn)數(shù)據(jù)表明，去除工頻干擾和直流誤差的影響是減小微電流測量誤差的主要因素。