我國研制超精拋光裝備,突破高精度光學(xué)零件制造加工技術(shù)
制造加工業(yè)的發(fā)展,已經(jīng)朝著超精密方面邁進(jìn),但是我國在該領(lǐng)域還顯得有些薄弱。尤其是在光學(xué)儀器零件加工領(lǐng)域,我國與國外差距較大,限制了我國先進(jìn)制造技術(shù)的發(fā)展。近日,國防科大自主研制的磁流變、離子束兩種超精拋光裝備通過了國家重大科技專項(xiàng)驗(yàn)收,并將為其他國家重大科技專項(xiàng)創(chuàng)新提供支撐。
該設(shè)備將光學(xué)零件加工的“中國精度”提升到了新的高度,實(shí)現(xiàn)了小于1納米的誤差,也就是亞納米精度加工技術(shù)?;诳煽厝狍w制造的第三代光學(xué)加工方法,對磁流變和離子束拋光機(jī)床進(jìn)行自主研制,并實(shí)現(xiàn)亞納米精度,是我國光學(xué)自動(dòng)化加工技術(shù)的一大飛躍與突破,突破了國外在該技術(shù)領(lǐng)域?qū)χ袊姆怄i,使我國成為第三個(gè)掌握高精度光學(xué)零件制造加工技術(shù)的國家。
該設(shè)備的研制成功,還將為“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”“高分辨率對地觀測系統(tǒng)”等3個(gè)國家重大科技專項(xiàng),提供技術(shù)支撐,推動(dòng)這些重大科技專項(xiàng)的研發(fā)進(jìn)程與技術(shù)突破進(jìn)程。