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[導(dǎo)讀]在上海慕尼黑電子展上,全球光掩膜檢測(cè)技術(shù)的領(lǐng)軍者KLA-Tencor推出了新一代45納米生產(chǎn)級(jí)光掩膜檢測(cè)TeraScanHR系統(tǒng),TeraScanHR滿足了45nm及其以下節(jié)點(diǎn)的掩膜微小缺陷和極復(fù)雜OPC(光學(xué)臨近校正)的要求,并且大大改進(jìn)

在上海慕尼黑電子展上,全球光掩膜檢測(cè)技術(shù)的領(lǐng)軍者KLA-Tencor推出了新一代45納米生產(chǎn)級(jí)光掩膜檢測(cè)TeraScanHR系統(tǒng),TeraScanHR滿足了45nm及其以下節(jié)點(diǎn)的掩膜微小缺陷和極復(fù)雜OPC光學(xué)臨近校正)的要求,并且大大改進(jìn)了生產(chǎn)效率,客戶不僅可 獲得45nm關(guān)鍵層生產(chǎn)提供最高的靈敏度,并有助于降低單次檢測(cè)成本。KLA-Tencor掩膜檢測(cè)部門(mén)副總裁兼總經(jīng)理Harold Lehon表示,“這種系統(tǒng)所具有的超分辨率使得OPC設(shè)計(jì)師更全面地利用高度復(fù)雜的OPC形狀與超小的尺寸和間隙,用以改善制造工藝窗口,并提高當(dāng)前和未來(lái)設(shè)計(jì)的器件密度?!痹撓到y(tǒng)可以檢測(cè)所有最新光掩膜類型和新一代45納米光掩膜的復(fù)雜OPC形狀特性,并且在芯片對(duì)芯片和芯片對(duì)數(shù)據(jù)庫(kù)模式下都能提供高缺陷檢測(cè)靈敏度和低誤檢率,該系統(tǒng)的圖像處理速度更快,在使用集成照明模式(例如透射加上反射)時(shí)可以提高生產(chǎn)效率,這種模式是獲取最高質(zhì)量的 45 納米光掩膜以及部分 65 納米層和設(shè)計(jì)所必需的。新開(kāi)發(fā)的系統(tǒng)可配置的像素大小范圍廣泛;客戶在其日常的多代芯片生產(chǎn)中,可以利用這種靈活性獲得最佳的生產(chǎn)效率和成本效益。除此之外,TeraScanHR配備了具有高NA、超低像差的光學(xué)器件的新型圖像采集系統(tǒng),具有新的高精確度自動(dòng)聚集功能以及振動(dòng)更小的改良臺(tái)面;這些功能一起造就了業(yè)內(nèi)中無(wú)與倫比的成像性能。該系統(tǒng)集成了最新一代的超級(jí)計(jì)算機(jī)技術(shù),在使用最高質(zhì)量的檢測(cè)模式時(shí)可以實(shí)現(xiàn)更市制產(chǎn)量,從而加快掩膜片生產(chǎn)和新芯片設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)。
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