KLA-Tencor推出掩膜檢測(cè)系統(tǒng)
[導(dǎo)讀]在上海慕尼黑電子展上，全球光掩膜檢測(cè)技術(shù)的領(lǐng)軍者KLA-Tencor推出了新一代45納米生產(chǎn)級(jí)光掩膜檢測(cè)TeraScanHR系統(tǒng)，TeraScanHR滿足了45nm及其以下節(jié)點(diǎn)的掩膜微小缺陷和極復(fù)雜OPC（光學(xué)臨近校正）的要求，并且大大改進(jìn)
在上海慕尼黑電子展上，全球光掩膜檢測(cè)技術(shù)的領(lǐng)軍者KLA-Tencor推出了新一代45納米生產(chǎn)級(jí)光掩膜檢測(cè)TeraScanHR系統(tǒng)，TeraScanHR滿足了45nm及其以下節(jié)點(diǎn)的掩膜微小缺陷和極復(fù)雜OPC（光學(xué)臨近校正）的要求，并且大大改進(jìn)了生產(chǎn)效率，客戶不僅可 獲得45nm關(guān)鍵層生產(chǎn)提供最高的靈敏度，并有助于降低單次檢測(cè)成本。KLA-Tencor掩膜檢測(cè)部門(mén)副總裁兼總經(jīng)理Harold Lehon表示，“這種系統(tǒng)所具有的超分辨率使得OPC設(shè)計(jì)師更全面地利用高度復(fù)雜的OPC形狀與超小的尺寸和間隙，用以改善制造工藝窗口，并提高當(dāng)前和未來(lái)設(shè)計(jì)的器件密度?！痹撓到y(tǒng)可以檢測(cè)所有最新光掩膜類型和新一代45納米光掩膜的復(fù)雜OPC形狀特性，并且在芯片對(duì)芯片和芯片對(duì)數(shù)據(jù)庫(kù)模式下都能提供高缺陷檢測(cè)靈敏度和低誤檢率，該系統(tǒng)的圖像處理速度更快，在使用集成照明模式（例如透射加上反射）時(shí)可以提高生產(chǎn)效率，這種模式是獲取最高質(zhì)量的 45 納米光掩膜以及部分 65 納米層和設(shè)計(jì)所必需的。新開(kāi)發(fā)的系統(tǒng)可配置的像素大小范圍廣泛；客戶在其日常的多代芯片生產(chǎn)中，可以利用這種靈活性獲得最佳的生產(chǎn)效率和成本效益。除此之外，TeraScanHR配備了具有高NA、超低像差的光學(xué)器件的新型圖像采集系統(tǒng)，具有新的高精確度自動(dòng)聚集功能以及振動(dòng)更小的改良臺(tái)面；這些功能一起造就了業(yè)內(nèi)中無(wú)與倫比的成像性能。該系統(tǒng)集成了最新一代的超級(jí)計(jì)算機(jī)技術(shù)，在使用最高質(zhì)量的檢測(cè)模式時(shí)可以實(shí)現(xiàn)更市制產(chǎn)量，從而加快掩膜片生產(chǎn)和新芯片設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)。
下載文檔本站聲明： 本文章由作者或相關(guān)機(jī)構(gòu)授權(quán)發(fā)布，目的在于傳遞更多信息，并不代表本站贊同其觀點(diǎn)，本站亦不保證或承諾內(nèi)容真實(shí)性等。需要轉(zhuǎn)載請(qǐng)聯(lián)系該專欄作者，如若文章內(nèi)容侵犯您的權(quán)益，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系本站刪除。
換一批
延伸閱讀
根據(jù)最新預(yù)測(cè)，由于明年新冠疫苗的交付量幾乎減半，有史以來(lái)最賺錢的一些醫(yī)藥產(chǎn)品制造商將面臨收入下滑的局面。健康數(shù)據(jù)分析集團(tuán)Airfinity表示，輝瑞(Pfizer)、BioNTech和莫德納(Moderna)已開(kāi)始提高疫...
關(guān)鍵字： 數(shù)據(jù)分析 TE RF NI上海2022年10月13日 /美通社/ -- 當(dāng)下，Matter已成為全球物聯(lián)網(wǎng)行業(yè)最熱門(mén)的話題之一。經(jīng)過(guò)兩輪全球性測(cè)試活動(dòng)SVE1及SVE2后，DEKRA德凱西班牙馬拉加和中國(guó)廣州實(shí)驗(yàn)室率先成為CSA聯(lián)盟（Connec...
關(guān)鍵字： TE CE STANDARDS CONNECTIVITY（全球TMT2022年10月12日訊）Exyte已完成對(duì)美國(guó)廢氣凈化技術(shù)專家Airgard Inc.的收購(gòu)。Airgard成立于1988年，總部位于加利福尼亞州的Milpitas，是 "濕式" 洗滌器開(kāi)發(fā)和制造領(lǐng)域的領(lǐng)...
關(guān)鍵字： TE AIR 進(jìn)程 半導(dǎo)體行業(yè)
廠商專欄
熱門(mén)文章
- AMD與CUDA競(jìng)爭(zhēng)重要一步！ROCm 6.4.4發(fā)布
- “火腿第一股”砸3億跨界造芯片，市值一日飆升10億元！
- 王騰被小米突然辭退 網(wǎng)友擠爆雷軍評(píng)論區(qū)：后者淡定健身
- 曝5家中國(guó)車企在澳或面臨4700萬(wàn)重罰！
- 美國(guó)給芯片裝后門(mén)方法揭秘后！NVIDIA緊急暫停生產(chǎn)H20芯片
- 超詳細(xì)解析！什么是PLC?
- 我國(guó)鋰電池大突破：能量密度和續(xù)航能力提高2-3倍 可量產(chǎn)
- 英偉達(dá)同意H20芯片在中國(guó)銷售額15%上交美國(guó)：我國(guó)回應(yīng)
- OpenAI王炸來(lái)了！GPT-5有望明天發(fā)布 免費(fèi)無(wú)限使用
- 周鴻祎談?dòng)ミ_(dá)芯片是否“留后門(mén)”：技術(shù)上很難判斷
編輯精選
更多
論壇活動(dòng)
更多
論壇熱帖
- 新唐M467下載程序遇到圖片下面的，問(wèn)題怎么解決呀各位大佬
- CH592做藍(lán)牙遙控器，如何控制低功耗
- 詢問(wèn)電源芯片型號(hào)
- STM32WB55連不上programer
- 這兩個(gè)小鐵片是焊接加固用的嗎？
- IN Multisim中找不到ADA4940-1的仿真模型解決方案
- SMT與DIP在PCBA加工中的關(guān)鍵差異解析
- 請(qǐng)問(wèn)雅特力有沒(méi)有替代 STM32F405RG的MCU，具體型號(hào)和價(jià)格是？
- 國(guó)民技術(shù)N32G430,STLINK讀不到設(shè)備，求解答！
- 傾佳電子代理的BASiC基本半導(dǎo)體SiC功率器件產(chǎn)品線選型指南
技術(shù)子站
更多
資料下載
- 基于 PWM 逆變器的 LC濾波器
- 32位單片機(jī)編程開(kāi)發(fā)模板（基于事件驅(qū)動(dòng)）
- 國(guó)電聊城電廠 3鍋爐壁溫采集系統(tǒng)設(shè)計(jì)介紹
- 電源設(shè)計(jì)高精度數(shù)控電源
- 目前國(guó)內(nèi)較先進(jìn)的水廠控制PLC程序
- SH36735規(guī)格書(shū)
- 高速PCB設(shè)計(jì)仿真與分析（信號(hào)完整性）
- EMO+DOT小豆表情機(jī)器人項(xiàng)目資料包
- CH32X033F8P6標(biāo)準(zhǔn)例程水
- DIY-無(wú)極遙控3D打印小鏟車全套資料包
更多
技術(shù)學(xué)院
- TrendForce集邦咨詢: 供應(yīng)鏈與應(yīng)用端雙重突破，預(yù)估2030年OLEDoS于VR/MR滲透率將快速成長(zhǎng)至58%
- TrendForce集邦咨詢: 2025年下半年晶圓代工產(chǎn)能利用率優(yōu)于預(yù)期，零星業(yè)者醞釀漲價(jià)
- TrendForce集邦咨詢: AI存儲(chǔ)需求激發(fā)HDD替代效應(yīng)，NAND Flash供應(yīng)商加速轉(zhuǎn)進(jìn)大容量Nearline SSD
- TrendForce集邦咨詢: 2026年CSP資本支出預(yù)計(jì)將高達(dá)5,200億美元，GPU采購(gòu)與ASIC研發(fā)成創(chuàng)新高核心驅(qū)動(dòng)力
- TrendForce集邦咨詢：受QLC產(chǎn)品熱度的外溢效應(yīng)驅(qū)動(dòng)，預(yù)計(jì)NAND Flash 4Q25價(jià)格將上漲5-10%
- TrendForce集邦咨詢: 十一長(zhǎng)假將至，LCD電視面板大廠計(jì)劃調(diào)降稼動(dòng)率穩(wěn)運(yùn)維
- TrendForce集邦咨詢：4Q25 DRAM價(jià)格延續(xù)漲勢(shì)，服務(wù)器需求提前發(fā)酵、舊制程產(chǎn)品漲幅仍較大
- 一文搞懂如何最大限度降低?uk穩(wěn)壓器的輻射
