陶氏化學(xué)公司旗下的陶氏電子材料事業(yè)群日前推出了IKONIC 4000系列的化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)研磨墊產(chǎn)品。該系列研磨墊初期將主要面向鈰基應(yīng)用。

“業(yè)界對(duì)于IKONIC技術(shù)的總體反映可謂出奇的好，”陶氏電子材料事業(yè)群的CMPT市場(chǎng)營(yíng)銷總監(jiān)Colin Cameron介紹說(shuō)。“IKONIC 4000系列為我們提供了最尖端的產(chǎn)品設(shè)計(jì)所普遍需要的很多至關(guān)重要的屬性。這些研磨墊具備高度的可調(diào)性，能夠進(jìn)行定制以應(yīng)對(duì)特定的要求。陶氏的大批量制造方法以及對(duì)于工藝控制的專注確保了我們客戶的工藝過(guò)程中的一致性和可靠性，進(jìn)一步地提高了產(chǎn)品效能。”

新的IKONIC 4000系列產(chǎn)品解決了以往在尖端研磨要求和低缺陷率之間的取舍難題。其全新的化學(xué)原理在整個(gè)研磨墊使用壽命內(nèi)均可提供穩(wěn)定的去除速率，使其特別適合用于與鈰基研磨相關(guān)的高難度領(lǐng)域。與業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)IC1000研磨墊相比，IKONIC 4000系列產(chǎn)品在成品缺陷率方面改進(jìn)了70%。

IKONIC 4000系列產(chǎn)品是陶氏與客戶協(xié)作開(kāi)發(fā)的成果，目前可提供多種型號(hào)，涵蓋范圍很廣的硬度和孔洞率。籍此可以實(shí)現(xiàn)定制以便應(yīng)對(duì)具體的客戶要求。這些研磨墊還進(jìn)行了優(yōu)化，以便使研磨墊的修整更為簡(jiǎn)便，并使研磨墊在整個(gè)使用壽命里均保持穩(wěn)定的紋理。

IKONIC 4000系列產(chǎn)品已經(jīng)成功通過(guò)驗(yàn)證，現(xiàn)在已可提供樣品。

關(guān)于IKONIC CMP研磨墊

IKONIC平臺(tái)將一整套獨(dú)特的化學(xué)特性與靈活的設(shè)計(jì)密度結(jié)合在一起，為客戶提供了范圍很廣的定制解決方案。這些研磨墊旨在改進(jìn)缺陷率表現(xiàn)，從而提高晶圓良率，并使研磨墊使用壽命更長(zhǎng)，從而實(shí)現(xiàn)更高的設(shè)備使用效率。針對(duì)產(chǎn)出量和選擇性方面的要求，IKONIC CMP研磨墊可以實(shí)現(xiàn)廣泛的去除率目標(biāo)要求，從而滿足工藝方面的需要。選擇IKONIC系列的產(chǎn)品亦有助于提高研磨效率和晶圓形貌。這些優(yōu)點(diǎn)使得IKONIC研磨墊平臺(tái)成為各種高級(jí)研磨應(yīng)用的完美選擇。