英特爾核心生產(chǎn)設(shè)備光刻機(jī)通關(guān)入?yún)^(qū)
日前,英特爾大連芯片廠核心生產(chǎn)設(shè)備順利通關(guān)入?yún)^(qū)。這批重要生產(chǎn)設(shè)備的運抵標(biāo)志著英特爾大連芯片廠的安裝調(diào)試進(jìn)入了新的關(guān)鍵階段。
此次入?yún)^(qū)的設(shè)備是應(yīng)用于晶圓制造關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)的光刻設(shè)備。為確保設(shè)備及時安全入庫,大連開發(fā)區(qū)管委會高度重視,與海關(guān)、商檢、公安等部門密切合作進(jìn)行了周密的部署和安排。在警車護(hù)送下,用專用避震溫控車輛運輸此批設(shè)備,最大限度保證了設(shè)備在運輸過程中不受損害。
據(jù)悉,大連芯片廠建設(shè)進(jìn)展順利,今年夏末廠區(qū)土建工程完工后,工廠全面進(jìn)入晶圓生產(chǎn)設(shè)備的安裝和調(diào)試階段;目前,英特爾員工規(guī)模已達(dá)750人,年底預(yù)計達(dá)到1000人。今年大連芯片廠的建設(shè)取得多個階段性成果:3月,首批生產(chǎn)設(shè)備運抵大連;4月,數(shù)據(jù)中心IT機(jī)房和綜合辦公大樓相繼啟用;6月,英特爾正式宣布將大連芯片廠制程工藝從90納米升級至65納米;10月,生產(chǎn)線上最核心的設(shè)備開始安裝調(diào)試。