美國吉時利（Keithley）儀器公司日前宣布授權(quán)FormFactor公司為吉時利半導(dǎo)體參數(shù)測試儀制造高性能參數(shù)測試探針卡。FormFactor公司所提供的探針卡將應(yīng)用于吉時利S600系列參數(shù)測試儀，進行測量超低直流電流，以及對接觸半導(dǎo)體晶圓的PIN腳進行標準直流參數(shù)測試。晶圓制造商和代工廠可以采用S600系列測試儀對用于組裝和封裝的晶圓進行合格性檢測或工藝監(jiān)測。

FormFactor公司Takumi探針卡非常適合于吉時利最先進的參數(shù)測試儀——S680型直流/射頻參數(shù)測試系統(tǒng)的相關(guān)應(yīng)用。S680是專門針對高級邏輯、存儲器、模擬IC電路的晶圓級參數(shù)測試而設(shè)計，它在一套測試系統(tǒng)內(nèi)實現(xiàn)并行測試功能、高靈敏度直流測量、飛安級分辨率測量和高達40GHz的射頻s參數(shù)測量。該系統(tǒng)為65nm以上工藝節(jié)點的參數(shù)測量提供當前業(yè)界最高的測試產(chǎn)能和最低成本。

S680是高靈敏度、高速信號測試的理想選擇。其設(shè)置信號前置放大器在測試頭上，能放大僅幾厘米長的探針內(nèi)低電平信號，將放大后信號通過電纜傳輸?shù)较到y(tǒng)機柜內(nèi)的測試儀中進行分析。本方法消除了一般情況下電纜和開關(guān)矩陣導(dǎo)致的速度與靈敏度損耗。利用8個通用通道將外部儀器直接與探針連接在一起。

吉時利認為FormFactor公司在苛刻工藝、微小尺寸PAD和微細間距應(yīng)用方面具備世界頂尖設(shè)計水平，在測試結(jié)構(gòu)和劃片線的特征尺寸日益縮小的情況下，以上應(yīng)用必須支持高性能的測量需求。

吉時利副總裁、商務(wù)經(jīng)理Mark Hoersten表示，“對FormFactor公司的授權(quán)表明吉時利決心繼續(xù)提供最新的探針卡與參數(shù)測試測量技術(shù)，并為客戶擴大探針卡的可選數(shù)量。 FormFactor的探針卡體現(xiàn)了極高性能工藝，充分滿足當前電子設(shè)備采用尺寸日益縮小的元件所帶來的精密測量挑戰(zhàn)。”

FormFactor高級副總裁、研發(fā)與首席技術(shù)官Benjamin N. Eldridge表示，“將我們的Takumi參數(shù)測試平臺擴展至吉時利的測試儀上，對于我們雙方客戶皆極具戰(zhàn)略意義，半導(dǎo)體廠商在將工藝移植到65nm以下節(jié)點的過程中，必須依靠測試公司提供最新測量技術(shù)。吉時利長期以來在低電平直流半導(dǎo)體測試領(lǐng)域一直居創(chuàng)新技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者地位，與吉時利的緊密合作將推動我們共同提高技術(shù)融合水平?！?