近年來，我國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)不斷開拓創(chuàng)新，為國內(nèi)IC產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展添磚加瓦，尤其是北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司和北京中科信電子裝備有限公司成功研制出100納米半導(dǎo)體設(shè)備，并順利進(jìn)入中芯國際生產(chǎn)線，再次印證了唯有創(chuàng)新才是半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)發(fā)展的根本。

　　半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)需要?jiǎng)?chuàng)新

　　半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展遵循“摩爾定律”，其顯著的特點(diǎn)就是更新?lián)Q代快，因此對其進(jìn)行支撐的設(shè)備制造業(yè)更需要加快研究進(jìn)程來滿足它。

　　北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設(shè)備分公司總經(jīng)理盛金龍?jiān)诮邮堋?strong>中國電子報(bào)》記者采訪時(shí)表示，半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展本身就是技術(shù)創(chuàng)新的過程，IC以“摩爾定律”高速發(fā)展，其實(shí)其背后是以設(shè)備的創(chuàng)新和發(fā)展做支撐的，新的工藝技術(shù)總是用新一代設(shè)備實(shí)現(xiàn)的。

　　中電科技集團(tuán)公司第45研究所副所長王志越表示，創(chuàng)新對于半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)非常重要。當(dāng)前半導(dǎo)體設(shè)備的最大特點(diǎn)是不僅僅提供硬件設(shè)備本身，而是承擔(dān)了包括工藝菜單、工藝控制及工藝集成的總體解決方案。也就是說設(shè)備是來自于工藝，通過創(chuàng)新和工藝物化，又回歸于工藝。所以對于半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)來說，“創(chuàng)新是賴以生存的基礎(chǔ)，是企業(yè)不斷發(fā)展的保障”，沒有創(chuàng)新的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)不可能生存。

　　北京京聯(lián)發(fā)數(shù)控科技有限公司董事長秦建國告訴記者，創(chuàng)新給半導(dǎo)體企業(yè)帶來更好的活力、更高的效益，企業(yè)有了創(chuàng)新的產(chǎn)品及創(chuàng)新的技術(shù)就會(huì)在激烈的市場競爭中得到更快更好的發(fā)展，現(xiàn)在中國電子行業(yè)與國外電子同行相比，主要是技術(shù)、設(shè)備的落后，引進(jìn)新的技術(shù)、設(shè)備是國內(nèi)電子行業(yè)發(fā)展的一個(gè)重要辦法，而更重要的是要中國電子專用設(shè)備的生產(chǎn)制造商能自主研發(fā)、生產(chǎn)出更好的新產(chǎn)品，為中國電子行業(yè)的發(fā)展提供一個(gè)良好的平臺(tái)。

　　保持源源不斷創(chuàng)新能力

　　創(chuàng)新是一項(xiàng)系統(tǒng)工程，企業(yè)要想在市場上擁有一席之地，必須具有源源不斷的創(chuàng)新能力，并不斷將其創(chuàng)新產(chǎn)品推向市場。國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)要想在被國外企業(yè)一統(tǒng)天下的設(shè)備領(lǐng)域有所作為，不斷創(chuàng)新是明智之舉。

　　王志越表示，首先，要建立起以分配機(jī)制為主的有效激勵(lì)的創(chuàng)新機(jī)制，貫徹落實(shí)國家有關(guān)科研成果、知識(shí)產(chǎn)權(quán)等要素全面參與分配精神。其次，要積極培育企業(yè)的創(chuàng)新能力，要著重從企業(yè)決策機(jī)制、資源有效整合、科學(xué)管理、研發(fā)經(jīng)費(fèi)投入等等方面不斷完善和提高，逐步使企業(yè)在基礎(chǔ)環(huán)節(jié)上具備創(chuàng)新與騰飛的本領(lǐng)。第三，“不拘一格降人才”，建立一支強(qiáng)大的創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)。第四，不能把自主創(chuàng)新同引進(jìn)技術(shù)對立起來。自主開發(fā)并不意味故步自封。沒有一個(gè)國家能包攬所有源技術(shù)的開發(fā)，必須互相借鑒。現(xiàn)在，我們國家大部分行業(yè)在自我測評時(shí)都認(rèn)為同發(fā)達(dá)國家的差距在10年-20年左右。不引進(jìn)技術(shù)，靠自己關(guān)起門來埋頭苦干是不行的。在大多數(shù)產(chǎn)業(yè)中，我們還必須站在別人的肩膀上前進(jìn)。此外國產(chǎn)化并不意味著所有的零部件都必須要國內(nèi)制造。在當(dāng)今經(jīng)濟(jì)全球化的環(huán)境下，關(guān)鍵是擁有核心技術(shù)的知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

　　秦建國告訴記者，企業(yè)要保持不斷的創(chuàng)新，首先應(yīng)認(rèn)識(shí)到創(chuàng)新給企業(yè)帶來的發(fā)展后勁，發(fā)展要依靠開拓創(chuàng)新，創(chuàng)新產(chǎn)品要有三個(gè)方面支持：第一要有研發(fā)人員；第二要有資金支持；第三要有市場的需求。沒有人才就無法創(chuàng)新，沒有資金的支持也就談不上創(chuàng)新，市場是創(chuàng)新產(chǎn)品的目的。要使企業(yè)不斷地推出創(chuàng)新產(chǎn)品，就要結(jié)合人才、資金、市場三方面，這樣才能使企業(yè)不斷地發(fā)展壯大，一個(gè)好的創(chuàng)新方式會(huì)使企業(yè)得到很好的回報(bào)。

　　北京中科信電子裝備有限公司副總經(jīng)理孫勇表示，企業(yè)是創(chuàng)新的主體，企業(yè)只有在不斷的創(chuàng)新中才不會(huì)步入衰退期。這就要求具有適應(yīng)社會(huì)各種變化能力的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，營造創(chuàng)新的組織與文化精神。在創(chuàng)新的氛圍下，創(chuàng)新才有動(dòng)力，企業(yè)才有核心競爭力，才能立于不敗之地。此外，企業(yè)應(yīng)整合各種社會(huì)資源，不關(guān)起門來搞創(chuàng)新，必須建立開放式的創(chuàng)新平臺(tái)，吸納和整合各種資源，形成一個(gè)創(chuàng)新集群，一切為我所用，提高創(chuàng)新質(zhì)量。

　　初嘗創(chuàng)新甜果

　　在不斷創(chuàng)新動(dòng)力的推動(dòng)下，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)取得一個(gè)又一個(gè)成果，他們或是從現(xiàn)有設(shè)備出發(fā)，努力開拓新應(yīng)用領(lǐng)域；或是面對全新的技術(shù)及工藝，讓國產(chǎn)設(shè)備用在國內(nèi)IC大生產(chǎn)線；或是不斷改進(jìn)產(chǎn)品性能，最終替代進(jìn)口產(chǎn)品。

　　盛金龍告訴記者，他們在研制新設(shè)備的同時(shí)，不斷使用新的技術(shù)，運(yùn)用新的知識(shí)，通過不斷創(chuàng)新，使設(shè)備達(dá)到新的水平。設(shè)備制造的創(chuàng)新，還需要體制創(chuàng)新、意識(shí)創(chuàng)新，設(shè)備制造的體制創(chuàng)新還在于引進(jìn)人才，通過智力的引入使國產(chǎn)設(shè)備與國際設(shè)備行業(yè)融合，通過這些融合，把國產(chǎn)設(shè)備提升到新的層次。正是在這種理念的引導(dǎo)下，他們研制成功了PECVD設(shè)備。事實(shí)上，他們研究薄膜淀積技術(shù)和相關(guān)設(shè)備已多年，以前的PECVD設(shè)備主要應(yīng)用于IC行業(yè)。他們是在以前的研究基礎(chǔ)上對設(shè)備進(jìn)行較大的改進(jìn)以適應(yīng)于太陽能行業(yè)。應(yīng)用于IC行業(yè)的PECVD裝片舟均采用鋁材料制作，其耐溫低、易變形的缺點(diǎn)使其不適用太陽能行業(yè)。我們在做了大量試驗(yàn)并參考了國外設(shè)備之后，最終采用了新裝片舟用來承載硅片。并根據(jù)實(shí)際使用情況不斷改進(jìn)其結(jié)構(gòu)，逐步完善舟的設(shè)計(jì)，使其更加適用于大規(guī)模太陽能電池生產(chǎn)線，并不斷提升我國太陽能產(chǎn)業(yè)鏈整體技術(shù)水平。

　　孫勇表示，國家的重大專項(xiàng)主體必須由本土企業(yè)、本土的人才來完成，這是項(xiàng)目成功的根本保證。因此大力培養(yǎng)本土人才，建立本土人才培養(yǎng)體系是關(guān)鍵。此外，企業(yè)還要不斷跟蹤國外先進(jìn)技術(shù)，建立完整的研究開發(fā)體系，充分與各種資源進(jìn)行取長補(bǔ)短，發(fā)揮優(yōu)勢。同時(shí)適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行國外人才的引進(jìn)，只求所用，不求所有。

　　他們研制的100nm大角度離子注入機(jī)一舉打破了由國外公司對高端半導(dǎo)體設(shè)備的壟斷，實(shí)現(xiàn)了我國集成電路制造裝備的重大技術(shù)跨越，使我國高端集成電路核心設(shè)備技術(shù)水平跨越了5代，使未來2-3年我國集成電路制造業(yè)從180nm向130nm和90nm升級時(shí)可以使用國產(chǎn)裝備。孫勇介紹說，100nm大角度離子注入機(jī)屬于自主創(chuàng)新。該設(shè)備的技術(shù)創(chuàng)新：首次實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)8英寸離子注入機(jī)設(shè)備的制造；首次實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機(jī)進(jìn)入大生產(chǎn)線測試和生產(chǎn)，并獲得成功；實(shí)現(xiàn)了離子注入機(jī)全自動(dòng)控制功能，并與大生產(chǎn)線管理系統(tǒng)進(jìn)行連接；實(shí)現(xiàn)了單圓片傳輸與注入監(jiān)控技術(shù)；長壽命離子源大大提高了設(shè)備的生產(chǎn)時(shí)間；平行束技術(shù)填補(bǔ)國內(nèi)空白。

　　同45所100nm大角度離子注入機(jī)一起被業(yè)界稱為具有戰(zhàn)略意義的半導(dǎo)體高端設(shè)備的還有北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司研制的100納米等離子刻蝕機(jī)。

　　秦建國向記者介紹說，他們在開拓創(chuàng)新上，首先要結(jié)合實(shí)際、調(diào)查新產(chǎn)品市場，制定完善公司的新產(chǎn)品規(guī)劃，落實(shí)到設(shè)計(jì)人員上。其次積極組織人員和資金。對多線切割機(jī)、大直徑內(nèi)圓切割機(jī)、磨片機(jī)、倒角機(jī)等一系列新產(chǎn)品進(jìn)行社會(huì)調(diào)研及技術(shù)準(zhǔn)備工作。每年必須研制開發(fā)1-2個(gè)新產(chǎn)品上市,這樣才能提高公司新產(chǎn)品的市場競爭能力，加快企業(yè)的研發(fā)力量，不斷創(chuàng)新企業(yè)的產(chǎn)品，公司的前景才會(huì)越來越好。他們研制的單晶硅棒切方滾磨機(jī)床價(jià)格只有進(jìn)口設(shè)備的八分之一。全部替代了日本滾磨機(jī)床。為了替代進(jìn)口設(shè)備，京聯(lián)發(fā)在滾圓機(jī)上改進(jìn)設(shè)計(jì)，使?jié)L圓切方形成了一體機(jī)，減少了裝夾時(shí)間，提高了加工精度。節(jié)省的材料一年可以買2臺(tái)國產(chǎn)的切方滾圓機(jī)床。

　　-精彩觀點(diǎn)

　　中低端突破 高端跟進(jìn)

　　-北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設(shè)備分公司總經(jīng)理 盛金龍

　　從一定意義上說，中國半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)的快速發(fā)展，將更快地促進(jìn)半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，同時(shí)集成電路設(shè)備的發(fā)展，得益最多的是集成電路產(chǎn)業(yè)。

　　那么，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備怎么做才能滿足集成電路產(chǎn)業(yè)的需求呢？我認(rèn)為，應(yīng)該從中低端突破，我們國家的半導(dǎo)體設(shè)備尤其是主要設(shè)備，既要在諸如曝光、刻蝕和離子注入等關(guān)鍵設(shè)備上實(shí)現(xiàn)突破，也要關(guān)注諸如氧化擴(kuò)散設(shè)備、化學(xué)腐蝕設(shè)備、硅片清洗設(shè)備。從一定意義上說，后者更有率先實(shí)現(xiàn)突破的條件，因?yàn)槎嗄陙砦覀兂恋砹诵酆竦募夹g(shù)，又有廣泛的客戶基礎(chǔ)。其本身的技術(shù)難度也相對于曝光、刻蝕和離子注入等關(guān)鍵設(shè)備要稍微小一些，又是IC線上所用的數(shù)量巨大的設(shè)備類型。國家及企業(yè)在這幾個(gè)產(chǎn)品領(lǐng)域應(yīng)加強(qiáng)力量投入，這幾種設(shè)備的大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化所需要的資源應(yīng)該要比其他幾項(xiàng)要少得多，實(shí)現(xiàn)突破的前景更美好。

　　而在高端設(shè)備領(lǐng)域，有了中科信和北方微電子公司100納米半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入大生產(chǎn)線的“創(chuàng)舉”，加上國家在政策和資金方面的大力扶持，相信取得進(jìn)一步突破為期不遠(yuǎn)了。

　　此外，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)要和先進(jìn)的制造企業(yè)進(jìn)行合作，定期拜訪客戶，了解他們的需求，不斷改進(jìn)產(chǎn)品的缺陷，以便進(jìn)入大生產(chǎn)線。國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)最缺乏的是大生產(chǎn)線的工藝經(jīng)驗(yàn)，而這些經(jīng)驗(yàn)是無法在大生產(chǎn)線外取得的。因此，我呼吁，國內(nèi)IC制造企業(yè)應(yīng)給國內(nèi)設(shè)備企業(yè)一個(gè)機(jī)會(huì)，讓我們的設(shè)備進(jìn)入大生產(chǎn)線，經(jīng)風(fēng)雨，見世面。