LED產(chǎn)業(yè)外延芯片制造行業(yè)的同行，對(duì)愛思強(qiáng)（AIXTRON）和維易科（VEECO）兩家MOCVD設(shè)備制造商是“愛恨交織”。

愛思強(qiáng)和維易科生產(chǎn)的設(shè)備，在外延芯片制造過程中不可或缺。也因此，這兩家分別來(lái)自德國(guó)、美國(guó)的供應(yīng)商長(zhǎng)期把持了MOCVD產(chǎn)業(yè)90%以上的份額。

另外，由于國(guó)內(nèi)地方政府2009年起實(shí)行MOCVD設(shè)備采購(gòu)的高額補(bǔ)貼，令補(bǔ)貼政策的真正受益者不僅是國(guó)內(nèi)LED企業(yè)，更推動(dòng)了愛思強(qiáng)和維易科收益的大漲。

近2年來(lái)，中國(guó)企業(yè)也不斷在MOCVD設(shè)備制造領(lǐng)域中求突破。盡管未必會(huì)享受到地方政府“豪氣”的補(bǔ)貼，但若打破“外來(lái)和尚”的壟斷格局，在LED產(chǎn)業(yè)仍處于發(fā)展中的階段，國(guó)內(nèi)企業(yè)也將分享到產(chǎn)業(yè)“紅利”。

“外來(lái)和尚”壟斷

MOCVD是一種“金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉淀”技術(shù)，該技術(shù)設(shè)備報(bào)價(jià)在1500萬(wàn)元/套，占LED外延芯片生產(chǎn)成本的40%~50%。

2009年前，MOCVD產(chǎn)業(yè)都不算是一個(gè)體量很大的行業(yè)，它被用在藍(lán)光、大功率材料切割、光纖通訊以及醫(yī)療等方面。

中晟光電設(shè)備（上海）有限公司（下稱“中晟光電”）一位負(fù)責(zé)人說(shuō)：“2009年前，LED產(chǎn)業(yè)和MOCVD市場(chǎng)很小，只有愛思強(qiáng)和維易科、一家日本公司提供MOCVD設(shè)備。2009年后，由于背光源的應(yīng)用，LED產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)了井噴式的發(fā)展，給這兩家公司提供了發(fā)展契機(jī)。此外，新進(jìn)入的MOCVD提供商，有的不能提供滿足客戶需求的設(shè)備和技術(shù)（如美國(guó)的應(yīng)用材料公司），有的未能及時(shí)提供設(shè)備趕上市場(chǎng)的窗口，導(dǎo)致了愛思強(qiáng)和維易科"霸主"的局面?！?/p>

截至2012年，維易科占該產(chǎn)業(yè)62%的市場(chǎng)份額，愛思強(qiáng)的市場(chǎng)占有率降低至28%，退至第二。

全球LED需求的增長(zhǎng)，促使了這兩家海外企業(yè)訂單的上升。2010年、2011年，來(lái)自中國(guó)的買家大手筆采購(gòu)，更使愛思強(qiáng)和維易科“數(shù)錢數(shù)到手軟”。這背后，是中國(guó)地方政府的慷慨補(bǔ)貼。

光達(dá)光電設(shè)備科技（嘉興）有限公司（下稱“光達(dá)高科”）創(chuàng)始人兼CTO梁秉文，用自己掌上電腦中的圖片來(lái)說(shuō)明市場(chǎng)到底有多“瘋狂”：2006年，全球MOCVD設(shè)備出貨量不到100臺(tái)，2007年為100多臺(tái)；到了2010年，該數(shù)字達(dá)到了800多臺(tái)，同比2009年增長(zhǎng)277%?！暗袌?chǎng)的正常需求大約是300到500臺(tái)?！?/p>

也有數(shù)據(jù)顯示，2010年800臺(tái)的MOCVD設(shè)備出貨量中，有60%（約480臺(tái)）來(lái)自于中國(guó)的需求。而2011年，中國(guó)的MOCVD新增量約為483臺(tái)，2012年則降到了200多臺(tái)。

“我估計(jì)在2010年、2011年期間，來(lái)自中國(guó)地方政府對(duì)MOCVD設(shè)備的補(bǔ)貼額就在幾十億元左右?！绷罕姆Q。

2009年，江蘇省揚(yáng)州市率先出臺(tái)政策，對(duì)不同的MOCVD設(shè)備，分別實(shí)行800萬(wàn)、1000萬(wàn)元的不同補(bǔ)貼標(biāo)準(zhǔn)。隨后，廈門、佛山及蕪湖等地也紛紛仿效。三安光電、德潤(rùn)豪達(dá)、國(guó)星光電等國(guó)內(nèi)公司在政策“激勵(lì)”下，大肆采購(gòu)MOCVD設(shè)備。如三安光電和德潤(rùn)豪達(dá)的采購(gòu)量就高達(dá)上百臺(tái)之多。

彼時(shí)，歐美企業(yè)也意外地“躺著數(shù)錢”。愛思強(qiáng)2008年、2009年的收入為2.744億歐元、3.029億歐元，但2010年、2011年的收入分別達(dá)到7.8億歐元和6.1億歐元。它的EBIT(息稅前利潤(rùn))在2010年暴增到了2.75億歐元，2009年僅為6270萬(wàn)歐元。

同樣，維易科2010年的業(yè)績(jī)創(chuàng)出歷史最高紀(jì)錄達(dá)9.33億美元，利潤(rùn)為2.61億美元。其中，該公司當(dāng)年第四季度的收入為3億美元，同比2009年的1.19億美元大幅增長(zhǎng)。

中國(guó)企業(yè)“搶攻”

盡管中國(guó)地方政府現(xiàn)有補(bǔ)貼幅度已經(jīng)減緩，但LED的大發(fā)展仍勢(shì)不可擋，MOCVD設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)仍存在較好前景。目前，包括中晟光電、光達(dá)高科、廣東昭信及上海理想能源等數(shù)家公司都在積極涉足。

梁秉文說(shuō)，2013年1月，光達(dá)高科已通過了MOCVD設(shè)備的工藝能力驗(yàn)證，并與國(guó)內(nèi)外公司達(dá)成了長(zhǎng)期供貨意向。前述中晟光電負(fù)責(zé)人也透露，今年3月中晟光電已上市了自主研發(fā)的首臺(tái)MOCVD設(shè)備，同時(shí)也有了客戶。

但中晟光電前述負(fù)責(zé)人對(duì)本報(bào)記者說(shuō)：“MOCVD是LED產(chǎn)業(yè)鏈中的核心高端裝備。它不僅涉及50多種學(xué)科和很多高端技術(shù)，而且LED外延工藝難度很高，外延薄膜質(zhì)量、薄膜厚度和波長(zhǎng)均勻性和重復(fù)性的嚴(yán)格要求，對(duì)MOCVD設(shè)備開發(fā)提出了巨大的挑戰(zhàn)。MOCVD設(shè)備的研發(fā)投資額耗費(fèi)巨大，若企業(yè)沒有長(zhǎng)期、持續(xù)的投入，很難在短期有立竿見影的經(jīng)濟(jì)效益?！?/p>

“在市場(chǎng)方面，兩家海外企業(yè)現(xiàn)正大幅降價(jià)，虧本傾銷，這會(huì)嚴(yán)重打擊國(guó)內(nèi)的競(jìng)爭(zhēng)者?！敝嘘晒怆娚鲜鋈耸勘硎荆瑦鬯紡?qiáng)和維易科過去3年獲得了巨大的政策及利潤(rùn)優(yōu)勢(shì)，因此目前降價(jià)幅度高達(dá)40%~50%。

梁秉文則認(rèn)為，兩家海外公司低價(jià)處理設(shè)備的另一原因是，個(gè)別國(guó)內(nèi)大公司雖在幾年前下單訂購(gòu)MOCVD，但沒有真正采購(gòu)，造成了海外設(shè)備商有大量的庫(kù)存，需要解決這些庫(kù)存產(chǎn)品。

SEMI中國(guó)資深分析師兼LED項(xiàng)目經(jīng)理戚發(fā)鑫也表示，國(guó)內(nèi)幾個(gè)新進(jìn)入的企業(yè)，已經(jīng)有因起步不順以及市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)而退出的。廈門光電子行業(yè)協(xié)會(huì)秘書長(zhǎng)馬承伯也對(duì)記者說(shuō)，國(guó)外的MOCVD廠商長(zhǎng)期居于壟斷地位，其用戶從維護(hù)成本角度考慮，可能不會(huì)輕易轉(zhuǎn)用國(guó)內(nèi)的產(chǎn)品。

梁秉文說(shuō)：“現(xiàn)在還不清楚國(guó)內(nèi)政府的補(bǔ)貼是否也會(huì)傾向于國(guó)產(chǎn)化的公司，如果能有針對(duì)MOCVD國(guó)產(chǎn)化的適度補(bǔ)貼政策，那么國(guó)內(nèi)企業(yè)也有望盡快獲得一部分的MOCVD市場(chǎng)份額。”

一些國(guó)內(nèi)企業(yè)也在試圖尋找該產(chǎn)業(yè)中的“藍(lán)?！睉?zhàn)略。如光達(dá)高科會(huì)提供一整套的技術(shù)解決方案，大幅降低客戶對(duì)工程師的依賴，讓技術(shù)人員易上手。“國(guó)外企業(yè)除了供應(yīng)設(shè)備，其余的服務(wù)如工程師、售后服務(wù)等價(jià)格是十分昂貴的?！倍嘘晒怆姷牟呗詣t是，研制不同尺寸的多套設(shè)備供客戶選擇；而且其稱，外延芯片的生產(chǎn)成本也為“世界最低”，可大量降低氣體和水電的消耗。2013年，中晟光電計(jì)劃實(shí)現(xiàn)8000萬(wàn)元的銷售，并在今年11月投產(chǎn)新廠房，屆時(shí)望有4億~5億元的生產(chǎn)能力。（責(zé)任編輯：jasmine）