玻璃基板和蒸鍍成膜亦可彎曲

時(shí)間：2012-11-21 17:32:00

關(guān)鍵字：玻璃基板薄膜元件顯示器

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[導(dǎo)讀]“柔性基板上的成膜要用涂布工藝”，或者“玻璃基板不能使用卷對(duì)卷工藝”等定見，其實(shí)是不正確的。例如，將脂膜及金屬箔以卷對(duì)卷方式卷繞，并以真空蒸鍍成膜的技術(shù)10多年前就有了（圖A-1）。而且一直主要用于柔性印刷

“柔性基板上的成膜要用涂布工藝”，或者“玻璃基板不能使用卷對(duì)卷工藝”等定見，其實(shí)是不正確的。例如，將脂膜及金屬箔以卷對(duì)卷方式卷繞，并以真空蒸鍍成膜的技術(shù)10多年前就有了（圖A-1）。而且一直主要用于柔性印刷布線基板、觸摸面板及透明導(dǎo)電薄膜等的制造。“還曾有過在一口氣就能吹走的1.2μm厚薄膜上成膜的例子”（洛克技研工業(yè)代表董事巖永淳一）。在海外，德國弗勞恩霍夫研究所（Fraunhofer Institute）也在用與洛克技研工業(yè)相同但尺寸更大的裝置開發(fā)有機(jī)EL照明面板。

圖A-1：采用蒸鍍技術(shù)的卷對(duì)卷（R2R）方式
洛克技研工業(yè)等以前就開發(fā)出了采用蒸鍍技術(shù)但利用柔性薄膜基板以卷對(duì)卷方式成膜的裝置，并供貨了數(shù)十臺(tái)（a）。2012年大日本印刷等開發(fā)出了采用柔性玻璃的卷對(duì)卷技術(shù)（b）。

最近，柔性基板的隊(duì)伍中又增加了“玻璃”這位新成員。大日本印刷在2012年6月的顯示器技術(shù)國際會(huì)議“SID 2012”上，發(fā)布了在柔性玻璃上以卷對(duì)卷方式形成彩色濾光片的技術(shù)。將玻璃的厚度減至50～70μm，便可在一定程度上彎曲。并在其上利用以往的光刻技術(shù)形成圖案。雖然目前彎曲時(shí)的機(jī)械強(qiáng)度似還存在課題，但將來肯定會(huì)成為樹脂膜的強(qiáng)勁競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。

這類技術(shù)很難區(qū)別是傳統(tǒng)的半導(dǎo)體技術(shù)還是廣義的印刷電子。但開發(fā)新元件的選擇范圍得以大幅擴(kuò)展這一點(diǎn)是毫無疑問的。