據(jù)市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)YoleDevelopment的最新統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，2011年世界微機(jī)電系統(tǒng)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到了102億美元，比2010年增長(zhǎng)19%，這一增長(zhǎng)速度遠(yuǎn)超同年1.8%的世界半導(dǎo)體總體營(yíng)收增幅和4%的世界Fabless銷售額漲幅。

MEMS發(fā)展歷史雖然已有數(shù)十年的時(shí)間，但近年來(lái)隨著智能手機(jī)、汽車電子、醫(yī)療電子、物聯(lián)網(wǎng)等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)陀螺儀、射頻(RF)MEMS元件、MEMS麥克風(fēng)等MEMS元件產(chǎn)品的需求量將會(huì)持續(xù)攀升，推動(dòng)MEMS產(chǎn)業(yè)進(jìn)入快速發(fā)展階段。

高價(jià)值MEMS主打醫(yī)療生物領(lǐng)域

醫(yī)療電子應(yīng)用領(lǐng)域的MEMS市場(chǎng)正在快速增長(zhǎng)，2011年高價(jià)值MEMS市場(chǎng)需求額19億美元，需求數(shù)量約1.2億顆。iSuppli預(yù)計(jì)今后5年高價(jià)值MEMS市場(chǎng)將以20%左右的年復(fù)合成長(zhǎng)率(CAGR)增長(zhǎng)。

醫(yī)療電子及醫(yī)療儀器等領(lǐng)域需求的高價(jià)值MEMS市場(chǎng)，會(huì)隨著全球暖化與人口高齡化等因素影響，不僅近年來(lái)獲得快速發(fā)展，將來(lái)還會(huì)獲得更加強(qiáng)勁的增長(zhǎng)。

MEMS可用于許多生物和醫(yī)療電子產(chǎn)品中，如心臟起搏器、精密手術(shù)儀器、醫(yī)療機(jī)器、仿生眼、智能假肢、血糖儀、數(shù)字血壓計(jì)、血?dú)夥治鰞x、數(shù)字脈搏和心率、數(shù)字溫度計(jì)、懷孕測(cè)試儀、透皮給藥系統(tǒng)、透析系統(tǒng)和氧濃縮器等。許多醫(yī)療電子產(chǎn)品使用的技術(shù)越來(lái)越復(fù)雜，為了確保包括醫(yī)護(hù)人員、病患本人以及最重要的家庭用戶在內(nèi)的每個(gè)人都能安全有效地使用這些產(chǎn)品，對(duì)這些產(chǎn)品的設(shè)計(jì)要求越來(lái)越高，并且其中許多要求可能存在沖突。對(duì)于設(shè)計(jì)師來(lái)說，所有這一切則意味著要在給定空間上實(shí)現(xiàn)更多的功能，同時(shí)盡可能地降低功率，都需要用到高性能、高可靠的MEMS傳感器，從傳感器機(jī)制到整機(jī)產(chǎn)品的系統(tǒng)特性，以實(shí)現(xiàn)將生命體的運(yùn)動(dòng)檢測(cè)轉(zhuǎn)化為對(duì)醫(yī)療保健有用的電信號(hào)。

在醫(yī)療電子應(yīng)用領(lǐng)域，MEMS技術(shù)的目標(biāo)是把信息的獲取、處理和執(zhí)行集成在一起，組成具有多功能的微型系統(tǒng)，這樣不僅可以降低機(jī)電系統(tǒng)的成本，而且還可以完成大尺寸機(jī)電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù)，也可以嵌入大尺寸系統(tǒng)中，從而大幅度地提高系統(tǒng)的自動(dòng)化、智能化和可靠性水平。MEMS技術(shù)開辟了一個(gè)全新醫(yī)療電子產(chǎn)業(yè)。

以英國(guó)為基地開展納米技術(shù)研發(fā)的英國(guó)Innos，作為從英國(guó)貿(mào)易工業(yè)部(DTI)取得資金援助的聯(lián)盟一員，將開展在醫(yī)療領(lǐng)域應(yīng)用MEMS發(fā)電機(jī)的相關(guān)研究。該組織的研究項(xiàng)目是Self-EnergizingImplantableMedicalMicroSystems(SIMM)，時(shí)間為兩年。將開發(fā)、試制可從人體內(nèi)部及外部的運(yùn)動(dòng)中獲取能量的元件。

Innos將采用英國(guó)Perpetuum提供的振動(dòng)能量捕獲式微型發(fā)電機(jī)，進(jìn)行基于硅的開發(fā)及元件加工，并向英國(guó)FinsburyOrthopaedics提供樣機(jī)以進(jìn)行綜合測(cè)試。英國(guó)InVivoTechnology已經(jīng)證實(shí)了能量捕獲裝置的臨床兼容性和臨床可行性。英國(guó)OdstockMedical將在功能性電刺激(FES)市場(chǎng)采用此技術(shù)。該項(xiàng)目的主導(dǎo)方加拿大卓聯(lián)半導(dǎo)體(ZarlinkSemiconductor)將提供尖端微型封裝技術(shù)。

醫(yī)療電子應(yīng)用領(lǐng)域的MEMS市場(chǎng)正在快速增長(zhǎng)，2011年高價(jià)值MEMS市場(chǎng)需求額19億美元，需求數(shù)量約1.2億顆。iSuppli預(yù)計(jì)今后5年高價(jià)值MEMS市場(chǎng)將以20%左右的年復(fù)合成長(zhǎng)率(CAGR)增長(zhǎng)。Yole預(yù)測(cè)，到2016年，生物和醫(yī)療電子領(lǐng)域用MEMS將占全球市場(chǎng)總需求的24%。

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