[導讀] Akrion,Inc.日前在美國聯(lián)邦法院向SolidStateEquipmentCorporation（以下簡稱SSEC）提起訴訟，狀告后者侵犯了其6項與兆聲輔助清洗相關的專利。Akrion聲稱，SSEC銷售的部分單晶圓兆聲清洗設備侵犯了Akrion擁有的一
Akrion,Inc.日前在美國聯(lián)邦法院向SolidStateEquipmentCorporation（以下簡稱SSEC）提起訴訟，狀告后者侵犯了其6項與兆聲輔助清洗相關的專利。Akrion聲稱，SSEC銷售的部分單晶圓兆聲清洗設備侵犯了Akrion擁有的一項或多項發(fā)明專利。 Akrion公司總裁JimMolinaro表示：“Akrion一直以來積極開發(fā)應用于單晶圓和批量晶圓處理的兆聲輔助清洗技術。公司會盡力保護自身知識產權，特別是在涉及單晶圓兆聲輔助清洗技術方面時?！?
Akrion稱，公司在全球共擁有100多項已授權專利和70多項未決專利。
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