12月12日，我國首臺具有世界先進水平的大型國產(chǎn)MOCVD設(shè)備在上海張江高新區(qū)核心園發(fā)運。有關(guān)專家表示，這不僅標志著我國在實現(xiàn)大型MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化戰(zhàn)略目標的征途上邁開了具有里程碑意義的一步，而且充分體現(xiàn)了中國有能力在高端裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)跨越式發(fā)展。
據(jù)介紹，MOCVD是在氣相外延生長基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術(shù)。作為LED芯片生產(chǎn)過程中最為關(guān)鍵的設(shè)備，MOCVD的核心技術(shù)長期被歐美企業(yè)壟斷，嚴重制約了我國LED產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。隨著半導(dǎo)體照明逐漸成為LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主要推動力，現(xiàn)有被壟斷的設(shè)備已不能滿足LED大規(guī)模生產(chǎn)和產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展的需要。
今年1月18日，中晟光電設(shè)備(上海)有限公司成功實現(xiàn)了擁有自主創(chuàng)新知識產(chǎn)權(quán)的大型國產(chǎn)MOCVD設(shè)備下線，并用10個月時間對工藝和設(shè)備進一步改進優(yōu)化;在此基礎(chǔ)上，又完成了4家客戶的多次實地考察，操作設(shè)備和驗證各項工藝?？蛻魧χ嘘蒑OVCD的評價是：具有目前世界上最高的系統(tǒng)產(chǎn)能、最低的外延生產(chǎn)成本、良好的波長均勻性以及大規(guī)模外延生產(chǎn)所需的各項關(guān)鍵性能。