[導(dǎo)讀]甫于日前落幕的日本半導(dǎo)體設(shè)備暨材料展(SEMICON Japan 2010)上,包括應(yīng)用材料(Applied Materials)與艾司摩爾(ASML)等設(shè)備大廠分別宣布,在半導(dǎo)體蝕刻(Etch)與微影(Lithography)制造技術(shù)上取得新的突破,將可大幅提升
甫于日前落幕的日本半導(dǎo)體設(shè)備暨材料展(SEMICON Japan 2010)上,包括應(yīng)用材料(Applied Materials)與艾司摩爾(ASML)等設(shè)備大廠分別宣布,在半導(dǎo)體蝕刻(Etch)與微影(Lithography)制造技術(shù)上取得新的突破,將可大幅提升半導(dǎo)體業(yè)者在先進(jìn)制程世代的制造良率,并降低整體營(yíng)運(yùn)成本。
制程的進(jìn)步相對(duì)會(huì)造成蝕刻步驟的增加,進(jìn)而加重成本負(fù)擔(dān),因此,精準(zhǔn)、智慧型且高生產(chǎn)力的蝕刻系統(tǒng)便益發(fā)重要。
應(yīng)用材料副總裁暨蝕刻事業(yè)處總經(jīng)理葉怡利表示,蝕刻是半導(dǎo)體業(yè)界發(fā)展最快的市場(chǎng)之一,因?yàn)橐獙?shí)現(xiàn)先進(jìn)微晶片的極小電路,須仰賴愈來(lái)愈多關(guān)鍵的蝕刻步驟;因此,該公司推出新的智慧型蝕刻系統(tǒng),除可讓每片晶圓均勻度達(dá)埃(Angstrom)等級(jí),提高生產(chǎn)良率外,亦能在每小時(shí)處理高達(dá)一百八十片晶圓,從而減少 30%的單片晶圓成本,是因應(yīng)未來(lái)高度復(fù)雜的晶片制造不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備。
據(jù)了解,應(yīng)用材料所推出的Centris AdvantEdge Mesa蝕刻系統(tǒng),主要是系因應(yīng)22奈米及其以下先進(jìn)制程的邏輯和記憶體晶片制造所開(kāi)發(fā),其包含六個(gè)蝕刻制程反應(yīng)室和兩個(gè)電漿清洗制程反應(yīng)室,在搭配該公司專利的智慧型系統(tǒng)軟體運(yùn)作下,可確保每個(gè)反應(yīng)室的每項(xiàng)制程都能精確對(duì)準(zhǔn),以達(dá)到比市場(chǎng)其他半導(dǎo)體蝕刻系統(tǒng)快兩倍的處理速度。
與此同時(shí),應(yīng)用材料也針對(duì)近來(lái)快速崛起的矽穿孔(TSV)技術(shù),推出全新的加強(qiáng)型Silvia蝕刻系統(tǒng),利用新電漿源將半導(dǎo)體蝕刻速率大幅提升40%以上,快速制作出高深寬比且剖面光滑垂直的導(dǎo)孔結(jié)構(gòu),讓Silvia系統(tǒng)的導(dǎo)孔蝕刻成本首度下降至每片晶圓低于10美元的價(jià)位,將有助晶片制造商加速導(dǎo)入矽穿孔技術(shù),進(jìn)一步推動(dòng)三維晶片(3D IC)的發(fā)展。
另一方面,微影設(shè)備大廠艾司摩爾也宣布,兩家位于亞洲的晶片制造商已分別利用該公司TWINSCAN XT:870和TWINSCAN XT:400微影掃描機(jī)臺(tái),創(chuàng)下每天處理超過(guò)四千片晶圓的記錄,為12寸晶圓的微影作業(yè)生產(chǎn)力設(shè)下新的門檻。艾司摩爾執(zhí)行副總裁暨行銷長(zhǎng)Frits van Hout表示,為客戶創(chuàng)造更高生產(chǎn)力一直是艾司摩爾努力的目標(biāo),而這項(xiàng)新的里程碑即是該公司與客戶間緊密合作成效的最佳印證。
據(jù)了解,艾司摩爾目前已有超過(guò)兩百臺(tái)的微影掃描機(jī)年產(chǎn)量可達(dá)百萬(wàn)片晶圓的水準(zhǔn),其中包括iLine、KrF、ArF等型式的掃描機(jī),以及超過(guò)二十五臺(tái)浸潤(rùn)式(Immersion)微影掃描機(jī)。隨著艾司摩爾與客戶端技術(shù)經(jīng)驗(yàn)的日益豐富,現(xiàn)今一臺(tái)微影掃描機(jī)只消37周的時(shí)間,即可調(diào)整到年產(chǎn)量百萬(wàn)臺(tái)的水準(zhǔn),對(duì)微影制程成本結(jié)構(gòu)的改善,不啻有莫大助益。
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9月2日消息,不造車的華為或?qū)⒋呱龈蟮莫?dú)角獸公司,隨著阿維塔和賽力斯的入局,華為引望愈發(fā)顯得引人矚目。
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阿維塔
塞力斯
華為
加利福尼亞州圣克拉拉縣2024年8月30日 /美通社/ -- 數(shù)字化轉(zhuǎn)型技術(shù)解決方案公司Trianz今天宣布,該公司與Amazon Web Services (AWS)簽訂了...
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AWS
AN
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數(shù)字化
倫敦2024年8月29日 /美通社/ -- 英國(guó)汽車技術(shù)公司SODA.Auto推出其旗艦產(chǎn)品SODA V,這是全球首款涵蓋汽車工程師從創(chuàng)意到認(rèn)證的所有需求的工具,可用于創(chuàng)建軟件定義汽車。 SODA V工具的開(kāi)發(fā)耗時(shí)1.5...
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汽車
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智能驅(qū)動(dòng)
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北京2024年8月28日 /美通社/ -- 越來(lái)越多用戶希望企業(yè)業(yè)務(wù)能7×24不間斷運(yùn)行,同時(shí)企業(yè)卻面臨越來(lái)越多業(yè)務(wù)中斷的風(fēng)險(xiǎn),如企業(yè)系統(tǒng)復(fù)雜性的增加,頻繁的功能更新和發(fā)布等。如何確保業(yè)務(wù)連續(xù)性,提升韌性,成...
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亞馬遜
解密
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BSP
8月30日消息,據(jù)媒體報(bào)道,騰訊和網(wǎng)易近期正在縮減他們對(duì)日本游戲市場(chǎng)的投資。
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騰訊
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8月28日消息,今天上午,2024中國(guó)國(guó)際大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)開(kāi)幕式在貴陽(yáng)舉行,華為董事、質(zhì)量流程IT總裁陶景文發(fā)表了演講。
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華為
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半導(dǎo)體
8月28日消息,在2024中國(guó)國(guó)際大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)上,華為常務(wù)董事、華為云CEO張平安發(fā)表演講稱,數(shù)字世界的話語(yǔ)權(quán)最終是由生態(tài)的繁榮決定的。
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華為
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手機(jī)
衛(wèi)星通信
要點(diǎn): 有效應(yīng)對(duì)環(huán)境變化,經(jīng)營(yíng)業(yè)績(jī)穩(wěn)中有升 落實(shí)提質(zhì)增效舉措,毛利潤(rùn)率延續(xù)升勢(shì) 戰(zhàn)略布局成效顯著,戰(zhàn)新業(yè)務(wù)引領(lǐng)增長(zhǎng) 以科技創(chuàng)新為引領(lǐng),提升企業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力 堅(jiān)持高質(zhì)量發(fā)展策略,塑強(qiáng)核心競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)...
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通信
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電信運(yùn)營(yíng)商
數(shù)字經(jīng)濟(jì)
北京2024年8月27日 /美通社/ -- 8月21日,由中央廣播電視總臺(tái)與中國(guó)電影電視技術(shù)學(xué)會(huì)聯(lián)合牽頭組建的NVI技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟在BIRTV2024超高清全產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展研討會(huì)上宣布正式成立。 活動(dòng)現(xiàn)場(chǎng) NVI技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)...
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VI
傳輸協(xié)議
音頻
BSP
北京2024年8月27日 /美通社/ -- 在8月23日舉辦的2024年長(zhǎng)三角生態(tài)綠色一體化發(fā)展示范區(qū)聯(lián)合招商會(huì)上,軟通動(dòng)力信息技術(shù)(集團(tuán))股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱"軟通動(dòng)力")與長(zhǎng)三角投資(上海)有限...
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BSP
信息技術(shù)
山海路引?嵐悅新程 三亞2024年8月27日 /美通社/ --?近日,海南地區(qū)六家凱悅系酒店與中國(guó)高端新能源車企嵐圖汽車(VOYAH)正式達(dá)成戰(zhàn)略合作協(xié)議。這一合作標(biāo)志著兩大品牌在高端出行體驗(yàn)和環(huán)保理念上的深度融合,將...
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新能源
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PLAYER
ASIA
上海2024年8月28日 /美通社/ -- 8月26日至8月28日,AHN LAN安嵐與股神巴菲特的孫女妮可?巴菲特共同開(kāi)啟了一場(chǎng)自然和藝術(shù)的療愈之旅。 妮可·巴菲特在療愈之旅活動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)合影 ...
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MIDDOT
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LAN
SPI
8月29日消息,近日,華為董事、質(zhì)量流程IT總裁陶景文在中國(guó)國(guó)際大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)開(kāi)幕式上表示,中國(guó)科技企業(yè)不應(yīng)怕美國(guó)對(duì)其封鎖。
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華為
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EDA
半導(dǎo)體
上海2024年8月26日 /美通社/ -- 近日,全球領(lǐng)先的消費(fèi)者研究與零售監(jiān)測(cè)公司尼爾森IQ(NielsenIQ)迎來(lái)進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)四十周年的重要里程碑,正式翻開(kāi)在華發(fā)展新篇章。自改革開(kāi)放以來(lái),中國(guó)市場(chǎng)不斷展現(xiàn)出前所未有...
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BSP
NI
SE
TRACE
上海2024年8月26日 /美通社/ -- 第二十二屆跨盈年度B2B營(yíng)銷高管峰會(huì)(CC2025)將于2025年1月15-17日在上海舉辦,本次峰會(huì)早鳥票注冊(cè)通道開(kāi)啟,截止時(shí)間10月11日。 了解更多會(huì)議信息:cc.co...
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BSP
COM
AI
INDEX
上海2024年8月26日 /美通社/ -- 今日,高端全合成潤(rùn)滑油品牌美孚1號(hào)攜手品牌體驗(yàn)官周冠宇,開(kāi)啟全新旅程,助力廣大車主通過(guò)駕駛?cè)ヌ剿鞲鼜V闊的世界。在全新發(fā)布的品牌視頻中,周冠宇及不同背景的消費(fèi)者表達(dá)了對(duì)駕駛的熱愛(ài)...
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汽車制造
此次發(fā)布標(biāo)志著Cision首次為亞太市場(chǎng)量身定制全方位的媒體監(jiān)測(cè)服務(wù)。 芝加哥2024年8月27日 /美通社/ -- 消費(fèi)者和媒體情報(bào)、互動(dòng)及傳播解決方案的全球領(lǐng)導(dǎo)者Cis...
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CIS
IO
SI
BSP
上海2024年8月27日 /美通社/ -- 近來(lái),具有強(qiáng)大學(xué)習(xí)、理解和多模態(tài)處理能力的大模型迅猛發(fā)展,正在給人類的生產(chǎn)、生活帶來(lái)革命性的變化。在這一變革浪潮中,物聯(lián)網(wǎng)成為了大模型技術(shù)發(fā)揮作用的重要陣地。 作為全球領(lǐng)先的...
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模型
移遠(yuǎn)通信
BSP
高通
北京2024年8月27日 /美通社/ -- 高途教育科技公司(紐約證券交易所股票代碼:GOTU)("高途"或"公司"),一家技術(shù)驅(qū)動(dòng)的在線直播大班培訓(xùn)機(jī)構(gòu),今日發(fā)布截至2024年6月30日第二季度未經(jīng)審計(jì)財(cái)務(wù)報(bào)告。 2...
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電話會(huì)議
COM
TE
8月26日消息,華為公司最近正式啟動(dòng)了“華為AI百校計(jì)劃”,向國(guó)內(nèi)高校提供基于昇騰云服務(wù)的AI計(jì)算資源。
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華為
12nm
EDA
半導(dǎo)體