微機電系統(tǒng)在未來的高科技領(lǐng)域有很大的應(yīng)用潛力，但目前它們也有一個難以克服的缺陷，那就是計量結(jié)果不夠精確，彼此之間存在偏差。據(jù)報道，美國普渡 大學(xué)的研究人員現(xiàn)已找到了一種方法，可以讓微機電系統(tǒng)進行自我校準(zhǔn)，這一研究成果有望打開研發(fā)各類超高精度的傳感器和設(shè)備的大門，可在醫(yī)學(xué)、工程以及國防 領(lǐng)域發(fā)揮作用。

普渡大學(xué)開發(fā)的這項被稱為微電計量的新技術(shù)，可幫助工程師確定施加于微機電系統(tǒng)器件上的力的大小。微電計量技術(shù)通過測量微機電系統(tǒng)的電子特性來定義 其機械特性，因為在這樣的微觀尺度上，電子特性比物理力更易測量。一旦獲得了微機電系統(tǒng)器件的電容數(shù)據(jù)，研究人員就能精確計算出其形狀、硬度和受力大小。