全球晶圓(Global Foundries)加速布局微機電(MEMS)領(lǐng)域，13日宣布與SVTC技術(shù)公司結(jié)成戰(zhàn)略聯(lián)盟，加速進行微機電系統(tǒng)(MEMS)的量產(chǎn)制造，進而將客戶群由目前主要的整合組件廠(IDM)，拓展至無晶圓廠(Fabless)客戶群。

SVTC執(zhí)行長Bert Bruggeman表示，MEMS技術(shù)市場正蓬勃發(fā)展，但無晶圓廠設(shè)計公司目前可將MEMS設(shè)計量產(chǎn)上市的選擇有限，因此透過SVTC的研發(fā)技術(shù)與MEMS專長將協(xié)助全球晶圓改造MEMS晶圓市場環(huán)境，提供設(shè)計公司量產(chǎn)CMOS制造服務(wù)。

根據(jù)雙方合作協(xié)議，硅晶圓科技商用服務(wù)供貨商SVTC，將提供全球晶圓開發(fā)設(shè)施，協(xié)助使用全系列的先進CMOS與MEMS設(shè)備，為顧客開發(fā)硅晶圓解決方案。SVTC也將為全球晶圓工程師提供MEMS技術(shù)研發(fā)支持及培養(yǎng)訓(xùn)練。

全球晶圓指出，MEMS應(yīng)用廣泛，從車用傳感器、到噴墨打印機、到高階智能型手機與游戲控制器都有MEMS的應(yīng)用。然而MEMS的制造過去主要局限于特定的晶圓制造廠，采用「單一制程、單一產(chǎn)品」的模式。

為了讓MEMS市場得以持續(xù)快速成長，全球晶圓正采取積極策略，透過與CMOS流程類似的標準化模式，將MEMS從特定制造平臺轉(zhuǎn)移到量產(chǎn)平臺，藉由標準化生產(chǎn)流程，將能縮短產(chǎn)品開發(fā)周? 薄A加速MEMS市場的成長。

全球晶圓在MEMS方面的研發(fā)將先著重于3種應(yīng)用，包括加速計、陀螺儀及無線電射頻微機電系統(tǒng)。加速計在手機與消費電子產(chǎn)品上提供進階用戶體驗；陀螺儀提供個人導(dǎo)航的影像穩(wěn)定與方向偵測能力；無線電射頻微機電系統(tǒng)則支持手機的多頻段操作，同時縮小手機體積并減少電力消耗。至于Globalfoundries的MEMS產(chǎn)能，主要來自位于新加坡的3E晶圓廠。

全球晶圓晶圓事業(yè)部進階副總裁兼新加坡總經(jīng)理Raj Kumar表示，目前已有計劃要增加基礎(chǔ)建設(shè)與專業(yè)技術(shù)來支持在3E晶圓廠提供專屬的MEMS生產(chǎn)線，目標是在2011年第3季前開始MEMS裝置的量產(chǎn)。

Raj Kumar進一步指出，目前70%左右的MEMS生產(chǎn)主要在于6吋晶圓，未來將進一步拓展至8吋晶圓制造，另一方面，隨著MEMS代工產(chǎn)業(yè)的成熟，也將帶動更多Fabless客戶加入MEMS市場。