加拿大研發(fā)聯(lián)盟將利用濕沉降技術推進MEMS生產(chǎn)

法國馬錫和加拿大布羅蒙特--(美國商業(yè)資訊)--Alchime是一家領先的納米沉降技術供應商，該技術應用于硅通孔（TSVs）、半導體互連、MEMS和其它電子應用。該公司今天宣布，MiQro創(chuàng)新協(xié)作中心（C2MI）已獲得其成套產(chǎn)品許可。

C2MI是由加拿大魁北克省的謝布魯克大學（Université of Sherbrooke）于2009年籌建的，擁有最先進的MEMS設施。該中心的200mm MEMS和3D晶圓級加工（WLP）設備是世界上最先進的，這些設備將保證其成員測試各種用于MEMS生產(chǎn)的材料。

Alchimer的成套產(chǎn)品及其Electrografting (eG)技術將支持該中心的3D MEMS程序。Electrografting是Alchimer突破性的電化學加工工藝，可制備極高品質的聚合物和金屬薄膜。

Alchimer首席執(zhí)行官Steve Lerner說："MiQro創(chuàng)新協(xié)作中心及其成員躋身于3D集成MEMS的領先行列。他們正在推動這一領域的設計規(guī)則，我們很高興他們選擇我們的產(chǎn)品來 支持這項工作。這對Alchimer的產(chǎn)品和濕沉降技術又是一次堅實的技術驗證。"

世界頭號純MEMS制造商Teledyne DALSA Semiconductor的研發(fā)副總裁Luc Ouellet說："Alchimer的Electrografting技術極大地提高了MEMS、3D-IC和片上互連的產(chǎn)出，并且該技術還為推進低投入、高產(chǎn)出的3D MEMS生產(chǎn)技術的工作提供強大支持。"

關于Alchimer S.A.

Alchimer從事創(chuàng)新的化學配方、制程和知識產(chǎn)權的開發(fā)和營銷，其產(chǎn)品主要應用于各種微電子和MEMS的納米薄膜沉積，其中包括晶圓級互連和三維TSVs (硅通孔)。該公司的突破性技術Electrografting（eGTM）是一個電化學的制程，能夠在導體和半導體生成各種類型的超薄鍍層。Alchimer的潛力最初由法國創(chuàng)新署(OSEO)戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新計劃所確認，該計劃支持具有商業(yè)化價值的最先進技術。Alchimer成立于2001年，是法國原子能總署（CommISsariat à l'Energie Atomique，CEA）的分拆資產(chǎn)?？偛课挥诜▏R錫，并于當年獲得法國研發(fā)及產(chǎn)業(yè)局（French Minister of Research and Industry）頒發(fā)的"高新科技 公司創(chuàng)立國家首獎"（First National Award for the Creation of High Tech Companies）。公司現(xiàn)為"《紅鯡魚》歐洲100強公司"（ Red Herring Top 100 European Company）之一。請訪問Archimer網(wǎng)站：alchimer.com。

關于 C2MI

MiQro創(chuàng)新協(xié)作中心（C2MI）起始于謝布魯克大學和微電子產(chǎn)業(yè)領先公司間的伙伴關系。這些創(chuàng)始的合作伙伴已共同創(chuàng)建了一個促進吸收其它工業(yè)和學術伙伴的良性系統(tǒng)。學術界和工業(yè)界研究者以獨創(chuàng)的方式緊密合作。

最初的21845萬美元投資 (用于建設和研究設備) 來源于加拿大工業(yè)部 (8295萬美元)、加拿大經(jīng)濟發(fā)展和創(chuàng)新出口部(9490萬美元)、布羅蒙特鎮(zhèn)(價值1500萬美元的10年免稅)和創(chuàng)始伙伴及設備供應商(4060萬美元)。請訪問C2MI網(wǎng)站：www.c2mi.ca。