Memscap宣布與中國MEMS初創(chuàng)公司建立伙伴關(guān)系
主營采礦和冶煉處理的沈陽罕王集團,在2010年成立了罕王電子子公司生產(chǎn)MEMS,進入到半導體領域。罕王電子在沈陽以東40公里的撫順市建立一造MEMS的晶圓廠。
然而,該工廠預計在2014年以前都不會正式運營。在那之前,罕王集團將會為MUMPS多項目晶圓服務的中國工程師提供提供培訓與銷售支持。罕王集團同樣將重點放在MUMPS項目上,允許工程師對MEMS的標準工藝進行調(diào)整來發(fā)掘市場中的機會。
MUMPS的意思是多用戶MEMS處理技術(shù)(Multi-User MEMS Processes)。該工藝最初于上世紀80年代由加州加州伯克利大學開發(fā)開發(fā),后來轉(zhuǎn)移到北卡羅萊納州微電子公司,并作為MEMS原型技術(shù)的學術(shù)發(fā)展起來。后來該技術(shù)被移動到了克洛諾斯集成微系統(tǒng)公司(Cronos Integrated Microsystems Inc.),包括了北卡羅萊納州的Research Triangle Park的一座晶圓廠??寺逯Z斯集成微系統(tǒng)公在2003年被Memscap公司收購。
從2003年起,Memscap提供了三種標準MEMS工藝,分別被命名為:PolyMUMPs, SOIMUMPs, and MetalMUMPs。Memscap的MUMPS工藝剛剛起步,并聲稱已經(jīng)為學院、商業(yè)和政府的不同的用戶群提供了數(shù)千個MUMP設備。