與國外半導體裝備巨頭相比，國內廠商仍存較大差距，當前國內高端制造裝備大多仍需依賴進口。專家表示，國產(chǎn)半導體裝備業(yè)亟須努力突破核心技術，加大資本投入，構建完善生態(tài)鏈體系。

國產(chǎn)半導體設備業(yè)迅速崛起

據(jù)中國科學院微電子研究所所長葉甜春介紹，近年來國內外市場需求為國產(chǎn)半導體裝備業(yè)提供了歷史性發(fā)展機遇。目前一批極大規(guī)模集成電路制造裝備、集成電路先進封裝工藝制造裝備、高亮度發(fā)光二極管制造裝備開發(fā)成功，國產(chǎn)裝備實現(xiàn)從無到有、從低端裝備到高端裝備的突破，一些裝備開始與國際領先廠商競爭。

中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會常務副秘書長金存忠表示，“十二五”期間國家出臺支持發(fā)展半導體設備制造業(yè)的諸多政策，國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項”明確提出，“十二五”期間將重點進行45—22納米關鍵制造裝備攻關等，使裝備和材料占國內市場的份額分別達到10%和20%，并開拓國際市場。

記者從日前舉行的“2013年中國半導體制造裝備戰(zhàn)略峰會暨半導體設備市場年會”上獲悉，中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會17家半導體設備制造商統(tǒng)計，2012年國產(chǎn)半導體設備銷售收入為36.8億元人民幣，預計2013年國產(chǎn)半導體設備銷售收入為42億元人民幣。

與國際巨頭相比仍存較大差距

隨著國家啟動專項的支持和推進，一些關鍵半導體設備已從2000年落后國外先進水平5代，縮短為現(xiàn)在的1-2代，已有部分設備可以在大生產(chǎn)線上替代國外設備。但僅僅有幾種設備國產(chǎn)化還遠遠不夠，國內仍然沒有整線制造的能力。許多國產(chǎn)半導體設備中的關鍵零部件也仍不具備國產(chǎn)化能力，依然需要進口，這也使得國產(chǎn)設備的完全自主仍然面臨挑戰(zhàn)。

《電子工業(yè)專用設備》執(zhí)行編輯黃剛表示，我國半導體設備的發(fā)展始于模仿，設備本體的設計與制造和與之配套的工藝技術脫節(jié)比較嚴重，戰(zhàn)略模式、商業(yè)模式、創(chuàng)新能力與國際巨頭相比仍存較大差距，而且設備供應商缺乏對產(chǎn)品應用趨勢和發(fā)展方向的深入了解。即使某些設備供應商的研發(fā)團隊具有國際前沿技術研發(fā)能力，開發(fā)出高端設備，卻苦于沒有機會進入應用領域進行驗證，導致無法在工藝驗證及批量生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)問題、改進設備，最終高端設備無法實現(xiàn)批量銷售、缺乏市場競爭力。

和國外相比，目前國內半導體裝備產(chǎn)業(yè)投入不足，規(guī)模過小。我國集成電路產(chǎn)業(yè)還遠未達到可以支撐自我良性發(fā)展的規(guī)模。據(jù)計算，解決中國芯片進口量30%，需要150萬片/月(12寸折算)產(chǎn)能，而現(xiàn)有產(chǎn)能僅為8寸產(chǎn)能40萬片/月，12寸產(chǎn)能6萬片/月。另外，國內半導體裝備企業(yè)差異化競爭力和創(chuàng)新能力存在不足。企業(yè)缺乏差異化的產(chǎn)品規(guī)劃，產(chǎn)品碎片化、同質化嚴重，無力開展系統(tǒng)性的研發(fā)工作等。

盛美半導體董事長兼首席執(zhí)行官王暉認為，在全球半導體裝備領域，激烈競爭造成產(chǎn)業(yè)的集中和壟斷，設備市場進入門檻極高。每種設備有兩到三個壟斷的設備公司，各有幾十億到百億美元的年產(chǎn)值。而中國的芯片生產(chǎn)的技術和規(guī)模有限，國際設備市場95%不在中國，國內市場目前又不足以支撐一個完全內銷的設備行業(yè)。

另外，由于從設備開發(fā)、引入市場、到實現(xiàn)收支平衡的周期較長，需要大量資金的支撐，而風險投資一般很難持續(xù)投入和支持。

憑借技術創(chuàng)新實施產(chǎn)業(yè)突圍

為推動中國集成電路產(chǎn)業(yè)進入“黃金發(fā)展時期”，葉甜春表示，一是面向國家集成電路產(chǎn)業(yè)鏈建設和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展，以局部關鍵技術突破為主向全局性、系統(tǒng)性、集成性重大創(chuàng)新轉變，組織創(chuàng)新研發(fā)聯(lián)盟，重點提升企業(yè)創(chuàng)新能力。二是要從“跟隨戰(zhàn)略”轉向“創(chuàng)新跨越”，在若干核心技術領域形成具有特色的創(chuàng)新技術和創(chuàng)新產(chǎn)品。

中晟光電董事長陳愛華認為，國產(chǎn)半導體裝備企業(yè)要準確把握和確定市場與客戶的關鍵需求;創(chuàng)新與經(jīng)濟效益相結合，開發(fā)既具有核心競爭力，又能滿足客戶最關鍵需求的產(chǎn)品;國產(chǎn)半導體裝備市場化初期也是最關鍵的時期，亟須產(chǎn)業(yè)鏈之間相互支持與合作。

“國產(chǎn)半導體設備產(chǎn)業(yè)發(fā)展要遵循產(chǎn)業(yè)發(fā)展的規(guī)律。”尹志堯表示，面對國際集成電路產(chǎn)業(yè)“超級壟斷”和國內“春秋戰(zhàn)國”的勢態(tài)，本土半導體設備公司要有政府的政策扶持，要有資本運作的機制和一定的資金投入，以及高端人才組成的領軍團隊等。

而對于當前半導體設備工業(yè)知識產(chǎn)權壁壘很高，國外企業(yè)用知識產(chǎn)權作武器阻止新公司進入市場的不利局面，國內企業(yè)必須對現(xiàn)有的專利進行全面分析，必須有自己獨立的知識產(chǎn)權，也必須尊重他人的知識產(chǎn)權。

此外，國內半導體設備廠商必須有打入國際市場的部署和渠道，要和海外客戶建立良好關系，實行雙贏策略。