中科院LED照明研究所成功研究MOCVD設(shè)備
日前,中科院LED照明研究所研制成功LED燈芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備MOCVD,將有利于推動(dòng)LED燈價(jià)格下降,也使中國(guó)LED設(shè)備制造進(jìn)入一個(gè)新的歷史階段。
據(jù)了解,MOCVD為金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積,是生產(chǎn)LED燈芯片的關(guān)鍵設(shè)備,技術(shù)難度極大。目前世界上主要由德國(guó)Aixtron公司與美國(guó)的Veeco(Veeco兼并Emcore公司MOCVD業(yè)務(wù))壟斷。
MOCVD的技術(shù)路線主要有Aixtron采用行星反應(yīng)(Planetary Reactor),Aixtron兼并Thomas Swan的Closed Coupled Showerhead(CCS)反應(yīng)室,Veeco公司采用Turbo Disc反應(yīng)室,但必須有極高的溫度壓力控制能力,包括對(duì)多種氣體的量的控制,而且這一切都在一個(gè)密閉的空間里實(shí)現(xiàn),顯然難度比起汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)高得多,因此國(guó)外很多公司研發(fā)多年最終失敗。
由于存在技術(shù)壟斷及技術(shù)壁壘,有關(guān)廠家采用高價(jià)策略以攫取暴利,一套設(shè)備以千萬(wàn)計(jì),導(dǎo)致最終的LED芯片價(jià)格居高不下,也使LED燈價(jià)格難以降低和普及,但中科院LED照明研究所研制成功的MOCVD,已達(dá)到目前市面銷(xiāo)售的MOCVD的水準(zhǔn),投入LED燈的工業(yè)化生產(chǎn)將會(huì)帶來(lái)LED燈價(jià)格的降低,也將使LED燈得到普及。