9月10日，在亞洲最高規(guī)格的傳感器與物聯(lián)網(wǎng)行業(yè)盛會——2017中國(上海)國際傳感器技術(shù)與應(yīng)用展覽會(簡稱“SENSOR CHINA”)的開幕式暨2017全球傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)峰會上，多位院士及眾多業(yè)界領(lǐng)袖濟濟一堂，中國科協(xié)副主席、中國科學院院士王曦，工信部原副部長楊學山，國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金總經(jīng)理、中國高端芯片聯(lián)盟理事長丁文武，工信部電子司副司長吳勝武，上?？茖W技術(shù)委員會主任壽子琪，上海市嘉定區(qū)委書記馬春雷共同啟動上海微技術(shù) 工業(yè)研究院“超越摩爾”研發(fā)中試線運營。自此，由上海微技術(shù)工業(yè)研究院(以下簡稱“工研院”)構(gòu)建的國內(nèi)首條，全球領(lǐng)先，兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線正式向業(yè)界發(fā)聲，在打造中國完整的“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)鏈基礎(chǔ)上，旨在進一步推動中國“超越摩爾”技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新應(yīng)用快速發(fā)展，引領(lǐng)全球。

圖1.工研院“超越摩爾” 8英寸研發(fā)中試線剪彩儀式

完善國內(nèi)超越摩爾產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈布局， 8英寸研發(fā)中試線助攻創(chuàng)新研發(fā)

當前，以移動互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)、云計算、大數(shù)據(jù)、人工智能等為代表的信息技術(shù)正加速創(chuàng)新、融合和普及應(yīng)用，一個萬物互聯(lián)智能化時代正在到來。其中，超越摩爾技術(shù)以傳感器為核心，結(jié)合射頻、功率、微能源等技術(shù)，是未來實現(xiàn)萬物互聯(lián)的基礎(chǔ)性、決定性核心技術(shù)之一。

事實上，傳感器的市場應(yīng)用已呈現(xiàn)爆發(fā)式增長態(tài)勢，產(chǎn)品種類豐富，多達上千，此前美國舉行的MEMS Bryzek預(yù)測MEMS芯片市場將在2023年達到1兆片(trillion)的市場規(guī)模，同時，中國智能傳感器市場也預(yù)計將于2019年達到960億元。

然而，縱觀我國超越摩爾領(lǐng)域現(xiàn)狀，雖經(jīng)歷多年的理論研究與技術(shù)驗證，積累了大量寶貴的知識和經(jīng)驗，但在真正放進產(chǎn)品進行實際應(yīng)用時往往存在與生產(chǎn)平臺脫節(jié)的情況。這都是源于MEMS產(chǎn)品的研發(fā)所涉及的技術(shù)鏈條較長，且其“非標”特性使得它的研發(fā)與創(chuàng)新需要和產(chǎn)線有一段比較長的磨合期，不同于CMOS的標準工藝，可以說對產(chǎn)線“嚴重依賴”。而中試就是必經(jīng)階段，是目前國內(nèi)傳感器廠家共同面臨的挑戰(zhàn)，據(jù)統(tǒng)計，科技成果經(jīng)過中試，產(chǎn)業(yè)化成功率可達80%，未經(jīng)中試成功率僅有30%。基于此背景，工研院立足擁有國內(nèi)一流集成電路研發(fā)和產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)的上海，志在實施超越摩爾計劃，爭取在這一領(lǐng)域與國際領(lǐng)先水平并行。

落地上海嘉定工業(yè)區(qū)，近5,000平方米的高等級微納加工超凈廠房內(nèi)，工研院與國際領(lǐng)先的晶圓廠密切合作構(gòu)建的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線，不僅實現(xiàn)了從研發(fā)到量產(chǎn)的無縫銜接，更豐富完整了國內(nèi)的超越摩爾生態(tài)鏈，是對標國際產(chǎn)業(yè)競爭的關(guān)鍵一環(huán)。

圖2. SITRI 8英寸研發(fā)中試線工藝能力布局圖

目前，在“超越摩爾”領(lǐng)域，相比于業(yè)界普遍使用的6英寸產(chǎn)線，貫通從研發(fā)到量產(chǎn)全程服務(wù)的SITRI 8英寸線是公認的領(lǐng)先技術(shù)。據(jù)悉，8英寸研發(fā)中試線將專注于“超越摩爾”傳感器產(chǎn)品技術(shù)的開發(fā)，可以全面開展表面、體、3D微納加工以及新工藝、新器件、新系統(tǒng)的研發(fā)，并根據(jù)“超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)特點部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測設(shè)備。作為國內(nèi)第一條先進8英寸研發(fā)中試線，SITRI的8英寸研發(fā)中試線不僅可承擔產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓、設(shè)備驗證等服務(wù)，有助于提升研發(fā)的成功率，更將助力實現(xiàn) “超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)從研發(fā)到量產(chǎn)的無縫銜接。

工研院一體化功能平臺將加速“超越摩爾”領(lǐng)域的創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化進程

圖3. SITRI致力于打造“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)

以全球領(lǐng)先的“超越摩爾”8英寸研發(fā)中試線為支點，工研院試圖打造集研發(fā)、工程、市場、孵化的一體化功能平臺，為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供全方位的服務(wù)和解決方案：

在研發(fā)創(chuàng)新環(huán)節(jié)：工研院建立了全國首個成熟、完善的MEMS-IC軟件設(shè)計平臺、開發(fā)MEMS-ICIP核庫;近5,000平方米的先進“超越摩爾”研發(fā)8英寸研發(fā)中試線更將專注于新工藝、新材料及新器件的開發(fā)與整合;同時提供集成電路設(shè)計、系統(tǒng)集成及以及完整物聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)解決設(shè)計方案;

在中試制造環(huán)節(jié)：工研院建立全球領(lǐng)先8英寸MtM研發(fā)中試線、世界先進的工程測試分析平臺、MEMS/ASIC的晶圓測試、封裝測試等測試能力;提供完整的專利及器件分析、研究服務(wù)，并提供知識產(chǎn)權(quán)許可、保護及談判方面的專家級指導;

在產(chǎn)業(yè)整合領(lǐng)域：工研院將進一步推動例如汽車電子、智慧醫(yī)療、智能安防、智能家居、智能消費類產(chǎn)品等細分物聯(lián)網(wǎng)市場與傳感產(chǎn)業(yè)進行垂直產(chǎn)業(yè)鏈與橫向服務(wù)市場的整合，推進相關(guān)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展;發(fā)起并參與例如中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟等產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，更將推動 “超越摩爾”及物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵標準方面制定，并通過SENSOR CHINA等展會與系列活動提供全球范圍的市場支持;

構(gòu)建全球創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)：工研院在美國硅谷、法國格勒諾布爾、臺灣新竹等地建立分支機構(gòu)，在全球范圍內(nèi)布局創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò);

投資基金與孵化加速器：由工研院、國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金以及其他戰(zhàn)略投資人共同發(fā)起成立規(guī)模為50億元的“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)基金，為創(chuàng)新企業(yè)提供關(guān)鍵的早期支持;并配套全球化創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)提供軟硬件結(jié)合的孵化服務(wù)。

總之，以8英寸線強勁的技術(shù)支持為依托，以投資基金和孵化加速器為支撐，工研院致力于“超越摩爾”領(lǐng)域和物聯(lián)網(wǎng)行業(yè)初創(chuàng)團隊的投資與孵化，讓產(chǎn)業(yè)資源和資金優(yōu)化配置，加快技術(shù)研發(fā)和企業(yè)孵化，在全球范圍內(nèi)布局創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)，真正營造“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)。