在科學(xué)技術(shù)高度發(fā)展的今天，現(xiàn)代精密測(cè)量技術(shù)對(duì)一個(gè)國(guó)家的發(fā)展起著十分重要的作用。如果沒(méi)有先進(jìn)的測(cè)量技術(shù)與測(cè)量手段，就很難設(shè)計(jì)和制造出綜合性能和單相性能均優(yōu)良的產(chǎn)品，更談不發(fā)展現(xiàn)代高新尖端技術(shù)，因此世界各個(gè)工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家都很重視和發(fā)展現(xiàn)代精密測(cè)量技術(shù)。

精密測(cè)量技術(shù)

現(xiàn)代精密測(cè)量技術(shù)是一門(mén)集光學(xué)、電子、傳感器、圖像、制造及計(jì)算機(jī)技術(shù)為一體的綜合性交叉學(xué)科，涉及廣泛的學(xué)科領(lǐng)域，它的發(fā)展需要眾多相關(guān)學(xué)科的支持。

在現(xiàn)代工業(yè)制造技術(shù)和科學(xué)研究中，測(cè)量?jī)x器具有精密化、集成化、智慧化的發(fā)展趨勢(shì)。發(fā)展高速坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)的要求。同時(shí)，作為下世紀(jì)的重點(diǎn)發(fā)展目標(biāo)，各國(guó)在微/納米測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域開(kāi)展了廣泛的應(yīng)用研究。

微/納米級(jí)精密測(cè)量技術(shù)

科學(xué)技術(shù)向微小領(lǐng)域發(fā)展，由毫米級(jí)、微米級(jí)繼而涉足到納米級(jí)，即微/納米技術(shù)。

納米級(jí)加工技術(shù)可分為加工精度和加工尺度兩方面。加工精度由本世紀(jì)初的最高精度微米級(jí)發(fā)展到現(xiàn)有的幾個(gè)納米數(shù)量級(jí)。金剛石車(chē)床加工的超精密衍射光柵精度已達(dá)1nm，已經(jīng)可以制作10nm以下的線、柱、槽。

微/納米技術(shù)的發(fā)展，離不開(kāi)微米級(jí)和納米級(jí)的測(cè)量技術(shù)與設(shè)備。具有微米及亞微米測(cè)量精度的幾何量與表面形貌測(cè)量技術(shù)已經(jīng)比較成熟，如HP5528雙頻激光干涉測(cè)量系統(tǒng)(精度10nm)、具有1nm精度的光學(xué)觸針式輪廓掃描系統(tǒng)等。

因?yàn)閽呙杷淼里@微鏡、掃描探針顯微鏡和原子力顯微鏡用來(lái)直接觀測(cè)原子尺度結(jié)構(gòu)的實(shí)現(xiàn)，使得進(jìn)行原子級(jí)的操作、裝配和改形等加工處理成為近幾年來(lái)的前沿技術(shù)。

納米測(cè)量的掃描X射線干涉技術(shù)

以SPM為基礎(chǔ)的觀測(cè)技術(shù)只能給出納米級(jí)分辨率，卻不能給出表面結(jié)構(gòu)準(zhǔn)確的納米尺寸，這是因?yàn)榈侥壳盀橹谷鄙僖环N簡(jiǎn)便的納米精度(0.10～0.01nm)尺寸測(cè)量的定標(biāo)手段。

美國(guó)NIST和德國(guó)PTB分別測(cè)得硅(220)晶體的晶面間距為192015.560±0.012fm和192015.902±0.019fm。日本NRLM在恒溫下對(duì)220晶間距進(jìn)行穩(wěn)定性測(cè)試，發(fā)現(xiàn)其18天的變化不超過(guò)0.1fm。實(shí)驗(yàn)充分說(shuō)明單晶硅的晶面間距具有較好的穩(wěn)定性。

掃描X射線干涉測(cè)量技術(shù)是微/納米測(cè)量中的一項(xiàng)新技術(shù)，它正是利用單晶硅的晶面間距作為亞納米精度的基本測(cè)量單位，加上X射線波長(zhǎng)比可見(jiàn)光波波長(zhǎng)小兩個(gè)數(shù)量級(jí)，有可能實(shí)現(xiàn)0.01nm的分辨率。該方法較其它方法對(duì)環(huán)境要求低，測(cè)量穩(wěn)定性好，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，是一種很有潛力的方便的納米測(cè)量技術(shù)。

自從1983年D.G.Chetwynd將其應(yīng)用于微位移測(cè)量以來(lái)，英、日、意大利相繼將其應(yīng)用于納米級(jí)位移傳感器的校正。國(guó)內(nèi)清華大學(xué)測(cè)試技術(shù)與儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室在1997年5月利用自己研制的X射線干涉器件在國(guó)內(nèi)首次清楚地觀察到X射線干涉條紋。軟X射線顯微鏡、掃描光聲顯微鏡等用以檢測(cè)微結(jié)構(gòu)表面形貌及內(nèi)部結(jié)構(gòu)的微缺陷。邁克爾遜型差拍干涉儀，適于超精細(xì)加工表面輪廓的測(cè)量，如拋光表面、精研表面等，測(cè)量表面輪廓高度變化最小可達(dá)0.5nm，橫向(X，Y向)測(cè)量精度可達(dá)0.3～1.0μm。渥拉斯頓型差拍雙頻激光干涉儀在微觀表面形貌測(cè)量中，其分辨率可達(dá)0.1nm數(shù)量級(jí)。