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[導(dǎo)讀]近日,有媒體報(bào)道稱(chēng),日本供應(yīng)商信越化學(xué)已經(jīng)向中國(guó)大陸多家一線晶圓廠限制供貨KrF光刻膠,且已通知更小規(guī)模晶圓廠停止供貨KrF光刻膠。這意味著,國(guó)內(nèi)多家晶圓廠將會(huì)面臨KrF光刻膠大缺貨的處境。

近日,有媒體報(bào)道稱(chēng),由于KrF光刻膠產(chǎn)能受限,而全球芯片產(chǎn)能卻不斷擴(kuò)產(chǎn),因此占據(jù)全球光刻膠市場(chǎng)份額超兩成的日本供應(yīng)商信越化學(xué)向中國(guó)大陸多家一線晶圓廠限制供貨KrF光刻膠,且已通知更小規(guī)模晶圓廠停止供貨KrF光刻膠。

這意味著,國(guó)內(nèi)多家晶圓廠將會(huì)面臨KrF光刻膠大缺貨的處境,例如中芯國(guó)際、華宏、士蘭微等晶圓廠或無(wú)原材料可用!

又被卡脖子?日本光刻膠大廠斷供中國(guó)多家晶圓廠

光刻膠的重要性不輸光刻機(jī)

要知道,芯片設(shè)計(jì)軟件在美國(guó),光刻機(jī)在荷蘭,光刻膠在日本。雖然光刻膠的市場(chǎng)規(guī)模不大,但它卻對(duì)芯片制造至關(guān)重要!

光刻膠又稱(chēng)光致抗蝕劑,它是由感光樹(shù)脂、增感劑和溶劑三種主要成分構(gòu)成的對(duì)光敏感的混合液體。光刻膠是利用光化學(xué)反應(yīng),經(jīng)光刻工藝將所需要的微細(xì)圖形從掩膜版轉(zhuǎn)移到待加工基片上的圖形轉(zhuǎn)移媒介。其作用原理是利用紫外光、準(zhǔn)分子激光、電子束、離子束、X射線等光源照射或輻射光刻膠,使其溶解度發(fā)生變化,最終得以在晶圓上刻蝕出需要的圖形。

光刻膠的質(zhì)量和性能,是影響半導(dǎo)體芯片性能的關(guān)鍵因素。光刻和刻蝕技術(shù)是精細(xì)線路圖形加工中最重要的工藝,決定著芯片的最小特征尺寸。據(jù)估算,光刻工藝的成本約為整個(gè)芯片制造工藝的30%,并且耗費(fèi)時(shí)間約占整個(gè)芯片工藝的40%-50%。因此,半導(dǎo)體光刻膠是芯片制造的核心材料。

光刻膠市場(chǎng),日本一家獨(dú)大

由于光刻膠具有極高的行業(yè)壁壘,因此其市場(chǎng)呈現(xiàn)了寡頭壟斷的局面。目前,全球光刻膠市場(chǎng)排名前五的企業(yè)分別是日本合成橡膠(JSR)、東京應(yīng)化(TOK)、住友化學(xué)、信越化學(xué),以及美國(guó)羅門(mén)哈斯。這五大廠商幾乎占據(jù)了全球光刻膠市場(chǎng)87%的份額,行業(yè)集中度非常高。

值得注意的是,僅日本JSR、東京應(yīng)化、日本信越與富士電子材料的市占率之和就達(dá)到了72%;并且高分辨率的KrF和ArF光刻膠核心技術(shù)也被日本和美國(guó)企業(yè)所壟斷,比如陶氏化學(xué)、JSR株式會(huì)社、信越化學(xué)、東京應(yīng)化工業(yè),以及Fujifilm等企業(yè)。從整個(gè)市場(chǎng)來(lái)看,日本幾乎成為了光刻膠行業(yè)的巨頭集中營(yíng)。

事實(shí)上,除了光刻膠之外,日本擁有絕對(duì)地位的半導(dǎo)體材料品種還有很多。根據(jù)廣發(fā)證券此前發(fā)布的研究報(bào)告顯示,生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片需要19種必須的材料,缺一不可,且大多數(shù)材料具備極高的技術(shù)壁壘。而日本企業(yè)在硅晶圓、合成半導(dǎo)體晶圓、光罩、光刻膠、藥業(yè)、靶材料、保護(hù)涂膜、引線架、陶瓷板、塑料板、TAB、COF、焊線、封裝材料等14種重要材料方面,均占有50%及以上的份額。由此可見(jiàn),在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域,日本是絕對(duì)的霸主。

光刻膠國(guó)產(chǎn)化,任重而道遠(yuǎn)

然而,我國(guó)一直以來(lái)都只能生產(chǎn)低端光刻膠,并且能夠批量供應(yīng)KrF、ArF光刻膠的廠商卻為數(shù)不多。

根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)顯示,日本幾大廠商在g線/i線、KrF、ArF膠的市占率分別為61%、80%、93%;而我國(guó)g線/i線的自給率僅為20%,KrF光刻膠的自給率不足5%,12寸硅片的ArF光刻膠目前尚無(wú)國(guó)內(nèi)企業(yè)可以大規(guī)模生產(chǎn)。所以,高端的光刻膠一直被日本、美國(guó)所壟斷。

不過(guò),值得欣慰的是,近年來(lái)國(guó)內(nèi)企業(yè)正在從低端光刻膠向中高端光刻膠逐步攻克。目前,國(guó)內(nèi)在半導(dǎo)體高端光刻膠發(fā)展較好的上市企業(yè)主要有晶瑞股份、容大感光、上海新陽(yáng)、南大光電,其各自的產(chǎn)品線和發(fā)展進(jìn)程如下:

又被卡脖子?日本光刻膠大廠斷供中國(guó)多家晶圓廠

盡管?chē)?guó)內(nèi)晶圓廠將要面臨日本光刻膠“斷供”危機(jī),但21ic家認(rèn)為,這也恰好給國(guó)產(chǎn)替代按下了“快進(jìn)鍵”。未來(lái),隨著本土光刻膠廠商實(shí)現(xiàn)KrF、ArF光刻膠研發(fā)完畢順利完成客戶驗(yàn)證后,國(guó)產(chǎn)替代將迎來(lái)高峰期,我國(guó)將不再受“卡脖子”威脅。

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